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积分球均匀光源-连续发射光谱
面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
源诸如氙灯、卤钨灯等气体灯已被用来模拟太阳光照明,但考虑到它们的光谱光源与太阳光谱的匹配效果、光谱的可调性,以及光效和色温等,这些传统光源与太阳光谱无法实现良好匹配。而作为第四代照明光源的LED,与许多传统的白炽灯、荧光灯等照明光源相比,具有光效高、使用寿命长、波长覆盖范围光、单色性能好、光色可调、节能、环保等优点。Lumencor的MAGMA Light Engine采用了现代固态照明技术来克服传统光源的限制。在15厘米x 35厘米的紧凑尺寸内,MAGMA光引擎集成了21个单独寻址的LED光源,波长范围从365nm到1050nm,由板载微处理器控制。LED输出被合并成一个公共的光学序列,指向 ...
DMD光学简介DMD应用物平面——将DMD表面的图像投影到另一个表面(或虚拟图像,例如HUD)放置在系统终止端或傅里叶平面的空间滤波或光调制(包括DMD全息数据存储的使用方法)在衍射光束中放置——波长选择/光谱学如何操控灯光DMD微镜允许+/- 12º倾斜角度,在f/2.4产生4个不重叠的光锥远心是什么意思?非远心:投影透镜入口附近的投影瞳孔一般需要偏移照明远心:投影和无限照明的瞳孔每个像素“看到”光线从相同的方向来开关状态更均匀可以更紧凑更大投影镜头需要TIR棱镜TIR棱镜TIR棱镜根据角度区分入射和出射光线所有光线小于临界角将通过;其他角度反射气隙小,以减少投影图像的散光光学转换系统为了在 ...
拉曼光谱仪性能参数评价标准在不同的应用场景下,拉曼光谱仪的性能是否足以满足用户的需求是很难确定的。提出统一的评价方法和标准,对开展拉曼光谱仪的标准化研究具有重要意义。针对不同的应用场景,拉曼光谱仪在外观、结构、测量方式、扩展功能等方面存在较大差异。无论哪种方法,拉曼测量的目的都是为了获得样品的拉曼光谱,如拉曼位移、强度和光谱形状。以成像拉曼系统为例,光谱成像是通过显微镜和自动机械平台对一定区域内的样品进行逐点测量来实现的。最后通过数据处理建立光谱图像。每个测点的信号对应离散的拉曼光谱,这使得我们也可以通过检查指定测点的光谱来科学地评估关键技术性能指标。因此,拉曼光谱仪的关键技术指标往往是能反映 ...
偏振相机介绍光经过物体表面反射后,因为物体表面的结构、材质、颜色以及光本身的入射角等物理性质的不同,其偏振方向等也将随之改变,从而使某些反射信息得到加强,某些信息被弱化,这样便可更加有效地得到相应的图像信息,对被测物加以鉴别,如物体表面纹理结构、粗糙程度、表面缺陷等等。偏振光分为完全偏振光和部分偏振光,其中完全偏振光又分为圆偏振光和线偏振光。图1中给出了无偏振的自然光与线偏振光的区别:灯泡发出的光具有任意的振动方向,因此是无偏振的,当它穿透偏振滤光片时,只有沿着某一个特定振动方向传播的光可以通过,其他振动方向的光要么被吸收,要么被反射,此时透射光成为了完全的线偏振光。当意识到偏振光的重要性,人 ...
Specim高光谱成像仪/高光谱相机 400-12000nm宽谱波段可选高光谱成像技术是一种图像及光谱融合的技术,可同时获取研究对象的空间及光谱信息。图像数据反映物体的外部特征、表面缺陷及污斑情况,光谱数据用于分析物体内部结构及成分。通过原理一般分为以下几类高光谱成像仪:一光栅分光,通过光栅将光谱展开,然后线阵推扫成像,比如Specim高光谱相机,覆盖各种波长和领域;二可调谐滤波器分光,此原理相机不需要外置推扫或移动装置,面阵成像,光谱扫描,比如Hinalea凝视型高光谱相机;三芯片镀膜型高光谱相机,采用高灵敏ccd芯片及cmos芯片研制了一种新的高光谱成像技术,在探测器的像元上分别镀不同波段 ...
DLP技术的商用应用简介由Ti公司提供的DLP 芯片,具有高可靠性和长久的使用寿命。芯片表面由像素点大小的微镜组合成阵列,每一个微镜可以控制对光“开”“关”,具有高速调制空间光的 能力,在高清图像显示方面具有优势。对于DLP 芯片,合适的LED 或 RGB LED 组合是什么?固体光源和DLP® 技术结合•无极化无3LCD那样的额外损失•可靠性大于100,000小时的寿命•无需更换灯泡降低成本•快速响应时间即时开/关,与 3LCD 不同,这两种技术(DLP技术和发光二极管)都有微秒级响应时间•色彩饱和度不错的图像质量和宽广的色域基于DLP技术的LED系统的工作原理•彩色滤光片的选择对于实现较 ...
Admesy Rhea光谱式色度计系列在透过率测试中的应用一.介绍在这篇文章中,我们将指出AdmesyRhea光谱式色度计系列可用于半透明材料透过率测量的多种灵活方式,以及如何定制它。由于半透明材料测量的应用是无穷无尽的,我们专注于透射测量的一般原理。一些应用领域的例子可以是薄膜、箔、玻璃的测量,也可以是试管中的液体和荧光测量。首先,我们简要地讨论了这个过程,并展示了一些可能的测试设置,以测量透过率的光学配置。其次,我们指出如何调整光源和光谱测量引擎,以适应特定的透过率测量应用。二.透过率的测量2.1 测量程序和设置透射测量程序通常包括两个步骤:通过测量没有物体或材料的参考标准光源来收集基线和 ...
用ARCoptix傅里叶红外光谱仪估算土壤有机碳可见光到近红外(VIS-NIR)和中红外(MIR)光谱等光谱技术被认为是确定土壤有机碳(SOC)的实验室方法的有效替代方案。需要进行研究以探索VIS-NIR和MIR吸光度的融合对于改善SOC预测的潜力,因为每个单独的光谱范围可能不包含足够的信息来产生合理的估计精度。在这里,我们研究了两种在输入数据中不同的数据融合策略,包括全光谱吸光度的直接串联和通过较优波段组合(OBC)算法串联所选预测因子。土壤有机碳(SOC)是一个关键的土壤质量指标,因为它直接或间接地影响土壤的物理,化学,生物状态和整体肥力。维持和改善SOC对于支持植物生长和作物产量至关重要 ...
HiCAM高速像增强荧光相机用于斑马鱼心脏的高速活体成像技术在德国巴德诺海姆的Max Planck心肺研究所,人们对斑马鱼的心血管系统进行了研究。斑马鱼的透明度(图1)及其实验优势使其成为人体心血管系统的理想比例模型。图1 斑马鱼的照片。心脏位于红色方块内为了研究斑马鱼的血液流动,血红细胞被荧光蛋白DsRed标记。荧光的强度受到附着在红细胞上的荧光蛋白数量的限制。此外,光线发射的方向是随机的,这进一步减少了到达相机的光量。低光强度不一定存在问题,增加曝光时间来捕捉足够的光是一个常用的解决方法,这通常被用于成像固定的昏暗物体。然而,在移动物体上使用相同的方法会导致图像模糊。试想一条活的斑马鱼,它 ...
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