激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
拉曼在固体氧化物燃料电池性能提升中的应用引言：固体氧化物燃料电池（SOFCs）作为一种友好的发电系统，可以直接将化学能转化为电能，具有高效且低排放的优点。传统的SOFCs在600-1000℃之间运行，总是遇到很多问题，比如成本高、电池组分之间的化学反应严重、低温下界面电阻大等。 因此，目前的研究重点是将工作温度降低到600℃。然而，经过调查表明，运行温度较低(特别是在600℃)可以延缓阴极氧还原反应（ORR）动力学，降低SOFCs 的整体效率。此外，在正常情况下，含氢碳燃料的SOFCs 不可避免地会产生大量的二氧化碳，并被释放到周围的大气中。很可能是二氧化碳扩散到阴极，与呈强碱性碱土金属阳离子 ...
Moku 集成式量子测控：软件定义仪器赋能量子传感与量子计量随着量子科学的快速发展，原子系统在时间、频率与场强等物理量测量中所展现的优异精度与稳定性越来越受到研究人员的重视。从基础物理的研究，到导航、通信等应用，基于原子系统的量子传感与计量正逐步成为推动科研和工程前沿的“精密引擎”。然而，从理论到实践并非易事：激光频率漂移、系统固有噪声、时序误差以及测试测量设备间的不同步，常常限制着实验性能的上限。本文聚焦于如何利用原子系统实现高精度量子传感与计量，并系统性探讨相关领域所面临的核心技术挑战以及对测试测量设备的需求。我们进一步展示了 Moku这种基于 FPGA 的测控一体化设备如何通过高集成度、 ...
双传感器系统：一个全面的相变分析摘要： 在本文中，我们将深入了解干涉测量法在纯流体和混合物中分析相变的应用。本研究中使用的双传感器系统有两个主要组成部分：光纤多模干涉仪光纤光栅（FBG）传感器它们的工作方式很简单：多模干涉仪在反射中工作，对折射率、温度和应变等特性的变化很敏感。另一方面，FBG传感器对温度和应变敏感，但对折射率不敏感。通过结合两个传感器的信息，双传感器系统可以区分温度、应变和折射率的变化，从而隐含地导致本文开头提到的参数的测量：样品浓度、冰点、熔点和潜热。双传感器系统的实验设置：实验装置的主要组成部分之一是超连续介质激光器：Iceblink。如图1所示：图1：实验装置示意图。该 ...
光纤传感器-组件及其制造摘要：在本文中，我们对当今用于检测物理参数的干涉测量传感器的特性和局限性进行了详尽的研究，指出了这种新兴技术的主要优点和应用，并提出了一种制造干涉测量光纤传感器的新技术。Lopez Dieguez博士描述了光纤传感器的主要组成部分：1.宽带光源，不仅可以覆盖可见光范围，而且可以覆盖近红外范围。这种特性有多种选择，如SLD、led或超连续光谱激光器。2.无源元件，如用于制备光纤的接头。3.绝缘体可以消除可能发生的反向反射。4.环行器以顺时针方向将信号导向特定的光纤。5.偏振控制器。6.波分复用器将两束不同波长的光束组合在一起。7.光纤耦合器将光束分成两个光路。8.探测器必 ...
案例分享|基于Sagnac-PPLN的宽光谱偏振纠缠光子源在之前的文章《案例分享|聚焦PPLN:1.48GHz通信波段纠缠光子源的技术创新与商业价值》，我们分享了英国Covesion公司展示的基于MgO:PPLN波导的纠缠光子演示装置（如下图）。在Stage 1中通过PPLN波导高效倍频产生780nm激光。在Stage 2中，将Type-0型PPLN波导置于一个萨格纳克（Sagnac）干涉仪配置中，通过自发参量下转换（SPDC）产生纠缠光子对，并转换为偏振纠缠自由度。对于PPLN来说，Type-0准相位匹配（QPM）可以利用铌酸锂晶体的Max非线性系数（d33），能够实现高效的波长转换。SPD ...
看激光指向稳定系统，是如何大幅提高龙门系统激光加工的精度！激光加工作为一种无接触式加工，以其可控性好、加工效率高、材料损耗低等特点，在与传统加工方式的比较中脱颖而出，成为很多人的选择，常见的有激光切割和激光焊接。目前振镜或焊接头与龙门系统架相结合是常见的激光加工组合方案。在加工过程中，焊接头随龙门架移动或振镜扫描，促使激光在靶面移动，进而实现高精度的激光切割或焊接操作。然而，随着机器规模增大，光束路径延长，在加工过程中会出现机械结构件的膨胀、龙门系统的振动以及导轨平行度以及空气扰动，这使得要实现微米甚至亚微米精度的控制愈发困难。在科学研究应用中，虽可采用封闭或抽真空束线管规避空气波动，但在龙门 ...
AI 智能重构测试测量平台，Moku:Delta集成业内首创“生成式仪器”Moku:Delta是Liquid Instruments新发布的智能测控硬件平台，具备2GHz 瞬时带宽、超低底噪和高分辨率的模拟前端设计，实现强大的混合信号分析能力，加速产品与设计与验证流程。基于“软件定义+硬件可重构”的平台架构，Liquid Instruments 新发布业内首创的“生成式仪器技术（Generative Instrumentation）”集成到Moku硬件测试平台，将人工智能（AI）引入测试测量领域，全面加速自动化测试流程。生成式仪器将彻底改变工程师与仪器之间的交互方式，在Moku平台工程师能够使 ...
Phasics大口径激光测试解决方案-KALAS系统一、大口径激光波前监测的核心技术瓶颈与行业痛点➢环境适应性缺陷·复杂现场（如大科学装置、空间通信）下，系统部署与维护成本高昂1.大科学装置（如guo家点火装置）中，空气湍流与机械振动导致传统干涉仪信噪比骤降50%以上，需额外隔振与温控投入。2.空间通信场景下，大气扰动与热漂移使传统传感器的波前重构误差增加。➢多参数异步的调试困局·多参数同步监测难：波前、强度、M²等关键数据无法一体化输出。1.波前畸变与强度分布的非同步测量，会导致激光远场焦斑能量集中度（环围能量比）计算偏差，影响“进洞能力”量化评估。➢闭环控制不足·动态闭环控制不足：调试效率 ...
原子磁力计的应用及进展引言人类对磁场的认识始于公元前6世纪，希腊哲学家泰勒斯发现摩擦后的琥珀可吸引轻小物体，及天然磁石可吸铁的现象，这一发现标志着人类对电的和磁的初步认识。随着人们对磁场的不断认识和学习，磁场测量设备也不断更新迭代，如从早期基于电磁感应原理的传统磁力计，到如今具有高精度的原子、量子磁力计。弱磁测量设备主要包括磁通门磁力计、超导量子干涉仪（superconducting quantum interference device，SQUID）和原子磁力计等。磁通门磁力计因其几何结构，分辨率一般只能达到纳特斯拉量级。SQUID具有高灵敏度的特点，但需要液氮杜瓦瓶来保持低温，体积较大且成 ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com
