SmartPrint UV无掩模光刻机-科研半导体光刻应用中的研发“加速器”和工艺“探索器”!一.当光刻不再需要掩模版科研及半导体实验室里有一个常见说法:成本压力不仅来自光刻胶和硬盘,也来自每改一次设计就得重新制作的掩模版。一张标准掩模版动辄千元,周期两三周,当研发节奏越来越快,这种“每改一笔就得等半个月”的模式已经成为创新的主要限制因素。Smart Print UV 是昊量光电推出的一款基于 DMD(Digital Micro-mirror Device,数字微镜器件)投影技术的无掩模光刻系统。它用一块 DMD 芯片替代传统硬掩模,直接把 CAD 设计投影到光刻胶上——想写什么就写什么,从设 ...
多通道锁相测量赋能低温纳米量热:SynkTek MCL1-540实现比热与X射线衍射同步表征随着新型超导、磁热、拓扑和强关联材料研究不断深入,实验样品正在变得越来越小。对于只有数十至数百微米尺寸的单晶,传统量热设备的平台附加热容可能远大于样品本身,使微弱的相变热学信号难以分辨。膜基纳米量热技术采用低热容悬空薄膜承载样品,可对微克级材料进行交流稳态量热。实验中,交流加热器向样品施加周期性热功率,样品温度随之产生微小振荡。研究人员需要同时测量加热信号、温度振荡幅值以及二者之间的相位差,才能计算量热单元的热容和热导。一、多通道同步测量需求这类实验是一套典型的多通道同步测试系统,需要完成以下任务:为交 ...
石墨烯SERS检测的精度之战:你的光谱仪,真的“看”得够清吗?拉曼光谱是材料科学家的“眼睛”,通过光子与分子振动的非弹性散射,它能告诉我们碳原子的排列是否整齐、缺陷有多少、掺杂水平如何。但对于石墨烯这类二维材料,这双“眼睛”面临着严峻考验:石墨烯的本征拉曼散射截面较小,微弱的信号如同暗夜中的萤火虫,稍有不慎就会淹没在噪声里。当研究者试图在石墨烯上构建高灵敏度的表面增强拉曼光谱(Surface-enhanced Raman spectroscopy,SERS)检测基底时,这种考验对检测系统提出了更高要求——他们需要分辨I2D/IG比值从1.8骤降至0.3的细微变化,需要在强G峰旁边捕捉到几乎不可 ...
上海技物所宋玉欣/陈晓双/魏璐Small:单光探测器中神经控制增益压缩的自适应红外视觉【研究背景】在漫长的生物进化过程中,人类视觉系统演化出了一套精妙的自适应机制。通过瞳孔大小的动态调节与视网膜感光细胞的反馈回路,人眼能够在从昏暗星光到刺眼阳光的巨大光强跨度中,始终保持对环境的清晰感知。然而,生物视觉存在天然的物理局限:我们无法感知红外波段,且对光的偏振状态不敏感。在自主感知、边缘智能以及复杂环境探测等前沿领域,突破这些生物视觉的生理限制已成为迫切需求。现有的红外图像传感器在应对复杂光照环境时,往往依赖于系统级的补偿手段,如机械光圈调节、模拟增益控制(AGC)以及复杂的数字后处理算法。这些传统 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要:在本文中,我们介绍了时域漫射技术,并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散;而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减,光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内,漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术(DOS)和相对较新的漫射相关光谱技术(DCS)。在漫射光谱学中,也称为近红外光谱学,光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱(DCS)中 ...
突破2GHz:新一代Moku:Delta 超高频锁相放大器一、引言在量子计算、精密光谱学、纳米显微成像等前沿科研领域,锁相放大器(Lock-in Amplifier)是从强噪声背景中提取微弱周期性信号的重要工具。传统的锁相放大器往往面临着带宽受限、通道数不足、与其他仪器协同困难等问题。传统锁相放大器的解调带宽通常仅局限于几MHz甚至几百kHz——即便是市场上主流的高端型号,如 Zurich Instruments UHFLI(600 MHz)和 SRS SR844(200 MHz),距离微波频段的直接解调仍有明显差距。然而Liquid Instruments推出的第四代智能测控平台Moku:D ...
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
突破光学不变量的桎梏:ULTRA 显微镜系统与 ALCOR 飞秒激光器在跨尺度神经成像中的协同创新摘要在系统神经科学领域,实现活体状态下对大脑皮层进行超宽视场(Ultra-wide Field of View, FOV)与高分辨率并存的双光子成像,一直是光学工程与生物学交叉领域的重大挑战。传统的双光子显微镜受限于 Smith-Helmholtz 不变量,难以在保持高数值孔径(NA)的同时实现大视场成像,且深层组织成像常面临严重的像差与信号衰减问题。本文基于中国科学院苏州医工所、 Imperial College London 等团队近期发表于 Light: Science & Appl ...
汉堡大学使用Moku实现量子密钥分发实验系统中的相位稳定引言量子密钥分发(QKD)zui早在20世纪80年代提出,它提供了一种比经典方法更安全的信息传输方式。在典型的QKD方案中,发送方(Alice)通过量子态对经典信息进行编码,并通过量子信道传输给接收方(Bob)。由于量子力学中的不可克隆定理,这些量子态无法被复制。这意味着窃听者(Eve)无法在不被Alice和Bob察觉的情况下获取或复制传输信息,从而使通信过程具有高度安全性。因此,QKD能够在信息不会被拦截的前提下安全传输敏感数据。目前已有多种成熟的QKD协议与实现方法。近年来,连续变量量子密钥分发(CV-QKD)因其与现有通信基础设施( ...
案例分享|"鬼光谱"突破高光谱取舍:PPKTP量子成像方案高光谱成像一直有个让人头疼的矛盾:想要光谱分辨率,就得牺牲空间分辨率,或者反之。而在量子成像领域,基于纠缠光子对“鬼成像”已展现出突破传统光学探测边界的潜力。而当量子关联从空间维度延伸至光谱 — 时间维度,高光谱成像也迎来了新的技术路线。近期,来自加拿大guo家研究委员会的研究团队提出一种量子关联高光谱成像技术(QCHSI)。该方案利用PPKTP晶体通过自发参量下转换(SPDC)产生高质量纠缠光子对,将量子鬼成像的关联测量思想与快照式高光谱成像结合,在不显著牺牲空间分辨率的前提下,实现了单光子级、高效率的快照高光谱成 ...
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