面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
一张照片,全幅清晰!看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来,超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛,下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜?普通光学显微镜景深小,适合观察“薄而平”的样本,而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”,需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是:通过成像系统在z轴扫描、CCD成像,捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像,再利用3D合成重建算法,获得高分辨率,大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品,可进行图像2D拼接和3D拼接,这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
空间光调制器(SLM)在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性,在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等,其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干(秒级)、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列,完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1: 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87(⁸⁷Rb,zui主流)能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级,适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
让光子不再“迷失”于大气扰动:高速自适应光学系统开启自由空间量子通信新篇章自由空间量子通信是构建全qiu量子网络的关键一环。无论是地面站与卫星之间的链路,还是跨城市、跨水域的量子密钥分发(QKD),都离不开光信号在大气中的传输。然而,大气湍流引起的波前畸变会严重降低信号耦合效率、引入模式串扰,从而限制通信距离和安全性。大气湍流带来的波前畸变,就像夏日路面上的热浪一样,光子在这种“湍流”中穿行,就像星光在夜空中闪烁一样,波前被扭曲、模式被打乱,光束“摇摆不定”,导致单光子空间模式发生串扰、误码率飙升,高维编码的优势被大幅削弱。[图1:什么是波前畸变?—— 湍流导致规则波前变为扭曲表面示意图]图注 ...
获取白皮书《现代宽带射频记录回放解决方案》在现代射频(RF)测试测量场景中,工程师们常提出这样的需求:将真实的电磁环境实时完整地记录下来,并在后续实验复现信号,甚至需要对信号进行在线修改和调整。这个需求看似简单,真正实现却面临诸多挑战,例如:传统宽带记录与回放系统通常功能单一、数据格式封闭,难与现代化标准系统集成,且无法在采集过程中进行实时处理;这类系统价格高昂,动辄需要数十万美元投入。因此,当前很多测试流程仍然停留在“先采集,再离线分析”的模式,既不灵活,也难以支持现代复杂测试场景。现代射频测试测量方式需要从“传统单功能硬件”向“宽带采集+动态重构+软件定义“演进。工程师们需要一个可实时处理 ...
高光谱相机在塑料分选方面的应用每天,从早餐的外带咖啡杯到午后的矿泉水瓶,从快递包装到家居用品,塑料已无处不在。然而,这些被丢弃的塑料若混合处理,不仅浪费资源,更可能造成环境污染。高效、准确的塑料分选,成为资源再生的关键一步。今天,我们要介绍一项前沿技术——高光谱相机,它正以其“透视”般的能力,赋予机器识别不同塑料的“眼睛”,让分选变得又快又准。实验准备:本次实验我们采集的是五种不同材质的塑料,如图1所示,分别为1.PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯):常见于饮料瓶、食品容器,透明轻便,可回收制成纤维、新瓶。2.PP(聚丙烯):多用于餐盒、保鲜盒,耐热性强,是食品包装的常客。3.PS(聚苯乙烯):分为 ...
从“弯曲的桌面”到“亚厘米精度”:一篇带你读懂SPAD阵列激光雷达的误差与补偿2025年4月,中国计量大学的研究团队系统地分析时间门控SPAD阵列激光雷达的两大核心误差源,并提出了可量化的补偿方法。实验结果令人印象深刻:补偿后误差降低超过60%,深度分辨率优于1厘米。下面,我们就来拆解其中的技术细节。一、时间门控SPAD激光雷达的工作原理在深入误差分析之前,先快速理解这个系统是怎么工作的。与传统TCSPC(时间相关单光子计数)技术不同,时间门控SPAD阵列不逐点累积光子直方图,而是通过时间门来“切片”。每个时间门是一个固定宽度的时间窗口,比如5纳秒。相机在连续的门控周期中依次打开这些窗口,每个 ...
双频共振跟踪(DFRT)-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要,包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法:一种利用锁相环 (PLL),另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好,但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难,提供了更可靠的解决方案。在这里,我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生,在模拟谐振器上进行了测试,并获得了积极的结 ...
啁啾体布拉格光栅(CBG):超精细量子位控制技术中的新方案随着量子计算、量子模拟和精密测量等领域的快速发展,高保真度的量子位操作成为实现大规模量子信息处理的关键。超精细原子态作为量子比特的编码载体,因其长相干时间和可控性而备受青睐。然而,传统的量子位驱动方法(如微波直接驱动或双激光Raman过渡)在扩展性和稳定性上面临挑战。近年来,啁啾体布拉格光栅(Chirped Bragg Grating, CBG)作为一种新型色散光学元件,通过高效地将相位调制转换为幅度调制,为超精细量子位的Raman驱动提供了革命性的解决方案。本文基于前沿研究论文(文章1-《Dispersive optical syst ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com