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观测。它通过磁光调制技术来调整接收光的偏振方向；采用面阵探测器获取样品表面的椭偏图像；采取用磁光调制器取代传统步进电机转动起偏器、补偿器或检偏器光轴的方法来实现椭偏仪的测量，采用磁光调制器改变接收光的偏振方向，可以得到更高的偏振方向控制精度和重复精度，而且磁光调制器的调制速度更快。该技术给成像椭偏仪发展提供了新的方向，较大地提高了测量速度。如果您对椭偏仪相关产品有兴趣，请访问上海昊量光电的官方网页：https://www.auniontech.com/three-level-56.html相关文献：1薛利军, 李自田, 李长乐, 等 . 光谱成像仪 CCD 焦平 面组件非均匀性校正技术研究[J ...
nm。通过与磁光调制、时间相移和双反射等技术的结合，光谱椭偏技术提高了测量速度和准确性。通过与Muller矩阵的结合，光谱椭偏技术不再受光学分辨率极限的限制，提高了测量的准确性，可以获得更丰富的信息。2019年华中科技大学发明了基于液晶调相的垂直物镜式Muller矩阵成像椭偏仪，该仪器所用系统改变了之前普通倾斜镜面成像的结构，根本上避免了焦深小、视场窄的问题，可实现高分辨率、宽视场测量，可用于对纳米薄膜几何参数的测量。2018年韩国朝鲜大学提出用于表征多层膜结构的大面积光谱成像椭偏仪，利用宽带光源和成像光谱仪，光谱范围可以达到400-800nm。准直光束通过扩束器扩展，直径达到30mm，通过低 ...
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