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化学气相沉积法(CVD)生长的二维材料已被广泛用于研究和应用。不同的衬底会对生长的二维材料产生影响,使它们的形态,晶体质量,光学性能等被改变。云南大学杨鹏教授课题组研究了衬底对CVD生长MoS2和WS2的影响。本文主要使用SiO2/Si,Si,石英作为衬底生长二维材料。形态&晶体质量如上图a所示,SiO2 / Si衬底上的CVD生长的MoS2具有规则的三角形形状,具有清晰的分层结构,说明了合成了不同层数的MoS2。d是在Si衬底上生长的MoS2,图中只能看到针状纳米棒的合成。接着用PTCDA处理了SiO2/Si,Si,PTCDA充当CVD外延生长的成核中心,并有助于在这两种基底上获得相 ...
采用:改进的化学气相沉积法(MCVD)、轴向气相沉积法(VAD)、棒外化学气相沉积法(OVD)和等离子化学气相沉积法(PCVD)四大主流工艺。光棒外部包层制造一般采用套管法(早期是 RIT,后来演进为 RIC)和全合成法(OVD、VAD)。图3.预制棒拉丝流程拉制:预制棒制备完毕后,需要对预制棒进一步做拉丝处理。拉伸炉使预制棒在高温下(2000~2200℃)熔融,在重力的作用下往下垂,并形成细丝,经直径监控设备检测达到标准后,就可以穿过涂覆器,使得光纤表变涂上了保护层。在经过紫外固化炉的固化,涂层就紧密结合在光纤表面,涂覆后的光纤由牵引轮牵引收到线轴上。而这个过程中,正确精准地控制拉丝温度、收 ...
一大类是管内化学气相沉积法,它是将粉尘沉积在熔石英管的内壁上,即石英管成为包层,沉积在管内的是芯与包层材料。根据其对反应区加热方法的不同,又可分为两种工艺方法,即“改进的化学气相沉积法”“微波等离子体化学气相沉积法”;第三大类为“轴向化学气相沉积法”。图1.光纤预制棒的生产示意图(1)MCVD法。MCVD法是目前制作高质量石英光纤比较稳定可靠和广泛使用的光纤预制棒的生产工艺。它是1974年由美国贝尔实验室开发的经典工艺,并为朗讯公司所采购。(2)PCVD法。PCVD法是由荷兰飞利浦研究实验室于1975年提出的工艺方法,它是一种管内低温等离子体的化学气相沉积法。它与MCVD法的工艺原理基本相同, ...
无横向再生的MOCVD室温连续波量子级联激光器设计和制造量子级联(QC)激光器是一种很有前途和影响力的中红外光源,在化学传感、无线通信和对抗措施等领域具有潜在的应用前景。自1994年首次演示以来,通过改进激光设计,材料生长和包装,不断显著地改进了QC激光器的性能。到目前为止,使用固体源分子束外延(MBE)或气源MBE生长的波长为9.1和4-6 um的QC激光器已经证明了室温连续波(CW)操作,这是紧凑型非低温激光源的重要里程碑。金属有机化学气相沉积(MOCVD)zui近引起了人们的研究兴趣,因为它是工业界第1选择的技术,并且在QC激光器的商业化方面有前景。据报道,MOCVD是一种高性能的QC激 ...
采用金属有机化学气相沉积法生长QCL芯片,长3mm,增益中心为,为9:6 μm。在室温下,该QCL在具有未涂层面的Fabry-Perot (FP)几何结构中运行时,每个面产生约65mw的连续波功率。多模FP光谱覆盖9450-9750 nm(图1)。为了获得在图1所示的几乎整个波长范围内可调谐的单频可调谐功率输出,我们将QCL增益芯片集成到物理长度为27 mm的外部光栅腔配置中。将未涂覆的QCL增益芯片安装在保持20°C恒温的铜块上。外部激光腔由一个抗反射涂层的ZnSe非球面透镜(孔径为6 mm)组成,用于将激光光束从其中一个激光面准直到一个150沟槽=mm的复制光栅上,该光栅在10:6 μm处 ...
微机械剥离和化学气相沉积法(CVD)制备MoS2薄膜的光电探测器进行了大量的研究。然而,微机械剥离的成品率低和可扩展性差阻碍了MoS2光电探测器的实际应用。CVD被认为是合成大面积MoS2薄膜有前途的方法,但生长过程的严格条件和较差的可重复性给圆片规模的合成带来了困难。基于二硫化钼可控地大规模高性能光电探测器仍然是一个巨大的挑战。作为一种替代方案,溶液剥离的二硫化钼纳米片引起了人们的广泛关注,其中常用的是液相剥离(LEP)和电化学剥离(ECE)。但LEP制备的纳米片厚度分布较宽,横向长短较短,导致薄膜电性能不太理想。另外,LEP的有限产量也制约了其更广泛的应用。在ECE中一直使用锂离子作为插层 ...
等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积0.3 mm的SiOx绝缘层,通过电子束蒸发沉积30 nm/300 nm的薄钛金顶部金属触点,然后将衬底减薄至200 mm,并沉积20 nm/200 nm的锗金底部金属触点。直径为190 mm的圆形平台样品(用于电致发光和电子传输测量)由相同的晶圆使用类似的技术制造,除了不需要SiOx绝缘层。激光器的腔长从0.5到4.0 mm不等,并在铜散热片的外延侧安装。此外,还制作了具有埋置异质结构波导和固定腔长1.9 mm的激光器,在其背面涂覆高反射率涂层,并将外延面向上安装。图3图2a显示了台面样品在80k和300k下的电致发光光谱。与预期相反,本设计中的超 ...
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