以形成不同的干涉图样1113。干涉条纹实际上是等光程差的轨迹，因此，分析干涉产生的图样需要求出相干光的光程差位置分布的函数。迈克尔逊干涉仪的zhu名应用之一是迈克尔逊-莫雷实验，该实验证实了以太的不存在，为狭义相对论的基本假设提供了实验依据。此外，迈克尔逊干涉仪还在引力波探测中得到广泛应用，如激光干涉引力波天文台（LIGO）等，通过测量由引力波引起的激光的光程变化来探测引力波。迈克尔逊干涉仪还被应用于寻找太阳系外行星的探测中，以及在延迟干涉仪，即光学差分相移键控解调器（Optical DPSK）的制造中有所应用。它也是测量长度变化、微小波长差的有力工具，并在大学物理教学中用于可视化教学，帮助学 ...
100nm，干涉图样显着退化。在这些条件下测量厚度变得具有挑战性。图1 不同表面粗糙度的5um聚合物薄膜的反射光谱(700nm-1700nm)（模拟）。对于光散射，有一个特征，即在较短波长下加速退化（强度和干涉）表面粗糙度会导致光散射增加。这导致镜面反射率降低和干扰减弱。编织长度越短，光散射越明显。因此，长可见光和近红外(NIR)波长范围(700-1700nm)更适合表面粗糙度的应用。表面粗糙度对反射光谱影响的模拟（图1）表明，对于RMS>100nm，干涉图样显着退化。在这些条件下测量厚度变得具有挑战性。图2 粗糙度为0.5umRMS的金属表面（掩模版直径为20um）。在20微米的尺度上 ...
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