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中文：浸没光刻；英文：immersion lithography

关键词
解释
中文：浸没光刻；英文：immersion lithography的原理；中文：浸没光刻；英文：immersion lithography的定义；中文：浸没光刻；英文：immersion lithography是什么。
 在光刻投影镜头与基底之间充满介质，以增大投影镜头的数值孔径、提高光刻成像分辨率和焦深的光刻工艺。
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