椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(一)-基本原理利用椭偏仪可以精确测量薄膜的厚度和光学常数,其测量原理基于不同偏振光(S,P)与材料的作用。如图1-1所示的单层薄膜模型中,所测的薄膜在衬底上,zui上层为空气,薄膜两侧介质都是半无限大,且薄膜上下表面皆是理想光滑表面,三种介质皆为均匀、各向同性介质。在实际测量过程中,单层模型的三种介质通常指的是空气、待测薄膜和基底。图1-1 光波在多层膜上的反射与透射光波在单层膜上的反射和透射示意图如图1-1所示。定义入射光波矢量E在垂直于入射面上的分量为P光,在入射面上的分量为S光。由折射定律及菲涅耳定律知、、的关系为:上述式子中,n1是空气的折射率(1. ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(二)-在位监控原理1.椭偏仪的在位监控半导体工艺比如CMOS的制作过程,会涉及到结构或者厚度的监控。例如在光刻前后,或者沉积与腐蚀过程,需要控制薄膜的厚度。而椭偏谱可以快速且无损伤进行测量,并且其测试精度可以达到原子级别,因此广泛应用于半导体制备工艺的在位监控中。比如,典型的32nmCMOS制做过程中大概会需要100次厚度的测试控制,而其中就有80次厚度测试需要利用椭偏谱对其厚度进行监控。通常要解构薄膜的厚度,会涉及到有效介质模型近似和Drude+Lorentz Oscillator模型的使用。利用椭偏仪不仅可以得到厚度信息,还可以得到薄膜的光学性质等信息, ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三)-应用案例1.3应用案例椭偏仪在位监测已经广泛应用于薄膜生长、颗粒和生物大分子的吸附等领域。下面介绍一下椭偏仪在位监测在薄膜生长和颗粒方面的案例。1.3.1薄膜生长椭偏仪对厚度的无损测量使其可实现薄膜生长的实时监控。而不同时间生长时间其薄膜的性质及厚度不同,这样需要构建不同厚度的多层膜结构,从而实现在位监控,得到薄膜生长厚度随时间的变化信息。比如F.N.Dultsev等采用椭偏仪研究了沉积在硅表面的钛基体氮化机理、Yuki Ishikawa等采用原位椭偏仪研究了离子液体薄膜的玻璃化转变行为,Meng Yuan等提出了一种简便、无损伤的在位椭圆偏振法来监测 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(四)-电化学沉积及原理2.电化学沉积电化学沉积是半导体薄膜沉积和微电子制备铜互连的重要制备方法。而在沉积过程中的成核和生长对于半导体薄膜和铜互连的性质非常重要,椭偏仪在位监测提供一种实时监控薄膜沉积的方法。但是椭偏仪在位监测受到光路设计,实验装置,固液界面以及光谱解析的影响,构建其监测系统是一个挑战。实验室前期对电化学沉积Cu2O薄膜进行了系统的研究,发现其沉积与沉积电压、溶液温度和pH值等密切相关。本文以电化学沉积Cu2O薄膜为例,从而在实验室构建椭偏仪在位监控电化学沉积系统。不同于真空薄膜生长,电化学沉积生长过程涉及到溶液层和固液界面,导致其在位监测是一 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(五)-Pb和Cu2O薄膜的电化学沉积2.2 Pb和Cu2O薄膜的电化学沉积实验室前期系统研究了Pb的成核生长,并用于钙钛矿太阳能电池的制备。前期的研究发现Pb在ITO基底上的生长过程属于渐进成核的岛状生长。Cu2O为半导体材料,其能隙与生长条件有关,大约在1.9-2.2eV。它具有吸收系数高、材料丰富、无毒、制造成本低等优点,在太阳能转换、电极材料、传感器和催化等领域具有广泛的应用前景。如图1-7所示,是简单的Cu2O能带模型,根据所涉及的价带和导带,可以区分四个激子序列,根据所涉及的波段,可以分为黄、绿、蓝和紫激子系列。在这个模型中,激子的波函数包括所谓的 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(六)- 在位监测电化学沉积2.3在位监测电化学沉积目前报道过的在位监测手段主要有电化学在位拉曼光谱法、在位傅里叶红外光谱仪法、石英晶振仪法、质谱仪法、在位椭偏仪法。电化学在位拉曼光谱法,其原理是通过介质分子对入射光发出频率的有明显变化的散射现象,用单色入射光(圆偏振光与线偏振光)来激发由电极电位控制的电极表面,然后测定出散射得到的光谱信号,如频率、强度及偏振性能变化与电极的电位或者电流强度的变化关系。在位傅里叶红外光谱仪法(FTIRS)是由Bewick等人在20世纪80年代早期首创的。在位傅里叶变换红外光谱仪可以获取电极上中性和离子吸附物的分子信息,以及参与 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(七)- 当前在位监测装置设计3当前在位监测装置设计3.1真空镀膜系统集成在位椭偏仪测试装置可分为两类,一类是把设计的装置直接和椭偏仪的两个臂连接,另外就是把设计好的装置放置在两臂之间,不改变椭偏仪原始的任何设计。后者设计使用更方便简洁,有利于装置的更换。如图1-12所示,是报道过的椭偏仪在位测试的装置图。图1-12(a)是M.Magnozzi等设计一个实时在位光谱椭偏测量的高真装置。该装置是基于一个圆柱型管,在其两端有两个KF100法兰(见图1-12(a),左)。底部为KF100法兰(a)作为支撑样品的支架,安装有加热器和两个双动电偶;主体(b)容纳几个焊接 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(八)- 溶液的影响和固液界面的影响4椭偏仪在位监测电化学沉积的挑战椭偏仪在位监测电化学沉积的挑战主要分为:溶液的影响和固液界面的影响,以及装置的设计。4.1溶液溶液对实现椭偏仪在位监测电化学沉积薄膜主要会带来两方面的影响,第1种是溶液的扰动,比如在开放的溶液体系,溶液表面的扰动可能会对光产生多种散射机制,从而给测试带来困难。另外是溶液中浓度变化所带来的影响。当光波场频率很大且溶液的浓度不太大时,光学常数折射率及消光系数有如下关系式:由朗伯定律与光强度的定义得吸收系数β与消光系数k的关系为:又由比尔定律知,当溶液浓度足够小以至于分子间相互作用能被忽略时,溶液吸 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(九)- 光学模型的建立与数据的提取4.3在位测试装置目前的在位椭偏仪监测电化学沉积的关键在于系统的集成。实验室的椭偏仪光源为氙灯,可以进行全谱的测试,但是这也导致单波长的光强度较弱,因此装置设计中的光路设计尤为重要,另外是光斑的大小问题,光斑大小会随着测试角度的变化而变化。另外其设计需要满足电化学薄膜沉积的需求,又要同时满足椭偏仪测试的需求。如作为电解池它需要满足容电解液充足,且可以放置好工作电极、对电极和参比电极。椭偏仪的在位装置首先要满足透光,其次是保证工作电极易于调节入射光和出射光在同一光平面,需考虑溶液的光程,原则上越小越好,这样可以减小光的衰减,更 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十)- 研究内容和意义5.研究内容和意义如下图1-19为用于分析梯度层的光学模型。当梯度层的光响应用多层结构表示时如图1-19(a)所示,其厚度dj和介电函数都是必需的。然而,由于存在大量的分析参数,使用这种光学模型进行椭偏谱分析通常比较困难。此外,该分析中的拟合误差随着分析误差的传播逐渐向顶层增加。但是在VSA中,复杂的底层结构用伪介电函数表示,只有厚度(d)和介电函数如图1-19(b)。因此,即使样品的介电函数在生长方向上不断变化,VSA的分析也可以相对容易地进行。图1-19用于分析梯度层的光学模型:(a)多层模型和(b)虚拟衬底近似(VSA)图1-20 ...
高速像增强型CMOS相机一,像增强器的基本机构为了使微弱的或不可见的辐射图像通过光电成像系统变为可见图像,像增强器本身应具有光谱变换、 亮度增强和成像的功能。 目前的像增强器通常采用如图1.1所示的结 构, 主要由光电阴极、 微通道板 (Microchannel Plate, MCP)、 荧光屏和电子光学系统 组成。 图1.1 像增强器原理结构图二,高速像增强型CMOS相机产品概述高速像增强型CMOS相机是具有微光探测能力和纳秒级快门曝光的超高速成像相机。PhoScu-ICMOS将超二代像增强器通过光耦合方式连接到CMOS图像传感器上,兼具高增
高品质激光光束分析仪的价格革命! 让所有需要分析激光光束的客户均能用上专业的激光光束分析仪!以往激光光束质量分析仪偏高的价位使很多激光生产商及激光使用者望而却步。仔细分析其价格构成不难发现,传统光束质量分析仪提供复杂但不实用的功能,绝大多数用户在使用中可能永远用不到这些功能。但目前各光束分析仪公司均将全部光束分析功能打包集成在一套软件中进行销售,导致客户等于是白白为这些可能永远用不上的功能而付费。 为满足普通用户的需求,德国光束质量分析仪厂商Cinogy公司日前推出了其划时代的Cost-Effective激光光束分析仪CinCam CMOS系列激光光束分析仪。 CinCam CMOS采用12
反射式体布拉格光栅(RBG) ---主要用于波长锁定,线宽压窄,窄带滤波体布拉格光栅(VBG,Volume Bragg Grating ,或 VHG,体全息光栅)是一种新型的光栅,它具有良好的物理特性,广泛的用作高功率半导体激光器或固体激光器的腔镜(Mirror,全反镜or输出镜)用于内腔式激光器模式选择的反射型布拉格光栅。 布拉格光栅反射镜是一种在光敏硅酸盐玻璃体中刻录的反射型布拉格光栅。体布拉格光栅反射镜可承受高达5J/cm2的激光功率密度,可被置于激光共振腔内用以对激光器波长锁定(中心波长及带宽均可由客户指定,精度为0.1-0.5nm ) 、横模纵模选取及控制、激光线宽压
Kinetix系列3200X3200背照式科学级sCMOS相机公司介绍: Teledyne Imaging是由Teledyne创立的企业集团。Teledyne Imaging在各个领域拥有无可匹敌的专业知识和数十年的丰富经验。各个公司均能够单独提供解决方案。各个公司也能够相互结合并利用彼此的优势,以提供深入、全面的成像和相关技术产品组合。从航空航天到工业检查、放射线照相和放射治疗、地理空间测量和半导体解决方案,Teledyne Imaging为客户提供支持和技术知识,以应对各类艰巨的任务。Teledyne Imaging提供的工具、技术和视觉解决方案旨在为客户提供竞争优势。Kineti
高速荧光寿命显微成像系统 - LIFA荧光寿命测试原理:频域测量对连续激发光进行振幅调制后,分子发出的荧光强度也会受到振幅调制,两个调制信号之间存在与荧光寿命相关的相位差,因此可以测量该相位差计算荧光寿命。左图为正弦调制激发光(绿色)频域显示,发射光信号(红色)相应的相位变化频域显示。右图为对应不同寿命的调制和相位的频域显示。TM- 调制寿命,TP- 相位寿命。产品简介:Lambert Instrument推出的高速FLM系统(荧光寿命显微成像系统)LIFA是基于频域调制检测技术,可以实现高精度寿命荧光图像瞬时采集。LIFA系统可以在几秒钟内记录定量寿命数据。它很容易连接我们的FLIM相机和光
1920x1200纯相位液晶空间光调制器美国Meadowlark Optics(MLO)公司一直致力于高性能液晶空间光调制器的研发生产,E19x12系列向列相液晶空间光调制器(SLM)采用独特的模拟寻址方式,具有很好的相位稳定性。通过改变芯片背板设计,实现更高的光能利用效率,在科研领域有着广泛应用。纯相位SLM利用液晶的双折射原理,能够实时对光的相位进行调制。E19x12系列液晶空间光调制器(LC_SLM),较同类产品,具有明显性能优势。产品特点:分辨率:1920 x 1200 (2,304,000 active pixels)像元尺寸: 8.0 x 8.0 μm零级衍射效率:80-91%(M
高分辨率10通道多光谱相机-RedEdge P Dual美国MICASENSE多光谱相机公司,基于RedEdge-P开发设计了一款RedEdge-P Dual多光谱相机,RedEdge-P Dual由两台多光谱相机组成,共10通道,与Landsat8和Sentinel2A卫星搭载的成像传感器多个波段对应,一次飞行获取更多光谱信息,可用于农业、林业、城市规划、水质监测等多个领域。特别是RedEdge-P Dual增加了Coastal blue波段,可应用于沿海海岸带监测。两台相机共用一个日光照度计(DLS2),实时获取光照变化。可搭载DJI M300RTK等多种无人机机型。获取到的数据仍然可用P
任意波形发生器(AWG)2-32通道任意波形发生器Active Technologies任意波形发生器满足当今工程师的需求,提供各种信号类型:l模拟l数字l混合信号l多通道应用l可以由主动技术仪器覆盖任意波形发生器是一种复杂的回放系统,可根据存储的数字化数据创建波形。AWG的能力是创建几乎任何类型的高精度和准确度的波形。任意函数发生器基于DDS(直接数字合成),可产生实验室和设计部门常用的测试信号。AFG 函数发生器提供出色的频率捷变和调制。因此,AWG(任意波形发生器)和AFG(任意函数发生器)系列可帮助您自信地生成几乎任何可以想象的形状的波形:l复杂信号,如数字调制l用于功能和性能测试的射
Tigris-640-MCT制冷型中波红外相机比利时XenICs是世介知名的红外相机供应商,致力于研发各种红外成产品,凭借悠秀的图像质量,其专业、高性能的红外相机可应用于材料缺陷检测、半导体分析、显微成像、光谱研究、机器视觉、安防夜视、过程控制等领域。Tigris-640-MCT是一款制冷型中波红外(MWIR)相机,配备zui先近的MCT探测器,分辨率为640 × 512,配备电动滤波轮,可装配5个滤片,具有非均匀性校正、自动增益和offset control等功能,使用GigE或CameraLink接口,可模拟输出、HD-SDI和触发等特点。Tigris-640-MCT制冷型中波红外相机提供
Prime系列背照式科学级sCMOS相机公司介绍:Teledyne Imaging是由Teledyne创立的企业集团。Teledyne Imaging在各个领域拥有无可匹敌的专业知识和数十年的丰富经验。各个公司均能够单独提供解决方案。各个公司也能够相互结合并利用彼此的优势,以提供深入、全面的成像和相关技术产品组合。从航空航天到工业检查、放射线照相和放射治疗、地理空间测量和半导体解决方案,Teledyne Imaging为客户提供支持和技术知识,以应对各类艰巨的任务。Teledyne Imaging提供的工具、技术和视觉解决方案旨在为客户提供竞争优势。Prime系列背照式科学级sCMOS相机产品
高速荧光寿命成像相机/FLIM相机 -ToggelLambert Instrument推出的Toggel是一款次世代荧光寿命成像相机/FLIM相机,它结合卓越的光灵敏度和易于获取的图像和数据分析等优点,简化了研究人员和成像中心的功能成像。次世代荧光寿命成像相机Toggle - 应用: 活细胞成像Live-cell imaging使用内置的延时功能跟踪示例中的生命周期如何随时间变化。只需设置两次测量之间的持续时间和时间,我们的软件就可以完成其余的工作。这个视频截图是HeLa细胞的延时拍摄。加入异丙肾上腺素150秒后,cAMP迅速增加,荧光寿命相应延长。随后cAMP分解,荧光寿命逐渐降低。FLIM
ARB RIDER AWG-5000 任意波形发生器Zui快的 16 位任意波形发生器ARB Rider AWG-5000 是ShiJieZui快的 16 位任意波形发生器:6.16 GS/s 实时更新速率(射频模式下为 12.32 GS/s)和16 位垂直分辨率。Arb Rider AWG-5000 提供 2、4 或 8 通道型号,是ShiJie上Zui快的 AFG(任意函数发生器),Zui高可达 2 GHz 正弦波。得益于简单的骑士软件,AWG-5000 提供了—流的性能和非常易于使用的界面。2 GHz带宽,高达5Vpp输出范围和高达4 Gsample的存储深度,使多通道高性能任意波形发生
3轴手持式特斯拉计3MH1-便携式可触摸显示昊量光电全新推出的3轴手持式特斯拉计3MH1-便携式可触摸显示。3轴手持式特斯拉计3MH1手持式磁强计是一种易于使用的便携式磁强计,用户可使用它测量磁场的所有三个分量。 它可同时测量磁场,并可在集成的触摸屏上直接查看磁场强度。 通过用户友好型软件,可更改所测磁场的单位、增益和测量平均时间窗口。内置软件允许用户通过网络接口以 CSV 文件形式下载记录的数据。 该仪器由内置电池供电,无需外接电源。 由于完全集成的三轴霍尔探头的独特功能,可在几乎相同的点上同时测量磁场的所有三个分量(Bx、By、Bz)。用户可以利用它对磁场的磁通密度进行快速、高分辨率的测量
纳米级高速大行程压电马达平移台XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位
紧凑型透镜耦合像增强器TRICATTTRiCATT是一种紧凑的镜头耦合图像增强器,适用于以下科学和工业应用场景:1)微光成像,2)通过快速门控的超短曝光,3)使用锁相探测的频域成像。TRiCATT可以提供18或25毫米的图像增强器与一个高效的中继镜头,形成灵活的解决方案,可以匹配到任何CCD或CMOS相机,从而可以很轻易地集成到现有的成像系统中。TRiCATT(时间分辨像增强相机附件)是时域或频域快速成像的优佳选择。基于广泛的第II代和第III代图像增强器,TRiCATT可为您的实验应用提供高达单光子级别的高灵敏度和光谱带宽。不同型号可供选择(光谱灵敏度,荧光粉,空间分辨率,增益,线性度,门宽
高速像增强器HiCATT高速像增强相机附件(HiCATT)是专为高速相机配合使用而设计的像增强器。高速像增强器HiCATT可使低光照水平的图像放大至高达10000倍的水平,从而提高附带的高速相机的灵敏度,实现高速,低光成像。高速像增强器HiCATT的技术扩展了高速相机的动态范围。在弱光下,即使是单个光子也能被探测到。而在高光水平下,高速像增强器HiCATT可以通过很短的曝光(低至3 ns)来防止过度曝光。这些短曝光可产生快速移动物体的清晰图像。高速像增强器HiCATT的混合型图像增强器由2级组成,直径可为25毫米或18毫米。首阶段是第II代或第III代近距离聚焦MCP增强器,提供非常高的可调节
高功率光纤耦合LED白光源和单色光源昊量光电新推出基于液体光波导(LLG)输出的高功率LED白光源和单色光源,它的输出光波导芯径为3和5毫米,并提供非常借此的输出亮度。高功率LED白光源和单色光源LS-HP1使用了新一代大功率LED,在面积小于15mm²区域内,功率高达100W,比150W的传统卤素灯泡亮得多。此LED系列中我们提供了一款显色指数CRI达92的日光源,提供的其它单色光源的波长范围365nm到850nm可选。这种基于直接发射单色LED的光源的优点是效率非常高,其因为总发射功率输出基本都在在有用波长范围内。高功率光纤耦合LED白光源和单色光源参数表型号色温/中心波长CRI/FWHM
Specim高分辨率CMOS/sCMOS VNIR高光谱成像系统Spectral Camera PFD工作在VIS和VNIR 400-1000 nm范围。Spectral Camera PFD具有高分辨率、高成像速率、灵活的波长选择和坚固的结构,广泛应用于各类科研和工业领域。Spectral Camera PFD由一个分别用于400-1000 nm波长范围的ImSpector V10E和一个高速CMOS探测器组成。光谱仪中使用的透射衍射光栅和透镜光学提供了高质量,低失真的图像,旨在满足苛刻的规格。这种光谱相机提供了工业质量控制应用所需的灵活性和高速采集。多个兴趣区域和binning的结合为用户
QE>90%超导纳米线单光子探测器高量子效率>90%,低暗计数<0.1cps,高计数率>70MHz俄罗斯Scontel蕞新推出的超高效率超导纳米线单光子探测器,其在600nm-2300nm内达到高量子效率>90%,暗计数<10cps,同时计数率高达>70MHz,是目前市场上性能优良的超导纳米线单光子探测器的领头羊。此型号超导纳米线单光子探测器可提供蕞多16通道同时运行,其闭环压缩机制冷,不消耗液氦,针对不同应用提供匹配的产品,可多通道同时探测及低成本升级,且可以根据您的不同需求我们不仅有如下图中探测性能的设备,还有多模大面积探测器、超低噪声探测器、光子
皮米级精度激光干涉仪(可试用) 昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪(激光干涉仪)quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器,基于激光干涉仪独特的测量原理,相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。皮米精度位移激光干涉仪quDIS可同时支持三个测量通道,ps精度位移激光干涉仪可以适用于任意的多轴测量中。皮米精度位移激光干涉仪quDIS在原理上同样采用激光干涉法,不过与传统激光干涉仪相比,其集成了法珀腔(Reference Cavity)及饱和吸收气室(GC)作为频率校准参考,通过激光波长调谐扫描,比较两种不同的干涉图样,可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量,基于这种测量
或 投递简历至: hr@auniontech.com