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用于硅粒子探测器TPA - TCT的FYLA飞秒激光解决方案摘要:在本文中,我们介绍了TPA - TCT作为硅探测器表征技术,对SPA的TCT方法进行对比,并重点讲述了一种TPA - TCT的实验搭建和测试方法。瞬态电流技术(TCT)是一种完善的方法来表征硅粒子探测器,无论是辐照和非辐照。在基于单光子吸收(SPA)的传统激光TCT实现中,空间分辨率仅限于二维,因为电荷载流子是沿着探测器内激光束的整个传播路径产生的。因此,对器件沿光束轴位置的灵敏度基本上是有限的。双光子吸收瞬态电流技术(TPA - TCT)通过利用硅中的非线性吸收来克服这一限制。当使用亚带隙光子能量时,线性吸收被强烈抑制,并且电 ...
193nm紫外波前传感器(512x512高相位分辨率)助力半导体/光刻机行业发展!摘要:昊量光电联合法国Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率(512x512)波前分析仪!该波前传感器采用Phasics公司技术-四波横向剪切干涉技术,可以工作在190-400nm波段,消色差,具有2nm RMS的相位检测灵敏度,能够精确测量紫外光波前的细微变化。SID4-UV-HR 紫外波前分析仪非常适合紫外光学元件表征(DUV光刻、半导体等领域)和表面检测(透镜和晶圆等)。193nm 紫外波前传感器(512x512 高相位分辨率)在半导体/光刻机行业中具有重要作用。该传感器具有高分辨率,消色差,对震 ...
中阶梯光栅光谱仪及其应用1.中阶梯光栅光谱仪是什么?许多实际的光谱应用都希望在非常宽的波长范围内获得高分辨率光谱。光谱测量的保真度随着分辨率的增加而增加,直到光谱特征被完全分辨,不仅要在光谱线和背景之间产生很高的对比度,同时,也要记录全光谱提供了源特性的完整图像。然而,以高分辨率记录宽带光谱需要许多独立的光电探测器,不过半导体芯片中像素元件应运而生。例如,在500 nm波长的分辨率为R= 50,000时,单个分辨率元件只能捕获λ/R=10pm的波长范围。采样理论表明,至少需要两个像素来正确采样一个分辨率元素,所以探测器的每个像素只覆盖5pm的光谱。一个2000像素宽的探测器在如此高的分辨率下只 ...
光刻胶测量概述MProbe™ Vis MSP用于小点测量。在本文中,我们将讨论PR的几种不同应用:1.玻璃基板上的薄PR(主CD/DVD应用)2.蓝宝石晶圆上薄PMMA3.硅上PR(微斑)4.硅片上PR(毯式硅片)5.铜板PR(印制板)一、玻璃基板上的薄PR此应用程序用于主CD/DVD和其他重新编码应用程序。用MicropositS1800系列(Shipley)自旋涂覆玻璃盘。PR的柯西系数由厂家提供。而PR在随厚度直接测量的500nm~600nm范围内吸收较小。PR的光学常数采用CauchyK模型表示,其中仅测量吸收(k)部分,而n系数是固定的。图1 PR的光学常数,k为实测,n由厂家提供。 ...
石英注射器厚度测量可预填充的玻璃注射器盒由制造商清洗,硅化,消毒和包装。硅化的注射器桶是非常重要的-它作为润滑剂,使柱塞滑动顺利。它还提供疏水层,防止药物与玻璃表面相互作用。硅化不足和硅化过度都会引起问题。在现代生产中,大多数硅化都是使用“烘烤”工艺,即先喷洒硅乳液,然后再烘烤以形成永久层。硅层厚度和均匀性的生产控制是产品质量控制的重要内容。由于桶的高曲率,测量是用一个小点(20um到40um)完成的。图1a 注射器盒放置在MProbeVis-MSP表上。显示了测量点的位置(“round measure”是旋转注射器时测量的点)图1b 注射器筒沿7个不同点测得的反射光谱图2 测量结果的实例厚度 ...
玻璃激光加工技术应用简介摘要:玻璃材料具有良好的化学稳定性、热力学特性、透光性、耐腐蚀性、隔热性、绝缘性、生物相容性且表面光滑,因而被广泛应用。在日常生活中,玻璃是很受欢迎的一种建筑材料和装饰材料,高楼大厦以及交通工具都常用到。在工业生产中,接触酸、碱的容器和元件一般也是基于玻璃材料制作。在科技领域中,太阳能光伏发电系统的组件光伏玻璃、晶体硅电池的玻璃盖板等也是采用玻璃材料。一、玻璃加工技术玻璃是脆性材料,采用传统加工技术往往会出现破裂、切口有碎屑、切缝不平直、表面有压溃层等现象。即使采用激光加工技术,也会因为激光照射部位与非照射部位之间存在较大温差而产生热应力,导致玻璃材料出现裂纹或者断裂等 ...
水凝胶薄膜厚度测量MProbe VisHC系统提供强大且易于使用的解决方案,允许直接在产品上测量层。手动探头MP-FLVis通过柔性光纤电缆连接到系统。探头符合样品的曲率,可以方便地进行精确测量。它用于测量大于1英寸(25mm)的零件。较小的测点(<200µm)减小了后反射率的影响。MProbe VisHC软件对HC膜采用厚膜算法,对防雾涂层采用曲线拟合算法。算法可以很容易地调整/训练,以测量甚至具挑战性的样本。测量过程是容易的,没有经验的操作员使用和理解。水凝胶薄膜有许多应用。它是一种有趣的应用是生物传感器,其中水凝胶膜厚度的控制很重要,例如基于荧光的水凝胶传感器。在其他传感器中,例如 ...
像散校正光纤光谱仪-数据校准和校正光谱仪校准通常被理解为“波长校准”。这确实是绝对必要的,每个光谱仪都必须具备它。但还有很多工作要做:暗信号校正、非线性校正、固定模式噪声(FPN) 校正和各种数据处理选项,例如Boxcar 平均。这对于有源 CMOS 探测器阵列(如Hamamatsu S11639)尤其重要,其中每个像素都充当独立探测器。批量生产的光谱仪通常只进行z低限度的校正——足以满足基本用途。每个像素的信号转换路径。有源 CMOS 探测器由独立的固定硅探测器(像素)组成,每个探测器都有自己的电容器(电荷到电压转换)和源极跟随器。钉扎硅探测器本身具有高度线性并具有相同的暗噪声。然而,独立电 ...
小点厚度测量高数值孔径目标问题严重的问题是用于确定薄膜厚度的干涉信号的对比度降低。在高数值孔径物镜中,光线在胶片中以不同角度折射(见图1),因此光线在胶片材料中的路径长度不同。这意味着它们具有不同的相位差。一旦不同的光线组合在一起并且相位叠加在探测器上,相长干涉峰/谷和相消干涉峰/谷之间的对比度就会减弱。这种影响的严重程度取决于具体的胶片叠层和数值孔径。但是,一般来说,效果随着厚度的增加而增加。图 1 大数值孔径(NA) 的小光斑测量NA 如何影响厚度测量在硅氧化物测量示例中很容易看出效果。 200nm氧化物的UVVis反射光谱(200-1000nm)的模拟如图2 所示。它显示光谱随着NA 的 ...
高功率螺旋腔量子级联超发光发射器量子级联(QC)器件在中红外中表现出潜在的超发光光源。然而,由于子带间跃迁的非辐射载流子寿命短,导致自发辐射较低,因此在QC器件中实现毫瓦的超发光(SL)功率是具有挑战性的。在2 mm长的法布里-珀罗腔中用湿蚀刻面代替一个镜面,在10 K下的峰值光功率为25 μW。光功率不足阻碍了这种光源的实际应用。虽然存在强大的宽带QC激光器,但激光引起的长相干长度会降低OCT系统中的图像分辨率。zui近,通过采用带有Si3N4抗反射涂层的圆形湿接后面和17°倾斜劈裂前面,在250 K下实现了~10 mW的峰值SL功率。然而,这些发射器的长度为8毫米,这限制了这些设备的紧凑性 ...
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