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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
量子金刚石显微镜在半导体失效分析中的应用1.介绍随着异构集成（HI）和封装技术日益普及，以实现性能提升的新一代目标，传统的电气故障分析（EFA）技术在应对行业新兴趋势（如晶圆间、芯片间键合、硅通孔以及背面电源供应的复杂性）时面临日益严峻的挑战。由于互连对器件的性能提升至关重要，确保其电气完整性对于提升产量和保持高良率至关重要。然而，许多传统EFA技术难以应对弱信号、多金属化层和堆叠芯片等问题。此外，氮化镓和碳化硅等宽带隙材料的广泛应用导致当前EFA面临更多复杂性。迫切需要开发新方法，能够定位深埋于表面之下且被复杂金属化层包围的故障，同时具备三维信息、高分辨率和短测量时间。解决这些问题的新兴EF ...
科研效率大提升！AutoRAM-C 全自动高精度共焦拉曼系统来啦做材料科学、半导体或能源研究的科研人们，是不是还在为拉曼测试效率低、数据重复性差、操作复杂而头疼？别担心，一款能解决这些难题的 “科研利器”——昊量AutoRAM-C 系列全自动高精度共焦拉曼系统，重磅登场！振镜技术：微秒级响应，刷新扫描速度天花板传统拉曼扫描依赖机械载物台移动样本，不仅速度慢，还容易因振动影响数据精度。而 昊量AutoRAM-C 系列搭载的振镜技术，彻底改变了这一局面！它采用响应速度极快的电流计式反射镜，能在微秒级时间内改变激光束方向，实现无接触、无振动扫描，精度更是达到亚微米级别。更重要的是，振镜扫描是昊量SM ...
拉曼光谱专题6 | 拉曼光谱与荧光效应当激光照射到样品上，你期待的是能揭示分子结构的拉曼光谱，得到的却是一片模糊的荧光背景 —— 这大概是每一位从事拉曼分析的科研人头疼的时刻。拉曼光谱作为物质的 “分子身份证”，能精准呈现分子振动的独特信号，但荧光效应这个 “捣蛋鬼” 常常让这张 “身份证” 变得模糊不清。今天我们就来彻底搞懂荧光效应，以及如何让你的拉曼分析告别干扰，精准高效！一、荧光效应：拉曼光谱的 “隐形干扰者”想象一下，当你用激光照射样品时，就像在黑夜里打开手电筒寻找指纹，而荧光效应却像突然亮起的霓虹灯，让真正的指纹变得难以辨认。在拉曼光谱分析中，激光与分子碰撞产生的拉曼散射信号本应是主 ...
案例分享|"鬼光谱"突破高光谱取舍：PPKTP量子成像方案高光谱成像一直有个让人头疼的矛盾：想要光谱分辨率，就得牺牲空间分辨率，或者反之。而在量子成像领域，基于纠缠光子对“鬼成像”已展现出突破传统光学探测边界的潜力。而当量子关联从空间维度延伸至光谱 — 时间维度，高光谱成像也迎来了新的技术路线。近期，来自加拿大guo家研究委员会的研究团队提出一种量子关联高光谱成像技术（QCHSI）。该方案利用PPKTP晶体通过自发参量下转换（SPDC）产生高质量纠缠光子对，将量子鬼成像的关联测量思想与快照式高光谱成像结合，在不显著牺牲空间分辨率的前提下，实现了单光子级、高效率的快照高光谱成 ...
Moku:Delta开放样机试用！助力加速半导体器件测试验证流程半导体技术飞速发展，IC测试与验证的复杂性不断增加。如今被测设备（DUT）涉及模拟、数字和混合信号领域，高度集成 ADC/DAC、运放、控制环路和 DSP 等，使测试任务在精度、时序控制和功能覆盖上变得更加复杂且要求更高。因此，传统测试系统的配置不断扩大，包含示波器、波形发生器、频谱分析仪、频率响应分析仪、逻辑分析仪等多个仪器，这些设备通常来自不同供应商，自动化程度和配置要求差异较大，工程师需要额外编写程序并通过电缆连接它们。虽然这种传统的分立式测试方案能够满足当前的测试需求，但也意味着需要投入大量配置时间、维护校准精力和经济成本 ...
基于空间ALD和激光加工的颜色生成新方法摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。空间ALD（原子层沉积）是一种薄膜沉积技术，可以在原子水平上精确控制材料沉积。与传统ALD在整个衬底上沉积均匀薄膜不同，空间ALD允许在特定的空间模式下选择性沉积。这种前所未有的控制水平为创造复杂的颜色图案和结构开辟了新的可能性。激光加工技术可以在微纳米尺度上精确控制材料的改性。通过将空间ALD与激光加工相结合，研究人员可以更好地控制制造材料的光学特性和结构特性。ALD和激光加工之间的这种协同作用使创建高度定制的着色效果成为可能。关于 ...
时间门控单光子SPAD阵列与非视域成像中的关键散射特性研究非视域成像，旨在实现对视线之外隐藏物体的探测与重构，是近年来光电探测领域的前沿焦点。这项技术借助于一个中介面（如墙壁、地面），通过捕获从隐藏目标反射并再次经由中介面散射回来的微弱光信号，来“绕弯”看清拐角后的景物。在众多技术路径中，基于时间门控单光子SPAD（单光子雪崩二极管）阵列的成像方法，因其具有凝视成像、高时间分辨率、设备集成度高等优势，被视为走向实用化的关键技术之一。图1：基于 TG-SPAD 阵列的非视域成像原理示意图一、 技术核心：为何要研究中介面的散射特性？在非视域成像系统中，中介面并非理想的镜子。当光子携带隐藏目标的信息 ...
预认证，即速度：选Lumencor合规光引擎，为您的医疗设备上市按下快进键美国Lumencor 是首家将 300 和 400W 氙灯替换为用于微创机器人手术的固态光源的供应商。如今，他们为包括神经外科、胃肠外科和内窥镜检查等应用提供定制工程化的白光和多通道的光（Lumencor 的 AURA 和 SPECTRA 光引擎）。特点：提供的固态光源，包括发光二极管、激光器和专有的光导管提供所需显色指数（CRI）、色温（CT）的白光光源紫外光、可见光和/或近红外光约 20W近红外激发用于增强血管可视化和经 FDA 批准的荧光物质定制控制光的角分布Lumencor 光引擎经过优化，可实现可视化、精确测量 ...
方阻（电涡流检测）在半导体行业中的应用1. 原理介绍1.1 电磁感应定律的工程应用涡流测试基于法拉第电磁感应定律的精确数学表达：在导体内部，电场强度与电流密度关系为：该方程的解给出趋肤深度公式：薄层近似理论当满足条件（t为膜厚）时，可建立方阻与阻抗的直接关联：其中：：空载线圈阻抗( K(k) )：第1类完全椭圆积分( k )：线圈几何参数比1.2 使用涡流测试进行质量保证涡流测试方法利用局部电导率变化来表征质量特性，例如厚度、片材电阻、材料均匀性或研究样品中的其他物理变化。复杂的涡流信号包含有关测试材料的各种信息，在许多情况下可以用简单或复杂的算法进行分离。应用的强大涡流电子设备提供从 10 ...
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