中文:膜厚均匀性;英文:thickness uniformity

解释
中文:膜厚均匀性;英文:thickness uniformity的原理;中文:膜厚均匀性;英文:thickness uniformity的定义;中文:膜厚均匀性;英文:thickness uniformity是什么。
膜厚随着基板表面位置变化而变化的情况。由于制备工艺的影响,膜层厚度在一定区域内会出现差异,膜厚均匀性不好,膜系特性会遭到严重的破坏,膜厚均匀性也是衡量薄膜性能的很重要的参数。