激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
《精准量子比特控制和读取》白皮书在上篇客户案例中,我们分享了德国马普高分子研究所团队如何利用 NV 色心构建高灵敏度的磁力计,案例展示了量子比特相干稳定性在实验中的关键作用。要进一步加深理解量子比特的基本与控制方法,我们推荐您阅读新发布的白皮书《量子系统与量子比特控制》,欢迎联系昊量光电索取完整版。文章首先介绍了以二能级系统为基础的量子比特模型,说明了如何用哈密顿量和时间演化来描述其物理特性。在此基础上,白皮书引入 Bloch 球这一几何化工具,使研究者能够更直观地理解量子态的相干演化过程,以及驱动场如何在旋转参考系中对量子比特实现精确控制。白皮书第二步部分重点讨论了几类用于表征和操控量子比特 ...
重构测试 智变升级|全新一代智能测控平台Moku:Delta发布!Liquid Instruments 推出第四代智能测控平台#Moku:Delta,延续并升级了 Moku 系列一贯的“软件定义 + 硬件可重构”设计理念,结合2GHz 瞬时带宽、超低噪声和高分辨率前端设计,实现强大的混合信号分析能力,助力用户加速产品设计与验证流程。为科研与工业领域应用提供更加高效、精准、智能的一体化测试测量解决方案。测试精度全面提升Moku:Delta搭载Xilinx® UltraScale+RFSoC FPGA,配备 14 位与 20 位 8 通道 2 GHz模拟输入、14 位 8 通道 2 GHz 模拟输 ...
看激光指向稳定系统,是如何大幅提高龙门系统激光加工的精度!激光加工作为一种无接触式加工,以其可控性好、加工效率高、材料损耗低等特点,在与传统加工方式的比较中脱颖而出,成为很多人的选择,常见的有激光切割和激光焊接。目前振镜或焊接头与龙门系统架相结合是常见的激光加工组合方案。在加工过程中,焊接头随龙门架移动或振镜扫描,促使激光在靶面移动,进而实现高精度的激光切割或焊接操作。然而,随着机器规模增大,光束路径延长,在加工过程中会出现机械结构件的膨胀、龙门系统的振动以及导轨平行度以及空气扰动,这使得要实现微米甚至亚微米精度的控制愈发困难。在科学研究应用中,虽可采用封闭或抽真空束线管规避空气波动,但在龙门 ...
AI 智能重构测试测量平台,Moku:Delta集成业内首创“生成式仪器”Moku:Delta是Liquid Instruments新发布的智能测控硬件平台,具备2GHz 瞬时带宽、超低底噪和高分辨率的模拟前端设计,实现强大的混合信号分析能力,加速产品与设计与验证流程。基于“软件定义+硬件可重构”的平台架构,Liquid Instruments 新发布业内首创的“生成式仪器技术(Generative Instrumentation)”集成到Moku硬件测试平台,将人工智能(AI)引入测试测量领域,全面加速自动化测试流程。生成式仪器将彻底改变工程师与仪器之间的交互方式,在Moku平台工程师能够使 ...
Phasics大口径激光测试解决方案-KALAS系统一、大口径激光波前监测的核心技术瓶颈与行业痛点➢环境适应性缺陷·复杂现场(如大科学装置、空间通信)下,系统部署与维护成本高昂1.大科学装置(如guo家点火装置)中,空气湍流与机械振动导致传统干涉仪信噪比骤降50%以上,需额外隔振与温控投入。2.空间通信场景下,大气扰动与热漂移使传统传感器的波前重构误差增加。➢多参数异步的调试困局·多参数同步监测难:波前、强度、M²等关键数据无法一体化输出。1.波前畸变与强度分布的非同步测量,会导致激光远场焦斑能量集中度(环围能量比)计算偏差,影响“进洞能力”量化评估。➢闭环控制不足·动态闭环控制不足:调试效率 ...
原子磁力计的应用及进展引言人类对磁场的认识始于公元前6世纪,希腊哲学家泰勒斯发现摩擦后的琥珀可吸引轻小物体,及天然磁石可吸铁的现象,这一发现标志着人类对电的和磁的初步认识。随着人们对磁场的不断认识和学习,磁场测量设备也不断更新迭代,如从早期基于电磁感应原理的传统磁力计,到如今具有高精度的原子、量子磁力计。弱磁测量设备主要包括磁通门磁力计、超导量子干涉仪(superconducting quantum interference device,SQUID)和原子磁力计等。磁通门磁力计因其几何结构,分辨率一般只能达到纳特斯拉量级。SQUID具有高灵敏度的特点,但需要液氮杜瓦瓶来保持低温,体积较大且成 ...
案例分享|PPLN在频率片编码的纠缠量子密钥分发中的应用简介:我们以前分享过《基于time-bin量子比特的高速率多路纠缠源——PPLN晶体应用》,探讨了PPLN在时间片QKD中的应用。时间-能量纠缠虽是PPLN基础的产生形式,但也可以通过“加工”获得各种纠缠自由度。近期德国汉诺威莱布尼茨大学的Michael Kues及其研究团队在国际权威期刊《Light: Science & Applications》发表了一项突破性研究,题为“Frequency-bin-encoded entanglement-based quantum key distribution in a reconfi ...
案例分享| PPLN驱动的宽带量子合成器:实现超快压缩光脉冲源的关键突破量子技术是英国和加拿大工业战略的重要组成部分,有望彻底改变数字shi界,扩展当前成像设备的能力,并利用量子计算解决复杂计算难题以促进新药研发。宽带量子合成器(Broadband Quantum Synthesizer, BQS) 便是其中之一,旨在推进超快量子光学的前沿,其目的是开发第1个超宽带压缩光脉冲封装源,这是对下一代传感、通信和成像量子技术至关重要的工具。核心目标BQS 计划的核心是开发持续时间低于100fs的压缩光脉冲,理想情况下低于40fs,实现 >3dB 的量子噪声降低。这些“压缩”光态是纠缠的光场,其 ...
瑞士光学黑马 Optotune,液态镜头颠覆工业成像在传统光学系统中,聚焦通常依赖于机械结构推动透镜移动来实现,这种方式不仅响应速度慢,还存在诸多限制:对焦依赖于物体距离、电机系统导致整体结构庞大复杂、维护和校准成本高昂,以及机械磨损带来的寿命问题。而 Optotune凭借自主研发的可调焦液体透镜技术,彻底打破了这些瓶颈。无需机械移动,即可实现快速、精准的焦点调节,为各种需要高速对焦的应用场景带来了颠覆性解决方案。与传统光学方案相比,Optotune的液体透镜不仅彻底省去了机械移动结构,更在性能上实现了跨越式提升:• 聚焦速度可达毫秒级,满足高速动态场景需求;• 结构紧凑坚固,适应各种复杂环境 ...
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