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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
锁相放大相机在NV色心成像中的应用NV色心(氮-空位色心)是金刚石中由氮原子和邻近空位形成的缺陷,其基态能级在外磁场作用下产生劈裂,在此基础上通过光探测磁共振(ODMR)可检测磁场强度。本文提出一种基于锁相放大相机的NV色心磁成像方法。其通过锁相放大相机可以同步各个像素采集特定频率荧光信号。实验表明,该方法可实时解析NV色心荧光强度在一定磁场强度下的周期性响应,进而测量实验所施加的磁场强度。NV色心磁成像简介图1 NV色心金刚石晶格结构图NV色心(Nitrogen-Vacancy Center)是金刚石晶格中的一种原子级点缺陷,由邻近碳空位的一个氮原子替代碳原子构成。其独特的结构赋予其多维度物 ...
利用Moku时间间隔与频率分析仪测量囚禁离子的微运动如果你听说过“原子钟”,那很可能了解全qiu有超过80台高精度原子钟构成了协调shi界时(UTC)的基础。如今,“原子钟”已成为“精准”的代名词,顶ji光学原子钟的频率不确定度已可达到小数点后第19位。为了达到如此高的精度,研究人员必须对各种可能导致频率漂移的外部扰动因素进行表征和控制,包括电磁噪声、黑体辐射以及会导致“钟”原子获得额外动能的耦合效应。因此,预测并修正这些因素对于保证原子钟的长期稳定性至关重要。在科罗拉多州立大学,Christian Sanner 博士的研究团队正致力于离子囚禁型光学原子钟的研究[1] 。对基于离子阱的光学原子 ...
影响基于CCD相机激光光束宽度精确测量的因素(一)1.引言在激光器制造、激光微纳加工等领域,从业人员对于激光的空域参数非常关注,常见的参数有光束宽度、发散角、强度分布和光束质量等,光束宽度是其中重要的参量之一,也是计算发散角和光束质量的基础。基于CCD相机的激光光束宽度测量技术近年来也发展迅速,需求量也日益增加,该方法具有空间分辨率高,光谱覆盖范围广,算法灵活和适用于脉冲激光等优点。当然,CCD相机本身对光束的测量也存在一定的影响,比如CCD一般能够接收的光强大约在纳瓦量级,这导致芯片本身的噪声和环境光都会对测量造成干扰。因此,抑制或者减小噪声技术的发展将直接影响到测量的准确性,除此之外包括空 ...
影响基于CCD相机激光光束宽度精确测量的因素(二)4.实验及结果分析4.1无积分区域限制下小光斑光束宽度测量误差在实际的测量中,光斑尺寸经常远小于CCD的靶面尺寸,此时如果在不加积分区域限制的情况下采用4σ算法,光斑边缘位置的噪声会引入很大的误差。为此,在实验中我们分别考虑相机靶面和光斑尺寸比为3:1、12:1、20:1和30:1四种情况。在不考虑基底噪声且CCD的分辨率足够高的情况下,在高斯光强分布图上叠加高斯白噪声,光强峰值和白噪声的均方根值比为1400:1。实验结果如图1所示,当CCD尺寸时光束尺寸的三倍时,测量重复性为0.003%;当尺寸比例为12倍和20倍的时候,重复性变差,达到1. ...
亚纳秒激光器在 LCD 及 OLED 激光修复中的应用摘要亚纳秒激光器广泛的应用于 LCD 及 OLED 激光修复应用中。 LCD 和 OLED 在生产过程中经常产生各种缺陷,亚纳秒激光器可以针对不同缺陷的进行修复。亚纳秒激光器在激光修复方面具有独特的优势,凭借高精度、高效率等特性,有助于提高显示屏的良品率和性能,降低生产成本,在显示面板行业具有重要的应用价值与广阔的发展前景。正文一、LCD 和 OLED常见缺陷及修复介绍1.1 LCD 激光修复介绍在 LCD 制造过程中,经常会出现短路和开路等缺陷。对于短路缺陷,亚纳秒激光器通过发射高能量密度的激光脉冲,精准聚焦于短路部位。瞬间的高能量使短路 ...
光学频率梳:光学测量与通信的革命性工具光学频率梳(Optical Frequency Comb,OFC)是一种能够产生一系列等间隔光频的激光光源,类似于梳子的齿状结构,因此得名。图1 光学频率梳在时域与频域的示意图2005年,约翰·霍尔(John L. Hall)和西奥多·亨施(Theodor W. Hänsch)因在光学频率梳技术方面的突破性贡献而获得诺贝尔物理学奖。霍尔和亨施的工作主要集中在精确测量和控制光频率方面。他们通过开发稳定的飞秒激光技术和精密频率控制方法,使得光学频率梳成为可能,从而大幅度提高了频率测量的精度。这项技术极大地推动了精密光谱学、时间和频率标准、光通信等领域的发展。本 ...
拉曼光谱专题1|拉曼光谱揭秘:新手也能轻松迈入光谱学之门你是否想过,一束光照射物质后,能揭开其分子层面的秘密?今天,就让我们走进神奇的拉曼光谱shi界,哪怕是光谱学小白,也能轻松入门!光照射物质时,大部分光子如同调皮的孩子,以瑞利散射的形式 “原路返回”,波长不变;但有少数 “不安分” 的光子,会经历一场奇妙冒险 —— 非弹性散射,也就是拉曼散射,在这场冒险中,它们的波长因分子振动而改变。这一伟大发现由 C.V. Raman 在 1930 年完成,从此为化学分析打开了全新的大门。拉曼效应就像光与物质的一场 “暗号交流”,光子与物质相互作用后,部分光子改变波长,而这背后与分子振动紧密相连。科学家 ...
拉曼光谱专题2|拉曼光谱中的共聚焦方式,您选对了吗?—— 共聚焦技术与 AUT-XperRam 共聚焦显微拉曼光谱仪系统什么是共聚焦技术:共聚焦技术的核心就像给相机和探测器配备了一对 “精准定位的眼睛”。通过独特的共聚焦设计,它能精准锁定特定焦平面,只接收来自那里的光信号,真正实现 “所见即所得”。想象一下,在科学探测的战场上,非焦平面的信息就像捣乱的 “小怪兽”,会干扰目标信号,让成像变得模糊不清。而共聚焦技术凭借精确控制焦平面的超能力,将这些 “小怪兽” 统统过滤掉,保证成像的纯净度和准确性,为我们呈现高质量的图像。这项技术广泛应用于生物学、材料科学和医学等多个领域。在生物学中,它帮助科学 ...
拉曼光谱专题3|揭秘拉曼光谱仪光栅选择密码,解锁微观shi界的神奇利器在微观shi界的探索之旅中,拉曼光谱仪无疑是科研人员和工程师们的得力助手。而在拉曼光谱仪中,衍射光栅扮演着至关重要的角色,它能将多色光分离成其组成的波长,助力我们看清物质的特性。今天,昊量讲堂就来带大家深入了解,如何为拉曼光谱仪挑选合适的衍射光栅!衍射光栅在拉曼光谱仪中的工作原理堪称精妙。它能把收集到的拉曼散射的组成波长,巧妙地分离到 CCD 相机的不同像素上进行检测。毫不夸张地说,每一台拉曼光谱仪都至少需要一个衍射光栅,而很多时候,为了让仪器能更好地适配不同样品和激发波长,还会配置多个光栅。那么,在为拉曼光谱仪选择衍射光栅 ...
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