六轴位移台参数解读六足运动平台在运动控制领域有着悠久的应用历史，但近年来，传统的6自由度(6-DOF)定位设备在面对行业对更高精度、更高可重复性和更好的几何性能的需求时显得有些不足。现对一些ALIO位移台参数细节做一些解读，以便您理解ALIO六自由度位移台对于传统六足位移台的提升。准确度（accuracy）准确度是指在特定三维空间中，实际位置与通过测量设备测量的位置之间的差异。对于测量设备而言，准确度受到反馈机制（如ALIO六轴位移台的光栅尺增量编码器）、驱动机构（如滚珠螺杆、导杆、线性电机）以及轴承路径的准确性的影响。重复度（Repeatability）可重复性被定义为在相同条件下，系统重复 ...
搭建简易1GHz低噪声光频梳系统光学频率梳因其具有高精度、高灵敏度、高分辨率的特性，为光学原子钟、精密光谱测量、阿秒科学等领域提供了一种可靠的光波-微波转换工具。飞秒光梳本质上是一组特殊的飞秒脉冲光，它在时域上是一系列时间宽度在飞秒级别的超短脉冲，在频域上是一系列间隔相等、位置固定、具有极宽光谱范围的单色谱线。飞秒光梳实现了其频率覆盖范围内所有波长的直接锁定并溯源至微波频率基准，建立起了光波频率和微波频率的直接联系。基于飞秒锁模激光器，目前一般可以通过锁定其重复频率(frep)和载波包络偏移频率(fceo)来使得光梳梳齿稳定。虽然工作频率接近100MHz重复频率的光频梳正在成为一种成熟的技术， ...
干涉测量技术1.引言干涉仪是基于两束相干光的干涉所制成的测量仪器。该技术可用于精密检测中，采用该方法可以从一 束光波中准确地获取另一束光波的特征。干涉法的用途很广，从纳米量级的数控机床，到宇宙 学规模中采用引力透镜寻找暗物质，在这两种ji端情况中间，则是光学车间中采用干涉法的透镜生产和系统调试。干涉仪的性能取决于系统所用元件的质量，如投影光学元件或收集光学元件的质量，或者所使用辐射光 源的质量，而辐射光源的相干特性则是干涉仪精度和使用灵活性的决定因素。2.干涉波干涉仪可直接测量由于光学系统畸变、光学元件制造产生的缺陷，以及材料的非均匀性等所产生的波前变形，通过测量电磁波的复振幅分布来实现，而复 ...
原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程在半导体工艺中，薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于其厚度非常薄，在晶圆上形成均匀地薄膜具有很高的难度。所以在化学沉积过程中，确认薄膜材料是否正常生长，以及能否产生所需的特定物性，就非常重要。为了确保薄膜沉积按照预期进行，通常将已长成的薄膜从真空化学气相沉积（CVD）腔室中取出，然后用分析仪器进行检查。它被称为“Ex-Situ”方法，是从外部而不是在腔室内部进行分析。但是，从真空室中取出的薄膜可能会与大气中的氧气或水分接触，从而改变物性，很难进行准确的分析。即使通过分析发现问题，也 ...
用微型光谱仪验证“透明镜片”对眼部紫外线防护效果背景众所周知，长时间的眼部紫外线照射会影响长期的眼部健康。虽然通常可以通过纺织品或涂抹防晒霜来有效保护皮肤，但对眼睛敏感组织和周围皮肤进行有效的日常紫外线防护是一项技术挑战。太阳镜构成了当前眼睛抵御紫外线的标准保护。 澳大利亚太阳镜标准是常见的紫外线防护基准，这些标准将 315 至 400 nm 范围内的光定义为有害 UVA。 尽管在阳光明媚的天气下在户外佩戴太阳镜是社会可接受的，但在所有潜在的紫外线暴露条件下（例如阴天条件下以及室内），其使用并不普遍被接受。 此外，实际原因限制了（矫正）太阳镜在相当长期的紫外线暴露情况下的使用，因为频繁更换矫正 ...
椭偏仪与偏振相位（一）-几种波片相位延迟测量的实验搭建波片是偏振光学技术中的重要元件，被广泛应用于光弹力学、现代光通讯技术、医疗诊断和物理学研究等诸多领域。在太阳物理研究领域，通过观测和分析太阳光的偏振状态可以得到太阳大气中磁场分布和演化等信息，以此可研究黑子、耀斑及日冕物质抛射(CME)等与磁场有关的太阳活动现象。现代太阳物理对磁场偏振测量精度要求甚高(10-3以上)，而由于在太阳磁场测量设备的偏振分析器和滤光器中使用了大量波片，因而波片位相延迟精度将直接影响太阳磁场望远镜偏光系统的测量精度。随着研究的日益深入，人们对偏振测量精度提出了更高的要求，有些仪器，例如我国研制的大型空间太阳观测设备 ...
椭偏仪与偏振相位（二）-光谱扫描法的原理及误差分析光谱扫描法1.测量原理光谱扫描法是利用波片延迟与入射波长的函数关系，通过改变系统入射光波长，记录不同波长系统透过光强从而测得位相延迟的方法。测试系统由起偏器和检偏器及置于其间的待测元件等构成。若以起偏器透振方向沿x轴，双折射器光轴方位角为Ω，延迟为φ，检偏器透振方向为θ方向，则系统Jones矩阵可表示为：若以强度为的自然光入射，则系统出射光强可表示为：因此，测得Ω、θ、I(λ)及值即可计算出该波长所对应的延迟值。这种方法便于测量不同波长对应的位相延迟，若辅以精密的单色仪便可以方便快捷地获得大量数据。但考虑到系统表面反射及吸收损失，不易准确测得， ...
椭偏仪与偏振相位（四）-光强测量法的原理及误差分析光强测量法1.测量原理所谓光强测量法是通过测量测试系统透过的光强值，利用透过光强与待测元件位相延迟关系计算出待测元件延迟值。测试系统构成与光谱扫描法相同，系统出射光强表达式也相同。式中Ω和θ是两个zui活跃的量，容易改变并准确测量。因此理论上讲，为避开对的测量，可任意测定两组不同的Ω和θ的光强值及，即可求出待测元件的延迟，其结果可以表示为：式(1)是光强法的通解。当保持θ不变，改变波片方位角Ω进行测量的方法为旋转待测波片法；而当保持Ω不变，改变θ的测量方法为旋转检偏器法。下面简述这两种常用方法的原理。(1)旋转待测波片法：旋转波片法通常采用读取 ...
非偏振分光镜对椭偏仪的影响（二）-NPBS引入的椭偏参数误差NPBS引入的椭偏参数误差式(6)是假设所有器件均为理想状态下得到的结果。如果考虑到多层介质膜的退偏效应，NPBS的琼斯矩阵可以表示为：其中：和分别代表NPBS的透射率和反射率，下标p，s表示平行分量和垂直分量。式(8)可以归一化为：其中：K分别是p，s分量的透射比和反射比；分别是NPBS的反射相移和透射相移，如式(10)所示。如果NPBS的p，s轴方向与图1中的Y，X轴不完全重合，而是存在一个方位角误差θ，则NPBS的琼斯矩阵转换为：为简化分析过程，首先假设NPBS2为理想状态，只将NPBS1的琼斯矩阵用式(11)表示。根据上述分析 ...
椭偏仪与偏振相位（五）-相位延迟量测量的实验数据实验中，在前述测试系统上用上述几种方法测量了两片样品的位相延迟。两测试样品标称值分别为：630.2nm附近的λ／2波片和532.4nm附近的λ／4波片。光谱扫描曲线见图1，测量数据见表1、2。图1 光谱法测630.2nm附近λ／2波片的扫描曲线前面误差分析表明，光谱法测量λ／2波片的误差zui小，因而可以作为参考标准，其它方法测量结果可以与之相比较。由测量结果可见，光谱法与Soleil补偿器法测得结果的偏差约为0.19%，两种方法在误差范围内符合很好，得到了相互印证。而两种光强法的测量结果比照光谱法及Soleil补偿器法测量结果差异较大。而且按照 ...
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