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SmartPrint UV无掩模光刻机-科研半导体光刻应用中的研发“加速器”和工艺“探索器”!一.当光刻不再需要掩模版科研及半导体实验室里有一个常见说法:成本压力不仅来自光刻胶和硬盘,也来自每改一次设计就得重新制作的掩模版。一张标准掩模版动辄千元,周期两三周,当研发节奏越来越快,这种“每改一笔就得等半个月”的模式已经成为创新的主要限制因素。Smart Print UV 是昊量光电推出的一款基于 DMD(Digital Micro-mirror Device,数字微镜器件)投影技术的无掩模光刻系统。它用一块 DMD 芯片替代传统硬掩模,直接把 CAD 设计投影到光刻胶上——想写什么就写什么,从设 ...
反射式-超窄带宽滤光片(FWHM可低至20pm)--超窄带宽、空间光目前市场上的窄带滤光片一般都是10nm,比较窄的也仅能做到0.5-1nm左右。反射式-超窄带宽滤光片是上海昊量光电可提供的一款超窄带宽滤光片产品(FWHM可低至20pm)。它是基于体布拉格光栅(VBG)原理制作的滤光片产品,不仅可以提供超窄的带宽,还可以实现较高的衍射效率(upto 95%)且偏振不相关,物理性能稳定,是实现空间光窄带宽滤波应用的理想选择,且已应用在量子光学、太赫兹光谱、超快光谱、窄线宽激光器等领域。体布拉格光栅(VBG)技术开发于佛罗里达大学-光学与激光研究教育中心(CREOL)。该技术通过运用紫外线进行辐射 ...
用于薄膜的远场和近场磁光学显微镜的多功能特高压系统基于电子显微镜的高分辨率成像技术,如带偏振分析的二次电子显微镜(SEMPA),或光子发射电子显微镜(PEEM)或使用磁探针的技术(磁力显微镜(MFM)或自旋极化扫描隧道显微镜(STM),通常局限于小的外部磁场。磁光显微镜没有这样的限制。然而,由于传统(远场)光学显微镜的横向分辨率受到衍射的限制,大约只能达到光波长的一半,因此纳米结构只能通过x射线显微镜或扫描近场光学显微镜(SNOM)在可见光范围内成像。用于磁光研究的相当紧凑和振动隔离的特高压室连接到配备薄膜制备设施的特高压系统,以及用于表征薄膜结构和形态的STM和低能电子衍射(LEED)。结合 ...
金纳米颗粒的高光谱暗场特性研究:鉴别与定位将暗场显微镜与高光谱成像相结合,提供了一种高效的方式来研究组织、活细胞或溶液中的纳米材料。从等离子体和其他纳米结构的散射光中获得的信息,有助于我们了解它们的成分、尺寸和分布情况。Photon etc.公司提供两种不同的高光谱暗场成像平台:可调谐激光源(TLS)和IMA,前者允许在激发下进行滤波,后者提供发射滤波TLS由两个模块组成:超连续谱源(宽带源)和基于Photon等的体积布拉格光栅(VBG)技术的激光线可调谐滤波器(LLTF-带通滤波器)。IMA由同样基于VBG的高光谱成像滤光片(超立方体)组成。当与配备暗场聚光镜的研究级显微镜结合使用时,TLS ...
非偏振分光镜对椭偏仪的影响(二)-NPBS引入的椭偏参数误差NPBS引入的椭偏参数误差式(6)是假设所有器件均为理想状态下得到的结果。如果考虑到多层介质膜的退偏效应,NPBS的琼斯矩阵可以表示为:其中:和分别代表NPBS的透射率和反射率,下标p,s表示平行分量和垂直分量。式(8)可以归一化为:其中:K分别是p,s分量的透射比和反射比;分别是NPBS的反射相移和透射相移,如式(10)所示。如果NPBS的p,s轴方向与图1中的Y,X轴不完全重合,而是存在一个方位角误差θ,则NPBS的琼斯矩阵转换为:为简化分析过程,首先假设NPBS2为理想状态,只将NPBS1的琼斯矩阵用式(11)表示。根据上述分析 ...
生物医用材料激光制造技术简介随着生物医学领域的发展和各种生物材料需求的增加,加快制备高质量、高性能的生物医用材料成为科研界的关注点。激光制造技术制备生物医用材料具有设计灵活、结构制定和产品轻量化等特性。(激光快速成型、激光微焊接和激光表面改性)在生物医用材料方面有着特殊优势,例如骨骼植入物的空隙率设置、生物医用材料连接的牢固性优化和植入物表面的拓扑结构设计。一、生物医用材料的应用方向生物材料和仿生材料的开发通常需要先jin的制造和加工技术,已得到复杂的结构和增强材料特性。随着人口老龄化与意外事故的增加,人们对个性化仿生人造骨、组织工程支架和植入式医疗器械等生物医用材料需求明显增多。20世纪90 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三)-应用案例1.3应用案例椭偏仪在位监测已经广泛应用于薄膜生长、颗粒和生物大分子的吸附等领域。下面介绍一下椭偏仪在位监测在薄膜生长和颗粒方面的案例。1.3.1薄膜生长椭偏仪对厚度的无损测量使其可实现薄膜生长的实时监控。而不同时间生长时间其薄膜的性质及厚度不同,这样需要构建不同厚度的多层膜结构,从而实现在位监控,得到薄膜生长厚度随时间的变化信息。比如F.N.Dultsev等采用椭偏仪研究了沉积在硅表面的钛基体氮化机理、Yuki Ishikawa等采用原位椭偏仪研究了离子液体薄膜的玻璃化转变行为,Meng Yuan等提出了一种简便、无损伤的在位椭圆偏振法来监测 ...
体布拉格光栅(VBG)在中红外激光器方面的应用--高功率、波长稳、窄线宽中红外激光器(2.5-10um波段)由于其波长具有的特殊性质,比如处在大气窗口、分子“指纹”区。这些特性使得中红外激光器的应用领域非常广泛,如国防、军事、医疗、科研、通信、工业等。在国防和军事领域,中红外激光器可用于目标侦测、跟踪、识别和导引等方面,如导弹反制、激光通信等;在医疗领域,中红外激光器主要是利用光热效应达到治疗或消融病变组织的目的,如烧蚀和切割泌尿组织,汽化或切割衰竭的器官等;在科研领域,中红外激光器可用于光谱学、化学和生物学等领域的研究,如检测化学物质、研究分子的结构和生物分子的振动光谱;在通信领域,中红外激 ...
荧光显微镜校准载玻片简介昊量光电新推出法国ARGOLIGHT公司生产的耐用型荧光显微镜校准载玻片,用于荧光显微镜的标定和光路对准。显微镜标定技术和光路对准得益于将亚纳米级三维/二维图案嵌入到载玻片的技术,且图案不会别光漂白可以重复使用。这款强大的新工具可帮助载物台重新定位,测量探测器的功能,检验包括照明均匀性,系统的横向和轴向分辨率以及光谱形状,强度和寿命响应等等一系列参数。ARGOLIGHT荧光显微镜校准载玻片适用系统示例:每个Argo-POWER-HM载玻片包含多个荧光图案,荧光参数如下:产品规格:终身保修的荧光发光尺寸:75x25x6 mm,标准载玻片尺寸激发波长范围:连续波长250-6 ...
铟硒样品制备及多型表征InSe样品与空气接触反应的这一过程被认为分三个步骤发生(图1右):(I)氧与晶格中的缺陷结合,(II)氧解离形成晶格,留下悬空键,(III)解离的氧可以与大气中的水相互作用。当InSe暴露在环境条件下的强光下时,这一过程会加速。因此,InSe样品的制备需要惰性环境,如N2手套箱。图1(左)显示了五层(5L) InSe在三种不同条件下(环境、室温真空和低温真空)的光致发光衰减,作为这种衰减发生速度的一个例子。在环境条件下,硒的排放衰减迅速,而在其他两种环境条件下,其降解速度要慢得多。InSe的表面敏感性促使人们采取措施降低氧化速率,从而稳定薄样品的光学性质。图1.左图显示 ...
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