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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
使用直接调制VCSEL和相干探测，以105.7Gb/sPDM3-PAM传输960公里SSMF（1）-简介本文利用3-PAM调制、极化分复用和数字相干检测，我们成功地在320公里SSMF上以7%硬决策FEC阈值（98.80Gb/s净比特率）和960公里SSMF上以20%硬决策FEC阈值（88.10Gb/s净比特率）分别传输了直接VCSEL调制产生的105.7Gb/s（原始线路速率）信号。与基于相位/正交调制器的相干发射机相比，基于VCSEL的发射机具有更小的外形、更低的功耗和更低的成本。同时，通过消除频率和相位恢复，也可以降低相干接收端的DSP功率。通过结合VCSELs短距离通信的优势和远程传输 ...
量子级联激光光声光谱法检测甲基膦酸二甲酯（DMMP）的十亿分之一水平我们通过分析和实验证明，光声光谱（PAS）可以产生有关目标分子内部结构的信息，对于在真实的城市和战场环境中检测化学战剂（CWAs）是一种特别敏感和选择性的技术。实验演示使用基于co2激光的PAS提供了对CWA模拟物二异丙基甲基膦酸盐（DIMP）的十亿分之一（ppb， 109分之一）水平的检测能力，对于1 ppb的报警阈值，潜在的超低误报率接近≤1:108。然而，基于co2激光的PAS系统相对较大、较重且功率密集。对于便携式或半便携式系统，需要不同类型的激光系统。本文演示了使用宽可调谐外光栅腔量子级联激光器（QCL）在检测水平上 ...
基于位置探测器和加速度计的补偿测振法基于位置探测器（PSD）的测振法目前广泛应用于工业和实验之中，具有成本较低和结构简单等优点。该方法在测量中的主要设备为PSD和激光器，测量的是测振系统和待测物体之间的相对位移，该位移是由待测物体的表面振动和测试系统本身振动两方面所引起的，当环境影响较大时测振系统自身的振动会对测试产生较大影响，因此这部分影响必须考虑。本文提出了一种低成本的对系统自身振动补偿的测试方法。利用PSD获取测振系统和被测物体的相对位移，并利用与测振系统固连MEMS加速度计测量系统自身振动，以实现测振系统所受环境振动的补偿。基本原理如图1所示，实际试验系统如图2所示。激光准直后经反射镜 ...
解析PPLN晶体在量子技术加速商业化的关键作用（二）：产品应用非线性晶体，尤其是PPLN晶体，以其优异的性能在量子技术领域扮演着重要角色。现在，让我们转向实际应用，看看这些科研单位和公司是如何利用MgO:PPLN晶体的，并听听他们的评价。*本文来源于英国Covesion公司的案例研究。上海昊量光电是Covesion公司在中国地区的合作伙伴。太空认证的非线性光学坚固型量子激光器 (SNORQL)铷原子磁光阱（Rb-MOT）作为下一代量子技术，可以实现超灵敏的重力测量。卫星重力遥感是监测气候变化的重要工具，它通过遥感测量地下水位和冰的质量。太空认证的非线性光学坚固型量子激光器 (SNORQL) 项 ...
液态变焦透镜在显微镜领域的应用（本文部分译自Focus-Tunable Lenses Enable 3-D Microscopy（DAVID LEUENBERGER, OPTOTUNE AG, AND FABIAN F. VOIGT, UNIVERSITY OF ZURICH））1.介绍显微镜初学者可能会感到困惑，当他们注意到样本中只有轻微失焦的部分在图像中看起来却模糊得多。人眼看到的景深似乎比相机看到的景深要大得多。这种令人困惑的效果之所以发生，是因为眼睛能够调节焦距：在使用显微镜观察时，用户会不断地——通常是无意识地——通过调整眼球晶状体的焦距来改变聚焦平面，而不需要触摸调焦旋钮。因此，自 ...
拉曼在电化学剥离二硫化钼薄膜的喷墨印刷大面积柔性光电探测器件阵列中的应用摘要：尽管在过去的几年中已经报道了各种基于MoS2的光电探测器，但由于MoS2薄膜的低产量和低质量，用于光电成像的大面积光电探测器阵列的控制制造仍然是一个主要挑战，本文首次展示了一种基于叠层二硫化钼纳米片的高性能喷墨打印柔性光电探测器阵列。将季铵离子插入MoS2体中，得到2H相MoS2纳米片。在室温下，喷墨打印光电探测器的响应率为552.5AW-1， 探测率为1.19×10 12 Jones，快速响应时间为23ms，恢复时间为26ms，具有优异的性能。 此外，成功构建了85像素/英寸的光电探测器阵列，并清晰地识别了字母“T ...
拉曼在一种高效析氢反应和超级电容器电极材料中的应用引言：多孔金属在催化、传感、储能和转化中具有至关重要的作用，因为它们具有高比表面积、尺寸效应增强的催化活性和优异的导电性。多孔金属的制备有着悠久的历史。在过去的很长一段时间里，人们提出了各种制备方法来制造直径为毫米的较大孔径的多孔金属，包括气相沉积、在液态金属中用气体直接发泡、压力铸造等。相反，对于按微米/纳米尺度缩放的多孔金属，由于难以控制具有良好空间分布的多孔均匀性，因此制备方法受到限制。通常，有两种主要方法可以制备孔径较小的金属:模板法，将金属沉积到已备好的具有预期多孔结构的模板上，然后移除该模板；去合金化，即设计合金前驱体，然后从合金中 ...
原位拉曼对单层二硫化钼生长机理的研究应用摘要：化学气相沉积（CVD）的原位研究对于理解过渡金属二硫化物（TMDs）的生长机制和开发高质量单层单晶生长技术至关重要。然而，由于TMD CVD生长是在高温还原环境下进行的，因此原位研究在实践中仍然是一个巨大的挑战。本文使用的原位CVD生长研究系统，就提供了单层MoS2沉积在衬底上的SiO2/ Si实时观察。本文发现，单层MoS2应通过气态前驱体反应生长并从衬底上的预成核位点结晶，中间相MoO2对于成核种子至关重要，但种子分布密度应该得到控制，高浓度的S蒸汽促进了MoS2的面内外延生长；因此，获得具有致密结构的高质量单层是非常有益的。二维过渡金属二硫族 ...
超连续激光作为光学相干层析成像的照明光源摘要：本文讲述使用超连续谱激光器作为光学相干层析成像的照明光源，并对光学相干断层扫描(OCT)的工作原理，OCT的形式进行了简述。光学相干断层扫描(OCT)是一种显微镜和眼科检查技术，它改变了视网膜和眼病的临床分析范式。OCT在20世纪80年代首次以扫描激光检眼镜(SLO)的形式开发和实施，为显微镜中的超分辨率成像打开了新的窗口，允许分析形成视网膜的不同层以及青光眼和其他黄斑疾病的诊断和治疗。OCT技术的主要优点与非侵入性有关，可以对生物组织进行横断面活检，并且该技术的高轴向分辨率使得筛选5到20微米深的视网膜层成为可能。OCT的一般工作原理：光学相干层 ...
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