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光电词典搜索 :
检索词条 —— 浸没光刻
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浸没光刻
;英文:immersion lithography
在光刻投影镜头与基底之间充满介质,以增大投影镜头的数值孔径、提高光刻成像分辨率和焦深的光刻工艺。
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