椭偏仪(三)-椭偏测量原理假设有一束单色光,振幅为 Ei与直角坐标系x轴的夹角为α,将其分解为沿直角坐标系x轴的p光和沿直角坐标系y轴的s光。则入射光p光和s光的振幅分别为Eip和 Eis,入射光经过薄膜的反射后p光和s光的振幅分别变为Eiprp和Eisrs,相应的相位变为δrp和δrs,故p光和s光的反射光电矢量分别为消去时间因子t,便可得到反射波电矢量末端的运动轨迹:式中:Δ=δrp-δrs。上式实际上就是椭圆方程。也就是说线偏振光入射,与待测样品发生相互作用后,由于p光和s光的反射率不同,反射光不再是线偏振光,而变成了椭圆偏振光,引入参量tanΨ和Δ,Δ表示p光分量和s光分量的相位差,t ...
传统磁光薄膜的特性为了在薄膜上获得分离良好的磁性区域,在x射线光刻过程中使用掩膜,如图1所示,然后通过离子束蚀刻去除薄膜的未保护部分。由于需要确保垂直磁化方向,因此需要进行MOKE测量以检查薄膜的质量。这种磁性表征是可能的,因为这些薄膜的磁化方向对光偏振方向有很强的依赖性,并且薄膜与背景反射率的比例很高。其他互补的表征技术,如反射高能电子衍射,通过指示外延生长,提供了对薄膜光学质量的进一步了解。x射线衍射研究表明材料是否具有晶体织构,因为通常需要具有高度织构且易于磁化轴垂直于薄膜的材料(图2)。图1图2在这一点上,应该强调的是,传统磁光薄膜的磁性是连续的,而其他磁性薄膜,如传统磁性记录磁带中使 ...
用于空间和时间分辨研究的克尔-法拉第显微镜的系统双色泵浦探针装置的光源是一个Ti:蓝宝石振荡器,重复频率为80 MHz,脉冲持续时间约为100 fs。中心波长为840nm(红外线)的激光束在BBO晶体中频率翻倍至420nm(蓝光)。基波光束在样品位置的功率高达350mw,作为泵浦光束激发样品。功率约为1mw的倍频波束作为探测波束。图1图1显示了在极性/法拉第(图1a)和纵向(图1b)几何结构中使用的光束路径。在静态测量的情况下,只使用蓝色(探针)光束。对于时间分辨的测量,延迟级用来在泵浦脉冲和探测脉冲之间引入时间延迟。光路50mm的变化允许泵浦和探针光束之间的总时间延迟超过300ps。在通过物 ...
COMS-Magview-磁场相机背后的秘密-磁光传感器!磁性材料的可靠使用需要精确的磁场分布信息,例如在生产过程中、作为质量管理过程的一部分以及在研发领域中。磁光传感器是无损检测磁场分布的新方法。图1.此图代表不同阶段的磁光传感器:初始基板、涂有MO 和反射层(从左到右)现有磁场测量系统的原理基于磁场对传感器内电压和电流等电学参数产生不同物理效应。通过测量值和特定材料常数,可以分析磁场强度和通量密度。例如,在霍尔传感器中,导电材料(如半导体材料)的霍尔效应会产生一个输出电压——霍尔电压——其与磁通密度成正比。另一种广泛使用的类型是磁阻传感器,它利用了传感器材料阻力随磁场变化而变化的特性,并因 ...
光谱型椭偏仪的校准(一)-椭偏仪校准思路在分立器件和集成电路的制造过程中常用到各种不同的薄膜,如热氧化膜 (二氧化硅Si〇2薄膜)尧电介质膜 (Si3N4薄膜)等。薄膜厚度是一个重要的参数,对各种薄膜厚度参数的精确、快速测定和控制,是保证器件质量、提高生产效率的重要手段。光谱型椭偏仪是半导体和微电子领域使用广泛的薄膜厚度测量仪器。为了保证光谱型椭偏仪测量结果的准确可靠,通常会使用薄膜厚度已知的膜厚标准样片对椭偏仪的薄膜厚度测量能力进行校准。一般情况下膜厚标准样片的衬底材料为硅,薄膜材料为热氧化生长的二氧化硅。由光谱型椭偏仪测量原理可知:椭偏仪在测量薄膜厚度时,得到的直接测量量为椭偏角(和),薄 ...
光谱型椭偏仪的校准(二)-椭偏仪的基本原理针对光谱型椭偏仪校准结果受测量模型影响大的问题进行研究,提出一种不受测量模型影响的校准方法,即 通过校准椭偏角实现光谱型椭偏仪的校准。依据椭偏仪测量原理,通过仿真分析确定实现较大范围内椭偏角校准所需标准样片的薄膜厚度量值,并采用半导体热氧化工艺制备出性能稳定的膜厚标准样片。椭偏仪是利用椭圆偏振术对透明薄膜进行无损测量的一种仪器,它是利用偏振光在薄膜上下表面的反射,通过菲涅耳公式得到光学参数和偏振态之间的关系来确定光学薄膜折射率和厚度。因其准确度高且为非破坏性测量,是测量光学薄膜折射率和厚度zui常用的一种测量仪器。椭圆偏振术的数学模型为式中:— 偏振角 ...
纳米多孔薄膜的可调谐磁光克尔效应等离子体力学在高维数据存储、高灵敏度化学检测、生物传感等方面具有广泛的应用。这主要归因于表面等离子体传导光的亚衍射极限的能力,增强局部表面电磁场或允许在纳米尺度上定位光。据报道,金属纳米粒子的等离子体特性本质上取决于它们的尺寸、形状、表面形貌、晶体结构、粒子间间距和介电环境。等离子体动力学的一个发展是磁等离子体动力学。磁等离子体学促进了光子学和磁学领域的巨大兴趣,这些领域与光磁物质相互作用的共振增强有关,与纳米制造技术的快速发展有关(例如,纳米印记,光刻,物理气相沉积和微流体合成工艺)。磁等离子体力学的一个课题是增强磁光效应在等离子体纳米结构中的应用。纳米结构中 ...
用于太赫兹到光频率快速频谱分析的1GHz单腔双光梳激光器(本文译自(Gigahertz Single-cavity Dual-comb Laser for Rapid Time-domain Spectroscopy:from Few Terahertz to Optical Frequencies )Benjamin Willenberg1,*,x, Christopher R. Phillips1,*, Justinas Pupeikis1 , Sandro L. Camenzind1 , LarsLiebermeister2 , Robert B. Kohlhass2 , Björn G ...
用于观察静态和动态磁畴行为的扫描激光显微镜系统一种多功能成像系统,能够观察各种应用的磁性行为,只要有可能,显微镜系统都应该是模块化的,这将使得成像系统具有灵活性,并允许为不同的应用添加或更改功能。这也是显微镜未来发展和应用的一个考虑因素,例如扫描近场磁光模块。为了使扫描激光显微镜同时具有静态和动态成像能力,光学系统采用高斯光束光学(静态模式)和傍轴光学(动态模式)。光学系统示意图如图1所示。图1为了在x-y平面上获得较大的空间分辨率,激光束必须同时准直并填满zui终物镜的孔径。输出光束被扩展,空间滤波,然后聚焦到AO调制器(AOM)。AOM的上升时间与光斑大小成正比。然后光束通过一系列中继透镜 ...
SDTR的测试数据形式简介和测试样品要求空间域热反射法SDTR适合测量薄膜样品或块体的面内热导率kr,是一种激光泵浦探测法,通过测量泵浦光在样品上生成的温度场来测定样品的面内热导率;通过另一束探测光束探测在样品处的微小反射率变反应出样品处的温度场,随着泵浦与探测光在样品上的焦点分离距离的增加,探针位置温度场的相位滞后增大,振幅也迅速减小。图1:SDTR的相位扫描曲线示意图(1kHz、10kHz、50kHz三种频率下的相位)在扫描中心附近,相位分布主要由泵浦光束和探针光束的有限尺寸决定,但随着扫描距离增大,相位曲线变成线性的,并且其斜率与薄膜和衬底的热导率和扩散率有关。图2:SDTR的相位(a) ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com