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或者实现光的非相干性到相干性的转变。将SLM同超快激光微纳加工技术结合起来，发挥二者的优势，可大大提高激光微纳加工的效率和灵活性。如：利用SLM生产多焦点的阵列（e.g. 30x30）, 从1个点变成900个点，加工效率提高900倍。同时通过控制各个点的位置，可以实现不同线宽不同焦深的控制。SLM还可以通过加载计算全息图，可实现图案结构的一次性曝光加工。图1 利用SLM生成多焦点阵列及并行加工图案图2 市面上的空间光调制器(SLM)产品示例 SLM除了可以调整激光生成二维多焦点配合移动台或振镜进行逐层扫描来实现三维加工外，SLM还可将飞秒激光调制成空间特定分布的点阵、线型光场、面型光场、实 ...
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