面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
一张照片,全幅清晰!看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来,超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛,下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜?普通光学显微镜景深小,适合观察“薄而平”的样本,而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”,需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是:通过成像系统在z轴扫描、CCD成像,捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像,再利用3D合成重建算法,获得高分辨率,大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品,可进行图像2D拼接和3D拼接,这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
基于Moku的功率器件动态参数测试系统:精准、高效、经济的一体化测试方案摘要随着 SiC、GaN 等新型功率器件的广泛应用,功率器件动态参数测试对系统响应速度、同步精度和灵活性提出了更高要求。本文基于 Liquid Instruments 的 Moku 平台,提出一种可重构、高集成度的功率器件动态特性测试系统设计方案。通过集成示波器、信号源、PID 控制器及数据记录仪等多种功能,Moku 平台可实现测试系统一体化构建与自动化控制,显著降低开发成本与复杂度,同时保证测量精度和可扩展性,为功率电子测试提供了灵活、高效的解决方案。1. 行业背景与测试挑战在功率半导体快速发展的背景下,基于新型材料的 ...
高精度实验室气相色谱仪(GC)——高精度、高通量、强拓展性、AI智能易用昊量光电推出新一代中/高端台式气相色谱仪(GC)。具有超高灵敏度(自有技术设计火焰离子化检测器实现更高分辨率;基于自适应降噪算法,有效降低噪音和基线漂移)、超高稳定性(超高的保留时间精密度,实现可靠的色谱峰鉴定;极低的交叉污染,确保获得超高的数据质量)、超高分析效率(ji致的温度控制系统;“高通量”样本分析模式;支持单/双塔配置)。痕量分析全自研火焰离子化检测器(FID)的精密硬件结构及算法控制,实现基线噪音与漂移远小于国标规定值。FIDzui低检出限小于1.1 pg C/s(正十三烷),不惧低浓度成分检测。精确的压力/流 ...
【硬核技术突破】芬兰 Timegate 时间门控拉曼探测器:攻克荧光干扰 + 深度探测难题,重塑 3D 化学成像新标杆拉曼光谱作为分子级 “化学指纹” 核心识别技术,凭借无损、快速、精准的成分分析能力,已成为材料科学、生物医疗、先jin制造、储能研发、安全检测等领域不可或缺的表征工具。但在实际应用中,传统拉曼探测器始终存在两大难以突破的行业瓶颈:强荧光背景干扰导致信号失真、仅能实现表面微米级浅层分析,无法完成多层介质、深层样品的三维化学成像。这一技术短板,长期制约着高端科研与工业检测的发展。如今,源自芬兰奥卢大学 Circuits and Systems 研究团队、获芬兰科学院重点资助、经IE ...
AdvR (Covesion) 相位调制器应用综合案例分享:从量子精密测量到原子干涉仪的工程实践在现代精密光学与量子工程领域,高性能电光调制器(EOM)不仅是信号加载的工具,更是连接微波域与光子域的“量子桥梁”。AdvR, Inc. 凭借其在周期极化铌酸锂(PPLN)和晶体波导技术上的深厚积累,曾长期占据可见光波段高性能调制器的制高点。随着AdvR被 Hawthorn Photonics 集团收购,其品牌现已整合并以 Covesion 的名义继续运营,致力于将这一顶尖技术应用于更广泛的量子传感与光子集成领域。本文将结合四篇发表于Review of Scientific Instruments、 ...
锁相相机在单粒子超快光谱上的应用前言锁相相机在单粒子超快光谱研究中展现出显著优势,主要包括以下方面:1.光谱检测的多路复用能力:锁相相机的像素阵列设计使其能够在单次测量中同步采集多个波长的瞬态信号,无需像单元件光电二极管那样逐波长进行连续测量。2.同步捕捉多动态过程:凭借其光谱检测的多路复用能力,锁相相机能够同步捕捉单个纳米颗粒在超快激光激发后的多种动态过程。3.高灵敏度检测:虽然锁相相机的灵敏度略低于单元件光电二极管,但已足够记录高质量的光谱分辨泵浦-探测测量数据。4.实现时间分辨瞬态光谱的单次测量:将锁相相机集成到时间分辨瞬态透射显微镜中,实现了对单个金纳米盘瞬态透射光谱的单次测量。这种单 ...
AMD利用可重构FPGA设备Moku实现自定义激光探测解决方案摘要本文介绍了Advanced Micro Devices, AMD公司如何基于可重构FPGA设备自定义激光探测解决方案,替代传统的仪器配置,通过灵活且可定制的FPGA设备Moku提供更高效和灵活的激光探测技术。文中结合多个案例研究探讨了使用Moku平台简化实验设置、部署锁相放大器和双boxcar平均器提升信号质量、并通过Moku的神经网络及云编译功能优化实时信号处理。Moku将信号生成、测试分析、控制调节等多种功能集成于一台设备,支持用户快速部署自定义HDL代码,该方案集成度高、硬件投资成本低、配置简洁,且支持高度自定义和信号处理 ...
应用探究|不再高价低效!Covesion PPLN开启SWIR甲烷单光子检测新时代可部署的温室气体检测解决方案对于工业场所中的环境监测至关重要。美国2024的一项研究表明,工业甲烷排放量是政府估计值的三倍,这对于环境和经济都有重大影响。单光子激光雷达技术为高灵敏度直接探测提供了一种途径。许多温室气体分子,如甲烷,在中红外(MIR)光谱区域具有基频吸收带,在短波红外(SWIR)区域则具有倍频吸收带。然而,在这些波长范围内,高效的单光子探测器选择受限,超导纳米线探测器(SNSPDs)需要大型低温冷却系统,不适用于许多现场的应用。铟镓砷单光子雪崩二极管(InGaAs SPAD)探测器广泛用于短波红外 ...
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