激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
解析PPLN晶体在量子技术快速商业化的关键作用（一）：应用技术量子技术，曾经似乎是仅存在于科幻小说中的天方夜谭，但如今逐渐深入到我们的日常中改善我们的生活。而在前端的科研领域，如量子通信和量子计算机，量子技术同样令人兴奋，影响也将越来越显著，而非线性光学晶体（NLO）将在该技术的商业化过程中发挥关键作用。*本文来源于英国Covesion公司的白皮书《Non-linear Optical Crystals Used for Quantum Technology》。https://covesion.com/knowledge-hub/white-paper-non-linear-optical-c ...
高光束质量光纤合束器技术研究（二）首先，建立基本的仿真模型。在光纤功率合束器输入光纤束拉锥过程中光纤会发生延展和塌缩。延展指的是光纤长度伸长而横截面积缩小的过程；塌缩指的是光纤熔融粘连的过程。在仿真过程中为了简化模型，我们假定光纤先延展后塌缩。在塌缩过程中，输入光纤束的横截面会变成排布紧密的花瓣形，使得光纤芯径缩小。如下图1所示。图中浅灰色部分是拉锥输入光纤束外层低折射率玻璃套管，深灰色部分是输入光纤之间的空气间隙，白色部分则是输入光纤图1 输入光纤束横截面示意图 （a）塌缩前 （b）塌缩后在仿真过程中我们设置输入光纤芯径和包层直径分别为30μm和250μm，输出光纤芯径为50um，包层无限大 ...
玻璃激光加工技术应用简介摘要：玻璃材料具有良好的化学稳定性、热力学特性、透光性、耐腐蚀性、隔热性、绝缘性、生物相容性且表面光滑，因而被广泛应用。在日常生活中，玻璃是很受欢迎的一种建筑材料和装饰材料，高楼大厦以及交通工具都常用到。在工业生产中，接触酸、碱的容器和元件一般也是基于玻璃材料制作。在科技领域中，太阳能光伏发电系统的组件光伏玻璃、晶体硅电池的玻璃盖板等也是采用玻璃材料。一、玻璃加工技术玻璃是脆性材料，采用传统加工技术往往会出现破裂、切口有碎屑、切缝不平直、表面有压溃层等现象。即使采用激光加工技术，也会因为激光照射部位与非照射部位之间存在较大温差而产生热应力，导致玻璃材料出现裂纹或者断裂等 ...
用二次谐波色散扫描表征超短激光脉冲（本文译自Characterizing ultrashort laser pulses with second harmonic dispersion scans，Ivan Sytcevich, Chen Guo, Sara Mikaelsson, Jan Vogelsang, Anne-Lise Viotti, Benjamín Alonso, Rosa Romero, Paulo T. Guerreiro, Anne L’Huillier, Helder Crespo, Miguel Miranda, and Cord L. Arnold）1.介绍超短激光 ...
水凝胶薄膜厚度测量MProbe VisHC系统提供强大且易于使用的解决方案，允许直接在产品上测量层。手动探头MP-FLVis通过柔性光纤电缆连接到系统。探头符合样品的曲率，可以方便地进行精确测量。它用于测量大于1英寸(25mm)的零件。较小的测点(<200µm)减小了后反射率的影响。MProbe VisHC软件对HC膜采用厚膜算法，对防雾涂层采用曲线拟合算法。算法可以很容易地调整/训练，以测量甚至具挑战性的样本。测量过程是容易的，没有经验的操作员使用和理解。水凝胶薄膜有许多应用。它是一种有趣的应用是生物传感器，其中水凝胶膜厚度的控制很重要，例如基于荧光的水凝胶传感器。在其他传感器中，例如 ...
医疗支架图层测量有几种类型的支架用于不同的医疗条件。一类血管支架是药物洗脱支架(DES)，其设计目的是非常大限度地减少支架内再狭窄，这是裸金属支架的主要缺点。DES由标准金属支架、聚合物涂层和嵌入聚合物并随时间释放的抗增殖药物组成。涂层不均匀会导致药物分布和释放不可预测。涂层厚度和均匀性的质量控制是DES制造过程中的关键任务之一。另一类是用于血栓提取的支架，在动脉瘤或癌症的情况下限制血液流动。支架封装也用于血管应用，以部署支架。支架的覆盖物由聚氨酯、聚四氟乙烯或类似的高分子材料制成。对支架支板之间和支板上覆盖膜的厚度进行测试是非常重要的。在这两种情况下，MProbe VisHR-MSP系统为质 ...
高功率螺旋腔量子级联超发光发射器量子级联(QC)器件在中红外中表现出潜在的超发光光源。然而，由于子带间跃迁的非辐射载流子寿命短，导致自发辐射较低，因此在QC器件中实现毫瓦的超发光(SL)功率是具有挑战性的。在2 mm长的法布里-珀罗腔中用湿蚀刻面代替一个镜面，在10 K下的峰值光功率为25 μW。光功率不足阻碍了这种光源的实际应用。虽然存在强大的宽带QC激光器，但激光引起的长相干长度会降低OCT系统中的图像分辨率。zui近，通过采用带有Si3N4抗反射涂层的圆形湿接后面和17°倾斜劈裂前面，在250 K下实现了~10 mW的峰值SL功率。然而，这些发射器的长度为8毫米，这限制了这些设备的紧凑性 ...
100GHz等离子体电光调制器在低温领域的应用（本文译自Plasmonic 100-GHz Electro-Optic Modulators for Cryogenic Applications（Patrick Habegger, Yannik Horst））1.介绍在低温环境下运行的高速调制器对于运行下一代超导量子电路至关重要。为避免散热过多，只能使用符合严格的z低功耗要求的设备。低温电路的复杂性在稳步增加，因此，各自的通信接口的规模相当。此时，相较于电子设备，光学解决方案可以提供更低的热负荷和更高的带宽。越来越多的在4K以下低温下工作的电光接口被引入到这个领域。通过使用商用5GHz的铌酸锂 ...
光纤色散原理简介摘要：光信号通过光纤传输引起光信号畸变、脉冲展宽。由于光信号能量是由不同频率和模式成分共同承载的，因而引起色散的原因与机理也是多方面的。色散的主要机理与类型包括：多模光纤的模式色散（或称模间色散）；由于光纤材料固有的折射率对波长依赖性而产生的波导色散；以及单模光纤中两种不同偏振模式传输速度不同而引起的偏振色散。一、模间色散多模光纤中，即使对同一波长，不同传输模式仍具有不同的群速度，即传播速度不同，由此引起的脉冲展宽，称为“模间色散”。模间色散引起的脉冲展宽是各种色散因素中影响严重的一种。并且，传输的模式越多，脉冲展宽越严重。模间色散是发生在多模光纤和其他波导中的一种信号畸变机制 ...
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