面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
一张照片,全幅清晰!看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来,超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛,下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜?普通光学显微镜景深小,适合观察“薄而平”的样本,而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”,需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是:通过成像系统在z轴扫描、CCD成像,捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像,再利用3D合成重建算法,获得高分辨率,大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品,可进行图像2D拼接和3D拼接,这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
TiePie 示波器多应用介绍——电、热、力、通讯信号探测一、电阻与接触测量使用万用表测电阻,只能测出某一瞬间值,有很多场景下静态的测量很难得到正确的数据,需要进行连续测量,例如:电位器在某个位置突然断路,插头在振动下间歇性断路,线束在弯折过程中接触时断时续,热敏电阻在温度变化过程中的阻值跳变。TiePie无线示波器可以持续的测量电阻,并绘制时间-阻值曲线。操作也非常简单,只需用测量线先短接做一次基准测量,在 Gain / Offset 模块里用 Neutralize 把线阻抵消掉,然后就可以开始测量,实现边操作被测件、边观察电阻波形。对连接器做振动或温度循环试验时,接触电阻是否在某个工况下突 ...
提高腔增强吸收光谱(CEAS)的灵敏度摘要:在本文中,我们介绍了腔增强吸收光谱(CEAS)技术,并重点介绍了一种典型的CEAS设置的实验搭建和测试方法。腔增强吸收光谱(CEAS)是一种专门的吸收光谱技术,它已经彻底改变了各个科学领域的材料分析。该方法具有灵敏度高、准确度高的特点,是各种应用的宝贵工具。CEAS在环境监测中有突出的应用,可以检测极低水平的微量气体。它能够探测微小的气体浓度,甚至是十亿分之一(ppb)范围内的气体浓度,这对于监测和了解气候变化以及识别空气污染物至关重要。此外,CEAS已成功地应用于化学和生物化学过程的研究,为化学反应动力学和工业过程的优化提供了有价值的信息。它也被证 ...
空间光调制器(SLM)在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性,在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等,其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干(秒级)、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列,完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1: 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87(⁸⁷Rb,zui主流)能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级,适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
突破传统:基于高速高压固态开关的亚10ns高压脉冲前沿解决方案上升时间<10ns!高速固态开关高压脉冲解决方案取得关键突破在生物医疗、质谱分析、材料测试以及宽带隙半导体表征等精密应用中,高压脉冲的上升沿速度直接决定了系统的分辨率和性能极限。传统的火花隙或闸流管由于物理原理限制,虽然能起到高压开关的作用,但它们抖动大、寿命短以及高压波形不可控的缺点也无法令人忽视。昊量光电全新推出基于模块化高速固体开关及高压电源的高压脉冲前沿解决方案,在实际电路中可以稳定获得低于10ns的上升沿高压输出,为科研与工业用户提供全固态、长寿命、高重频的定制化方案。一. 为什么上升沿的陡峭度至关重要?在高压脉冲应 ...
量子计算610μm长程传输:解析6,100个原子阵列背后的G&H AOD随着2025年“国际量子科学与技术年”正式落入时间长河,量子力学的百年辉煌完成了历史性的接力。步入2026年,量子科学的热度有增无减,随着全qiu投资激增和关键技术突破的双重驱动下持续升温。而量子计算机更是其中创新zui为活跃的前沿阵地,并且多个技术路线并行发展,离子阱、中性原子、光量子、超导、硅基半导体各显神通,在不同应用场景下形成互补格局,推动从实验室验证迈向产业化的关键跃迁。但是随着量子比特数量的不断扩展,如何实现对每个独立量子比特的高保真度和高速度的光学操作正成为一个问题。在2025年秋季Optics.or ...
MokuOS 4.1新增仪器功能:高速信号采集记录回放仪全新仪器功能:高速信号采集记录回放仪MokuOS 4.1发布,新增仪器功能高速信号采集记录回放仪(Gigabit Streamer),支持使用Moku:Delta的SFP端口,实现信号实时高速捕获与回放、高达5 Gbps双向数据流传输,带来更高数据处理通量。这为 AI/ML 训练、GNSS 的 L 波段直接注入测试以及射频频谱实时监测等应用带来更灵活高效的解决方案。高速信号采集记录回放仪的主要功能有:双通道连续流式传输支持 2 通道并行流式传输数据流速率:每个方向zui高 5 Gbit/s,适合高速连续采集和回放*全速率数据采集记录回放支 ...
案例分享|Covesion锁频激光器入海行:从冷原子到寒海境当我们谈到量子的时候,我们往往想象到一幅充满真空腔,隔振平台、手捧热茶科学家们的实验室场景,而现在英国Covesion公司的双波长锁频激光器作为CPI TMD Technologies公司近期研发的HARLEQUIN量子混合惯性导航系统的核心,首次在海上支持冷原子技术的实际部署。这标志着量子传感器不仅能在光学平台上工作,并且能在狂野颠簸、变幻莫测的海上环境中工作的重要一步。Covesion的锁频激光系统正位于Trinity House vessel的THV Galatea号前性能抢先看Covesion的锁频激光系统是基于核心光纤耦合P ...
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