面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中，紫外（UV）及深紫外（DUV）光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进，紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段，每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径（NA）极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线，决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界：瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据（Rayleigh criterion）严格定义：CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长，NA 代表数值孔径，这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
空间光调制器（SLM）在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性，在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等，其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干（秒级）、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列，完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1： 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87（⁸⁷Rb，zui主流）能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级，适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱（LIBS）方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面，当激光辐照度超过样品的击穿阈值时，少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时，等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等，整体呈电中性。当激光脉冲结束后，等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁，并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度，可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
案例分享|Covesion锁频激光器入海行：从冷原子到寒海境当我们谈到量子的时候，我们往往想象到一幅充满真空腔，隔振平台、手捧热茶科学家们的实验室场景，而现在英国Covesion公司的双波长锁频激光器作为CPI TMD Technologies公司近期研发的HARLEQUIN量子混合惯性导航系统的核心，首次在海上支持冷原子技术的实际部署。这标志着量子传感器不仅能在光学平台上工作，并且能在狂野颠簸、变幻莫测的海上环境中工作的重要一步。Covesion的锁频激光系统正位于Trinity House vessel的THV Galatea号前性能抢先看Covesion的锁频激光系统是基于核心光纤耦合P ...
等离子体液体界面溶剂化电子的时间分辨测量摘要：在本文中，我们重点研究了在等离子体和液体之间的界面上以时间分辨的方式测量溶剂化电子的技术。溶剂化电子是指被溶剂分子稳定或包围的电子，通常存在于溶液中。等离子体/液体界面表示等离子体和液相之间的边界。时间分辨测量正在研究这些现象的时间方面，这可以提供对反应动力学，电子转移过程或发生在该界面的其他动态行为的见解。在等离子体/液体界面对溶剂化电子进行时间分辨测量通常涉及多种实验技术的组合。该装置包括等离子体源、电极和光学元件。在等离子体/液体界面设计一个时间分辨测量溶剂化电子的实验装置需要仔细考虑几个组成部分和参数。一个合适的等离子体源，能够产生稳定的等 ...
AMD利用可重构FPGA设备Moku实现自定义激光探测解决方案摘要本文介绍了Advanced Micro Devices, AMD公司如何基于可重构FPGA设备自定义激光探测解决方案，替代传统的仪器配置，通过灵活且可定制的FPGA设备Moku提供更高效和灵活的激光探测技术。文中结合多个案例研究探讨了使用Moku平台简化实验设置、部署锁相放大器和双boxcar平均器提升信号质量、并通过Moku的神经网络及云编译功能优化实时信号处理。Moku将信号生成、测试分析、控制调节等多种功能集成于一台设备，支持用户快速部署自定义HDL代码，该方案集成度高、硬件投资成本低、配置简洁，且支持高度自定义和信号处理 ...
Moku 集成式量子测控：软件定义仪器赋能量子传感与量子计量随着量子科学的快速发展，原子系统在时间、频率与场强等物理量测量中所展现的优异精度与稳定性越来越受到研究人员的重视。从基础物理的研究，到导航、通信等应用，基于原子系统的量子传感与计量正逐步成为推动科研和工程前沿的“精密引擎”。然而，从理论到实践并非易事：激光频率漂移、系统固有噪声、时序误差以及测试测量设备间的不同步，常常限制着实验性能的上限。本文聚焦于如何利用原子系统实现高精度量子传感与计量，并系统性探讨相关领域所面临的核心技术挑战以及对测试测量设备的需求。我们进一步展示了 Moku这种基于 FPGA 的测控一体化设备如何通过高集成度、 ...
使用具有合成钉钉位点的磁畴壁装置进行神经形态计算的突触元件近年来，人工智能（AI）越来越受到人们的关注。目前的智能手机和电视等消费设备已经使用了人工智能。在这些设备中，AI算法是在冯·诺伊曼架构上运行的组件上执行的，这消耗了大量的功率。相比之下，受大脑启发的神经形态计算（NC）硬件，由通过突触装置相互连接的合成神经元网络组成，并模仿大脑的功能，有望以低功耗执行复杂的信息处理。因此，NC得到了极大的关注。在NC系统中，神经元作为处理元件，通过接受多个输入并以编程的方式产生输出。相比之下，突触将根据权重调制的信号传递给神经元。这种重量在物理上储存在突触本身，这意味着突触元素本质上必须是非易失性的。 ...
白皮书|PPLN应用于恶劣环境中的波长转换在我们上一篇文章中《应用探究|PPLN波导赋能量子重力传感：星载冷原子干涉仪应用》，我们分享了昊量光电提供的英国Covesion MgO：PPLN波导组件应用于重力仪中的冷原子干涉仪的应用，凭借其环境鲁棒性以及优异的温控稳定性，可以稳定输出所需的波长。当然对于包括以下领域在内的诸多重要应用而言，当下亟需新一代的计时和传感解决方案：·自主导航与惯性传感（用于GPS受限环境）·重力与磁场传感（包括地球轨道环境监测和陆地场地勘查）提供这些解决方案的下一代技术利用了量子效应，其中的关键推动因素是基于铷原子的磁光阱（Rb-MOT）。磁光阱使得“冷原子”能够用作超 ...
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