激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱（LIBS）方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面，当激光辐照度超过样品的击穿阈值时，少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时，等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等，整体呈电中性。当激光脉冲结束后，等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁，并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度，可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
Metrolab MFC系列 —— 磁场计量的“原子钟摘要：本文以“精准是医学物理的第1道防线”为核心，详细阐述了该产品基于脉冲波核磁共振（Pulsed Wave NMR）技术的“绝对测量”原理，强调其作为磁场计量“原子钟”的权威性。内容涵盖了±5 ppm的绝对精度、0.01 ppm的超高分辨率及对高梯度场的容忍度等核心优势，并介绍了其在MRI质控、高场NMR波谱仪及计量院等领域的应用场景与硬核参数，zui后展示了Metrolab的技术实力及中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在医学成像的微观shi界里，0.1 ppm（百万分之一）的偏差，可能意味着宏观诊断的失之毫厘。当我们谈论核磁共振成像（MR ...
芬兰Timegate时间门控拉曼：为癌症精准诊断装上“火眼金睛”在生物医学的微观shi界里，光既是探索者，也是被干扰者。当科学家试图利用拉曼光谱技术捕捉细胞内部的分子振动，从而获取“分子指纹”时，往往会遭遇一个棘手的物理难题——生物样本自身发出的强烈荧光。这种荧光就像一场突如其来的大雾，瞬间淹没了微弱却关键的拉曼信号，让原本清晰的分子结构变得模糊不清。为了解开这道困扰业界多年的“荧光枷锁”，来自芬兰的顶尖光子学团队Timegate Instruments（以下简称Timegate）给出了一个极具智慧的答案：利用“时间”作为滤镜。Timegate的时间门控拉曼光谱技术（TG-RS）并非简单的硬件 ...
突破传统：基于高速高压固态开关的亚10ns高压脉冲前沿解决方案上升时间<10ns!高速固态开关高压脉冲解决方案取得关键突破在生物医疗、质谱分析、材料测试以及宽带隙半导体表征等精密应用中，高压脉冲的上升沿速度直接决定了系统的分辨率和性能极限。传统的火花隙或闸流管由于物理原理限制，虽然能起到高压开关的作用，但它们抖动大、寿命短以及高压波形不可控的缺点也无法令人忽视。昊量光电全新推出基于模块化高速固体开关及高压电源的高压脉冲前沿解决方案，在实际电路中可以稳定获得低于10ns的上升沿高压输出，为科研与工业用户提供全固态、长寿命、高重频的定制化方案。一. 为什么上升沿的陡峭度至关重要？在高压脉冲应 ...
薄膜测量的“卡脖子”难题，该用什么方案破解？摘要：本文针对半导体、光伏等领域的测不准、测不快痛点，详细阐述了该产品基于DOAP技术的“多波长”解决方案。内容涵盖了1.7毫秒极速测量、无移动部件设计及多层膜解析能力，并结合TOPCon电池、IC封装等2026年热门应用场景，展示了其在速度、精度与性价比上的优势，zui后介绍了美国Film Sense品牌与上海星朗浩宇代理服务商的合作关系。在这个万物皆“微纳”的时代，从手机芯片到新能源电池，其性能的优劣往往取决于那几纳米至几微米的薄膜层。作为深耕光学测量领域的专业服务商，星朗浩宇 经常被客户问到：在2026年的今天，面对复杂的工艺控制（Proces ...
宽带涡流测量氮化镓半导体的片电阻摘要对于片电阻的测量来说，尽管经典的四点探针法通常能提供足够的结果，但在许多情况下，它并不适用于薄片电阻的测量，特别是在埋入导电层或表面接触点氧化/退化的情况下。针对氮化镓样品中有位错缺陷的表面浓度的情况下，此类测量方法难度极高。本文将展示一种氮化镓样品，使用此方法将直接无法测量。然而本文将采用一种新型宽带多频非接触涡流法来精确测量复杂外延生长的氮化镓掺杂样品片电阻，并与传统四点法进行了比较。此方法对多层掺杂的氮化镓样品进行了完美评估，这将为该领域的进一步开发应用奠定基础。采用CST-StudioSuite仿真软件2020及实验测量数据，通过三维有限元模型对本非 ...
双频共振跟踪（DFRT）-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要，包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法：一种利用锁相环 (PLL)，另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好，但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难，提供了更可靠的解决方案。在这里，我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生，在模拟谐振器上进行了测试，并获得了积极的结 ...
啁啾体布拉格光栅（CBG）：超精细量子位控制技术中的新方案随着量子计算、量子模拟和精密测量等领域的快速发展，高保真度的量子位操作成为实现大规模量子信息处理的关键。超精细原子态作为量子比特的编码载体，因其长相干时间和可控性而备受青睐。然而，传统的量子位驱动方法（如微波直接驱动或双激光Raman过渡）在扩展性和稳定性上面临挑战。近年来，啁啾体布拉格光栅（Chirped Bragg Grating, CBG）作为一种新型色散光学元件，通过高效地将相位调制转换为幅度调制，为超精细量子位的Raman驱动提供了革命性的解决方案。本文基于前沿研究论文（文章1-《Dispersive optical syst ...
锁相相机在单粒子超快光谱上的应用前言锁相相机在单粒子超快光谱研究中展现出显著优势，主要包括以下方面：1.光谱检测的多路复用能力：锁相相机的像素阵列设计使其能够在单次测量中同步采集多个波长的瞬态信号，无需像单元件光电二极管那样逐波长进行连续测量。2.同步捕捉多动态过程：凭借其光谱检测的多路复用能力，锁相相机能够同步捕捉单个纳米颗粒在超快激光激发后的多种动态过程。3.高灵敏度检测：虽然锁相相机的灵敏度略低于单元件光电二极管，但已足够记录高质量的光谱分辨泵浦-探测测量数据。4.实现时间分辨瞬态光谱的单次测量：将锁相相机集成到时间分辨瞬态透射显微镜中，实现了对单个金纳米盘瞬态透射光谱的单次测量。这种单 ...
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