解释
中文：相位偏移干涉术；英文：phase shifting in-terferometry / PSI的原理；中文：相位偏移干涉术；英文：phase shifting in-terferometry / PSI的定义；中文：相位偏移干涉术；英文：phase shifting in-terferometry / PSI是什么。
又称“相移术” “移相术”。通过有规律地移动参考镜或者其他相位调制方法，使参考光的空域或者时域相位被调制，从而形成干涉条纹的一种干涉术。用CCD采集不同相位的干涉图，经信号处理求得被测相位分布。
