光谱型椭偏仪的校准（四）-样片测量法我们之前使用的空气测量法是使用空气和平行平晶作为标准，对椭偏仪特定椭偏角的测量结果进行验证，但是这并不能保证椭偏角在全范围内的量值准确可靠。基于以上分析，有必要给出一种更为完善的椭偏角校准方法，以保证光谱型椭偏仪椭偏角在较大范围内测量结果的准确可靠，我们称他为样片测量法。根据椭偏仪测量流程可知，首先需要测量被测样品得到椭偏角参数，然后建立测量模型通过拟合的方式得到薄膜的厚度。对于光谱型椭偏仪而言，不同材料、不同薄膜厚度的样片，对应的椭偏参数是不相同的。假定被测样品材料固定，则椭偏角和薄膜厚度建立了对应的关系，使用不同厚度的薄膜样片就可以实现椭偏角的校准，测量 ...
光谱型椭偏仪的校准（五）-样片的制备与稳定性考核样片的制备本文采用了半导体热氧化工艺制备膜厚标准样片，该样片使用4寸硅晶圆片制备。由于硅晶圆片区域较大，为保证使用膜厚标准样片校准椭偏仪结果准确，在研制的膜厚样片上设计特殊图形，标记出膜厚标准样片的测量区域，其为标准样片中心直径为20mm的圆形区域，如下图1所示。图1 膜厚样片测量区域示意图膜厚标准样片制备的具体工艺流程如下图2所示。图2 样片制备流程工艺图在膜厚样片的制备过程中，需要严格控制二氧化硅薄膜生长工艺参数，以保证膜层的均匀性和稳定性 ，制备出的膜厚标准样片如下图3所示。图3 制备的膜厚标准样片样片的稳定性考核实验膜厚标准样片作为一种标 ...
，是一种激光泵浦探测法，通过测量泵浦光在样品上生成的温度场来测定样品的面内热导率；通过另一束探测光束探测在样品处的微小反射率变反应出样品处的温度场，随着泵浦与探测光在样品上的焦点分离距离的增加，探针位置温度场的相位滞后增大，振幅也迅速减小。图1：SDTR的相位扫描曲线示意图(1kHz、10kHz、50kHz三种频率下的相位)在扫描中心附近，相位分布主要由泵浦光束和探针光束的有限尺寸决定，但随着扫描距离增大，相位曲线变成线性的，并且其斜率与薄膜和衬底的热导率和扩散率有关。图2：SDTR的相位(a)和振幅扫描曲线(b)示意图(图中数据为Ti/Si样品)图2(a)和2(b)所示分别为整个扫描范围内的 ...
光谱型椭偏仪的校准（六）-样片的均匀性考核样片的均匀性考核实验膜厚标准样片作为一种标准物质，其测量区域均匀性和稳定性一定要好。在样片制备完成后，我们需要使用3台同型号的光谱型椭偏仪对其测量区域的均匀性和稳定性进行了考核，取这3台仪器测量结果的平均值来作为考核结果。为确保量值准确可溯源，使用相同标称厚度的膜厚标准样片作为标准，光谱型椭偏仪作为比较仪，采用比对测量的方式对制备样片的厚度进行测量，测量结果按照下式进行处理。式中:Tvlsi — VLSI标准样片证书上给出的样片厚度量值；tVLSI13 — 13所测量得到的VLSI标准样片的量值；tCETC13 — 未修正的13所膜厚样片的测量值；tc ...
光谱型椭偏仪的校准（七）-椭偏仪校准方案样片考核完成后，使用制备的膜厚标准样片对光谱型椭偏仪的椭偏角进行校准实验。校准方案被校椭偏仪光谱范围 245-1000nm，入射角度 65°：标准样片标称厚度为 2nm,50nm,500nm，样片椭偏角标准值通过Matlab按照样片的厚度量值进行份真得到：校准环境(20Z±3)°，相对湿度40%-60%。校准时，分别使用3个样片对光谱型椭偏仪进行校准，每个样片测量10次，取10次结果的平均值作为椭偏角的测量结果，椭偏角偏差计算公式为式中：----波长取样点上光谱型椭偏仪测量得到的椭偏角；校准结果与分析按照校准方案使用标准样片对光谱型椭偏仪进行校准，校准结 ...
您的“微流控”理想光源——来自shi界各地权威实验室的案例介绍什么是微流控？微流控，又被称作芯片实验室或者微全分析系统。您可以想象在化学、医学以及生物研究中涉及到的样品制备、反应、分离、检测等操作步骤都集中在一块微米尺度的芯片上自动完成吗？微流控技术是指在至少有一维为微米甚至纳米尺度的低维通道结构中控制体积为皮升至纳升的流体进行流动并传质、传热的技术。由于通道尺寸很小，样品的消耗量很少，节约了能源的同时也提高了反应速度，实现微型化、自动化、集成化以及便携化的同时也具有高通量的特点。而来自Lumencor的LED白光光源SOLA系列，也在这个微“舞台”上占有一席之地。实验案例1：同时激发四种荧光 ...
高精度DLP光学引擎在DLP-3D生物工程方面的应用--高功率、高精度、易操作3D打印作为一种制造技术，已经广泛应用于各种工业领域，如航空航天、生物医学、消费用品等。其中，数字光处理（DLP）型光固化3D打印技术由于打印精度高、速度快而备受人们的关注。DLP 3D打印是医疗领域应用广泛的技术之一，这种制造方法的实施具有巨大的生物医学应用潜力，比如一些应用包括药物开发、器官移植以及再生和个性化医疗等。DLP光学引擎（DLP,即DigitalLight Processing的缩写）是基于Texas Instruments的DLP投影成像技术开发的一种高性能投影光机，配以高质量透镜组模块，且其结构紧 ...
图1中展示了泵浦调频9KHz频率下，镀有100mm金膜的蓝宝石的实验数据和拟合曲线和结果。图1：调制频率9kHz，100nm Au/sapphire样品的实验数据和拟合曲线；(a)相位信号；(b)幅值信号。通过对图1(a)中相位差信号进行拟合并采用文献中获得的蓝宝石的体积比热值C=3.06 ，我们得到蓝宝石沿光斑偏移方向的面内热导率为图1(a)中虚线为拟合值变化所对应的拟合曲线，由此得出热导率信号对于相位的斜率敏感度较高；图1(b)中归一化的幅值信号进行拟合，可以得到沿着偏移方向的激光光斑尺寸为 。2.敏感度分析图2展示了图1的测量信号对系统中不同参数的敏感性系数。这些参数包括了传感层和基底材 ...
同作用。根据泵浦方案、材料参数、光纤几何形状、色散状态和输入脉冲持续时间的不同，导致光谱展宽的现象和机制的集合可以显著变化，某些过程可以主导或被其他过程抑制。超连续谱产生过程的主要非线性因素是:受激拉曼散射、自相位调制、四波混合、调制不稳定性、交叉相位调制、孤子动力学(孤子裂变和孤子自频移)和色散波的产生。尽管超连续谱生成背后有复杂的基础物理学，但中红外超连续谱生成的实际实现相对简单。图1说明了这一点，并描述了商用氟纤维(InF3)超连续介质发生器的概念原理和系统架构。开发了如图1所示的系统。图1所示。基于InF3光纤系统的中红外超连续介质源的基本方案和工作原理示例:所示发射光谱对应于商用超连 ...
部分光束用作泵浦光。光束的另一部分用于在1.5 mm厚的硼酸钡晶体中通过二次谐波产生395 nm的探测光束。使用孔径为0.65的物镜将两束光束共线聚焦在样品上。在孔径为20 μm的共焦平面上，测量了探头和泵浦光束的光斑直径d。dprobe≤300 nm, dpump≈400 nm。用交叉偏振片技术分析共焦平面后探头的极性克尔旋转。交叉分析仪的消光比<5x10-4。利用光电倍增管和锁相检测方案检测弱泵浦探头Kerr信号，该方案可用于可调至1ns的不同泵浦探头延迟。测量是在垂直于样品平面的外加磁场的相反方向下进行的。(⏐H0⏐≤4kOe)。在进行动态测量之前，确定静态克尔信号IKerr(α) ...
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