量子级联激光器-长波红外(λ>6 μm)的材料与制造封装MOCVD特别适合生长非常厚的层,通常包括在QCL结构中,需要很长的生长时间。为了得到非常尖锐的多量子阱界面,对衬底温度、界面切换机制、生长速率、V/III比等生长参数进行了迭代生长条件优化。虽然还没有完全解释,界面粗糙度肯定在QCL性能的定义中起作用。模拟和实测x射线衍射曲线对比如图1所示。测量是在用于MWIR QCL设计的InGaAs/InAlAs多层材料上进行的,生长应变分别为~ 1%的拉伸/压缩应变平衡。总的来说,需要在完整的结构中实现少量的残余应变,并且x射线图中的卫星峰需要窄才能认为材料质量好。仿真曲线与实验曲线吻合较好 ...
量子级联激光器-长波红外(λ>6 μm)的制造性能展示到目前为止,在λ = 6-8 μm范围内,已经实现了长波长的高功率(pto bbb1w)工作。当波长达到λ = 9 μm (pto = 0.5 W)时,性能显著提高,而当波长超过9 μm时,性能迅速下降。本文总结了波长为λ = 6.1 μm (QCL-A)、λ = 7.3 μm (QCL-B)、λ = 7.8 μm (QCL-C)和λ = 8.9 μm (QCL-D)的激光器的实验结果。这些器件的激光器结构基本上是相似的,包括与InP衬底相匹配的多阱InGaAs/InAlAs有源区域晶格,以及所谓的结合-连续体或等效方式的四个或更多有 ...
波长的中红外量子级联激光器(QCL Laser)、激光模组及激光管。 ...
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