SmartPrint UV无掩模光刻机-科研半导体光刻应用中的研发“加速器”和工艺“探索器”!一.当光刻不再需要掩模版科研及半导体实验室里有一个常见说法:成本压力不仅来自光刻胶和硬盘,也来自每改一次设计就得重新制作的掩模版。一张标准掩模版动辄千元,周期两三周,当研发节奏越来越快,这种“每改一笔就得等半个月”的模式已经成为创新的主要限制因素。Smart Print UV 是昊量光电推出的一款基于 DMD(Digital Micro-mirror Device,数字微镜器件)投影技术的无掩模光刻系统。它用一块 DMD 芯片替代传统硬掩模,直接把 CAD 设计投影到光刻胶上——想写什么就写什么,从设 ...
汉堡大学使用Moku实现量子密钥分发实验系统中的相位稳定引言量子密钥分发(QKD)zui早在20世纪80年代提出,它提供了一种比经典方法更安全的信息传输方式。在典型的QKD方案中,发送方(Alice)通过量子态对经典信息进行编码,并通过量子信道传输给接收方(Bob)。由于量子力学中的不可克隆定理,这些量子态无法被复制。这意味着窃听者(Eve)无法在不被Alice和Bob察觉的情况下获取或复制传输信息,从而使通信过程具有高度安全性。因此,QKD能够在信息不会被拦截的前提下安全传输敏感数据。目前已有多种成熟的QKD协议与实现方法。近年来,连续变量量子密钥分发(CV-QKD)因其与现有通信基础设施( ...
上海技物所宋玉欣/陈晓双/魏璐Small:单光探测器中神经控制增益压缩的自适应红外视觉【研究背景】在漫长的生物进化过程中,人类视觉系统演化出了一套精妙的自适应机制。通过瞳孔大小的动态调节与视网膜感光细胞的反馈回路,人眼能够在从昏暗星光到刺眼阳光的巨大光强跨度中,始终保持对环境的清晰感知。然而,生物视觉存在天然的物理局限:我们无法感知红外波段,且对光的偏振状态不敏感。在自主感知、边缘智能以及复杂环境探测等前沿领域,突破这些生物视觉的生理限制已成为迫切需求。现有的红外图像传感器在应对复杂光照环境时,往往依赖于系统级的补偿手段,如机械光圈调节、模拟增益控制(AGC)以及复杂的数字后处理算法。这些传统 ...
上海技物所卢伟/李冠海/陈晓双Nat Commun:基于光谱极性反转的室温高灵敏度红外光电探测新策略【研究背景】红外光电探测技术在夜视侦察、空间遥感、环境监测以及生物医疗等诸多领域发挥着重要作用。然而,在室温条件下实现高灵敏度的红外探测,长期以来一直面临着宽带热辐射(即黑体辐射)带来的严峻挑战。在典型的环境温度下,环境中的物体无时无刻不在向外发射红外光子,这些背景光子不仅会引入随机的光子涨落(即光子散粒噪声),此外,它们会在探测器中产生确定性的平均光电流偏移。传统的红外探测器在设计时遵循一个核心假设:所有能量高于材料带隙的光子,均以相同的极性参与电信号的读取。这种单极性、宽带光谱积分的特性,导 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要:在本文中,我们介绍了时域漫射技术,并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散;而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减,光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内,漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术(DOS)和相对较新的漫射相关光谱技术(DCS)。在漫射光谱学中,也称为近红外光谱学,光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱(DCS)中 ...
石墨烯SERS检测的精度之战:你的光谱仪,真的“看”得够清吗?拉曼光谱是材料科学家的“眼睛”,通过光子与分子振动的非弹性散射,它能告诉我们碳原子的排列是否整齐、缺陷有多少、掺杂水平如何。但对于石墨烯这类二维材料,这双“眼睛”面临着严峻考验:石墨烯的本征拉曼散射截面较小,微弱的信号如同暗夜中的萤火虫,稍有不慎就会淹没在噪声里。当研究者试图在石墨烯上构建高灵敏度的表面增强拉曼光谱(Surface-enhanced Raman spectroscopy,SERS)检测基底时,这种考验对检测系统提出了更高要求——他们需要分辨I2D/IG比值从1.8骤降至0.3的细微变化,需要在强G峰旁边捕捉到几乎不可 ...
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
Calmar推出新品Carmel X-780飞秒光纤激光器,1.5W高功率赋能双光子聚合3D打印超快激光器制造商Calmar Laser近日宣布推出其Carmel X系列的新成员——Carmel X-780高功率飞秒光纤激光器。这款突破性产品将780nm波段的输出功率提升至行业的1.5W,为双光子聚合3D打印、生物成像和多光子显微镜等前沿应用带来革命性变革。突破性性能,重新定义行业标准Carmel X-780系列提供三种功率配置,其中旗舰型号CFL-15RFF实现了1.5W的平均输出功率,配合小于90飞秒的超短脉冲宽度和卓越的光束质量(M² < 1.2),为双光子聚合3D打印提供了前所未 ...
应用探究 | 量子计算DOPA 产生压缩态:选 PPLN 还是 PPKTP?背景在量子技术中,压缩态(squeezed state)作为一种关键的连续变量量子态,已成为突破经典物理极限、提升系统性能的重要资源。如在量子精密测量中用于引力波探测,在量子通信中作为连续变量量子密钥分发(CV-QKD)的核心资源,在量子计算中,压缩态则是实现高斯玻色采样(GBS)的关键资源态。光学参量振荡(OPO)和放大(OPA)常用于产生压缩态,这通常是由非线性晶体实现的,如周期极化铌酸锂PPLN和周期极化磷酸氧钛钾PPKTP。周期极化晶体可以利用更长的相互作用长度和更大非线性系数。山西大学张宽收教授课题组分别使用 ...
从“弯曲的桌面”到“亚厘米精度”:一篇带你读懂SPAD阵列激光雷达的误差与补偿2025年4月,中国计量大学的研究团队系统地分析时间门控SPAD阵列激光雷达的两大核心误差源,并提出了可量化的补偿方法。实验结果令人印象深刻:补偿后误差降低超过60%,深度分辨率优于1厘米。下面,我们就来拆解其中的技术细节。一、时间门控SPAD激光雷达的工作原理在深入误差分析之前,先快速理解这个系统是怎么工作的。与传统TCSPC(时间相关单光子计数)技术不同,时间门控SPAD阵列不逐点累积光子直方图,而是通过时间门来“切片”。每个时间门是一个固定宽度的时间窗口,比如5纳秒。相机在连续的门控周期中依次打开这些窗口,每个 ...
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