激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
拉曼光谱专题8 | 微观的 “运动密码”:拉曼光谱带你读懂分子振动与能级你是否好奇过,为什么一杯水结冰时会发出细微的 “噼啪声”?其实,这是水分子在微观里运动碰撞产生的声音 —— 当温度降低,水分子的运动节奏变慢,相互作用时便奏响了这独特的 “冰之乐章”。在拉曼光谱的里,每一种分子都有专属的 “运动节奏” 和 “能量台阶”,也就是分子振动与振动能级。今天,我们就来解锁这份微观的 “运动密码”,看看它如何助力科研与检测,以及昊量光电 HyperRam 全自动拉曼如何成为解读密码的 “金钥匙”。一、分子振动:每一种分子都有 “专属运动模式”如果把分子比作一个小团队,那么组成分子的原子就是团队里的成 ...
“鬼光谱”突破高光谱取舍:PPKTP量子成像方案高光谱成像一直有个让人头疼的矛盾:想要光谱分辨率,就得牺牲空间分辨率,或者反之。而在量子成像领域,基于纠缠光子对“鬼成像”已展现出突破传统光学探测边界的潜力。而当量子关联从空间维度延伸至光谱 — 时间维度,高光谱成像也迎来了新的技术路线。近期,来自加拿大guo家研究委员会的研究团队提出一种量子关联高光谱成像技术(QCHSI)。该方案利用PPKTP晶体通过自发参量下转换(SPDC)产生高质量纠缠光子对,将量子鬼成像的关联测量思想与快照式高光谱成像结合,在不显著牺牲空间分辨率的前提下,实现了单光子级、高效率的快照高光谱成像。高光谱成像的传统瓶颈高光谱 ...
超导纳米线光子数分辨探测器:开启量子通信与传感的新纪元近年来,随着量子通信、激光雷达(LiDAR)和单光子成像等技术的飞速发展,对高性能单光子探测器的需求日益迫切。特别是在光子数分辨(Photon-Number-Resolving, PNR)能力方面,传统单光子探测器存在明显短板。文中提出并验证了一种基于并行超导纳米线结构的光子数分辨探测器,为高灵敏度、高速度、低噪声的单光子探测提供了全新解决方案。一、从“有无”到“多少”:光子数分辨的技术挑战与意义传统单光子探测器(如SPAD)仅能判断“是否有光子到达”,无法区分光子数量。这在高动态范围、高背景噪声或量子态重构等应用中成为关键瓶颈。光子数分辨 ...
Moku:Lab应用于基于有机纳米步进光学致动器的可重构集成光子电路中国科学院化学所张继哲等研究团队新发表研究成果,成功研制出一种运动轨迹可编程的光致动器,用于集成光学芯片上的器件重构。该制动器由有机分子晶体组成,尺寸仅为微米量级,可以通过低功率激光远场照射的方式进行供能驱动和轨迹调控,从而在光芯片上实现直行、转弯、跨越波导运动,进一步实现对片上微结构的组装和操控。基于此,研究团队首次在光子芯片上实现了对微环谐振腔共振频率的动态、半永久性的精密调控。该研究成果以“Optically-driven organic nano-step actuator for reconfigurable pho ...
全新升级MokuOS 4.0,简化跨设备平台协同交互Liquid Instruments推出全新用户操控系统MokuOS 4.0,通过一套统一化的操控系统将Moku全系列产品的图形化操作软件、固件和API整合到同一操控平台,实现Windows、macOS、iPadOS和visionOS跨平台兼容。此次升级不仅包括全新仪器功能提升仪器性能,还对APIs以及Moku云编译优化,为用户带来更强大高效的测量实验平台。新系统全面支持Moku:Pro、Moku:Lab、Moku:Go及2GHz带宽和8通道的新高性能型号Moku:Delta。欢迎联系昊量光电,立即下载MokuOS 4.0,免费体验全新功能。 ...
Moku:Delta在半导体测试中的应用一.简介在数字化浪潮席卷全qiu的今天,信息技术的迭代速度日益加快。其中,半导体技术作为信息产业的“基石”,支撑着从智能手机到超级计算机的所有电子设备;半导体测试是保障半导体产业高质量发展的核心环节,我公司推出的Moku:Delta是一款高度集成的测试测量仪器,凭借其模块化设计与软件定义硬件的架构,能够灵活适配半导体测试中的复杂场景。当然,在量子信息科学研究中,它提供了超高精度的信号采集与处理能力,支持从微波到光频段的多领域实验需求。本文重点讲解Moku:Delta通过与AI算法的深度融合,实现了智能化数据分析与实时反馈控制,大幅提升测试效率与准确性。二 ...
高精度特斯拉计,配有薄型高分辨率三轴霍尔探头摘要新型数字特斯拉计系统(又称高斯计)集成了三轴霍尔探头、基于旋转电流技术的模拟电子元件、24位模数转换器、计算机及7位数触摸屏显示器。该霍尔探头采用单片硅芯片设计,集成有水平/垂直方向的霍尔磁传感器和温度传感器。霍尔传感芯片封装在坚固的陶瓷外壳中,其厚度仅为250μ微米。旋转电流技术有效消除了霍尔探头偏移、低频噪声及平面霍尔电压干扰。通过基于三变量二次多项式的校准程序,消除了霍尔元件非线性误差与探头电子元件温度变化带来的影响。针对霍尔探头角度误差问题,采用探头灵敏度张量校准方案彻底消除误差。这些创新设计使新特斯拉计具备了测量1μ特斯拉至30特斯拉磁 ...
拉曼光谱专题5 | 拉曼光谱 vs 红外吸收光谱:本文教你怎么选!当制药实验室需要实时分析药片成分时,当文物修复专家要无损鉴别古画颜料时,当半导体工厂需在线监控芯片质量时,科学家们总会面临一个关键选择:是用红外吸收光谱还是拉曼光谱?这两种被誉为 “分子指纹识别” 的核心技术,同属分子振动光谱范畴,却因原理差异形成截然不同的应用边界 —— 既存在互补性,也在诸多场景中呈现明确的选择区分。深入理解两者的异同,是精准匹配分析需求、提升检测效率的关键。一、原理核心:分子振动的 “两种探测逻辑”拉曼光谱与红外吸收光谱的本质差异,源于对分子振动信号的探测方式不同,这种底层逻辑的区别直接决定了两者的技术特性 ...
拉曼光谱专题6 | 拉曼光谱与荧光效应当激光照射到样品上,你期待的是能揭示分子结构的拉曼光谱,得到的却是一片模糊的荧光背景 —— 这大概是每一位从事拉曼分析的科研人头疼的时刻。拉曼光谱作为物质的 “分子身份证”,能精准呈现分子振动的独特信号,但荧光效应这个 “捣蛋鬼” 常常让这张 “身份证” 变得模糊不清。今天我们就来彻底搞懂荧光效应,以及如何让你的拉曼分析告别干扰,精准高效!一、荧光效应:拉曼光谱的 “隐形干扰者”想象一下,当你用激光照射样品时,就像在黑夜里打开手电筒寻找指纹,而荧光效应却像突然亮起的霓虹灯,让真正的指纹变得难以辨认。在拉曼光谱分析中,激光与分子碰撞产生的拉曼散射信号本应是主 ...
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