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面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
二维金属卤化物钙钛矿光学表征摘要:在本文中,我们描述Iceblink超连续光源在二位金属卤化物钙钛矿光学表征中的应用。在研究 2D-MHP 的光学特性时,使用超连续激光器进行了中红外(MIR)探测测量,该激光器提供 2.2 至 4.8 μm 的宽带输出。这些具有高重复率的激光器因其快速的热响应时间而被视为连续波源。各种带通滤波器为样品选择了近红外光波长。光学斩波器控制着近红外光束的频率。在测量 10.6 μm 时,使用了连续波 CO2 气体激光器。此外,为了研究膜基结构对灵敏度的增强作用,全光学检测系统包括 Iceblink 超连续激光器和 Boreal Tunable Accessory,用 ...
拉曼在固体氧化物燃料电池性能提升中的应用引言:固体氧化物燃料电池(SOFCs)作为一种友好的发电系统,可以直接将化学能转化为电能,具有高效且低排放的优点。传统的SOFCs在600-1000℃之间运行,总是遇到很多问题,比如成本高、电池组分之间的化学反应严重、低温下界面电阻大等。 因此,目前的研究重点是将工作温度降低到600℃。然而,经过调查表明,运行温度较低(特别是在600℃)可以延缓阴极氧还原反应(ORR)动力学,降低SOFCs 的整体效率。此外,在正常情况下,含氢碳燃料的SOFCs 不可避免地会产生大量的二氧化碳,并被释放到周围的大气中。很可能是二氧化碳扩散到阴极,与呈强碱性碱土金属阳离子 ...
如晶格常数、带隙、有效质量、载流子迁移率、饱和速度和临界电场。由于这些优点,基于二维半导体的新型场效应晶体管(FETs)概念已经被提出和证明。以zui具代表性的二维半导体MoS2为例,这些晶体管原型包括超短通道(FETs)、隧道(FETs)、铁电(FETs)、负电容(FETs)、狄拉克源或冷源(FETs)、相变(FETs)、丝状(FETs)、自旋(FETs)、电子(FETs)、双极(FETs)、反双极(FETs)等。等离子体处理是一种可靠、兼容、有效的实现这些二维晶体管的特定功能,提高器件的性能方法。由电子组成,离子、激发分子和自由基、等离子体作为物质的第四态,可以通过不同的物理和化学机制与二 ...
案例分享| PPLN驱动的宽带量子合成器:实现超快压缩光脉冲源的关键突破量子技术是英国和加拿大工业战略的重要组成部分,有望彻底改变数字shi界,扩展当前成像设备的能力,并利用量子计算解决复杂计算难题以促进新药研发。宽带量子合成器(Broadband Quantum Synthesizer, BQS) 便是其中之一,旨在推进超快量子光学的前沿,其目的是开发第1个超宽带压缩光脉冲封装源,这是对下一代传感、通信和成像量子技术至关重要的工具。核心目标BQS 计划的核心是开发持续时间低于100fs的压缩光脉冲,理想情况下低于40fs,实现 >3dB 的量子噪声降低。这些“压缩”光态是纠缠的光场,其 ...
瑞士光学黑马 Optotune,液态镜头颠覆工业成像在传统光学系统中,聚焦通常依赖于机械结构推动透镜移动来实现,这种方式不仅响应速度慢,还存在诸多限制:对焦依赖于物体距离、电机系统导致整体结构庞大复杂、维护和校准成本高昂,以及机械磨损带来的寿命问题。而 Optotune凭借自主研发的可调焦液体透镜技术,彻底打破了这些瓶颈。无需机械移动,即可实现快速、精准的焦点调节,为各种需要高速对焦的应用场景带来了颠覆性解决方案。与传统光学方案相比,Optotune的液体透镜不仅彻底省去了机械移动结构,更在性能上实现了跨越式提升:• 聚焦速度可达毫秒级,满足高速动态场景需求;• 结构紧凑坚固,适应各种复杂环境 ...
德国马普高分子研究所使用Moku:Pro实现基于NV色心的磁场测量量子信息科学研究面临的zui大困难之一是量子比特系统固有的不稳定性。量子叠加态本质上是脆弱的,因为来自局部环境的任何干扰,包括热激发、机械振动或杂散电磁场,都可能对量子态的相干性产生有害影响。这些噪声环境下的量子比特往往会产生更高的错误率,而主动纠错对于任何可能实现的大规模量子计算机来说都是一个严格的要求。相比之下,量子信息科学的另一个分支领域,量子传感,旨在将这一障碍转化为优势。由于量子比特对环境参数极为敏感,这也使其具备实现高灵敏度传感器的潜力。尽管像离子阱和中性原子这样的原子系统在电磁场测量、重力测量和加速度传感等领域展现 ...
《精准量子比特控制和读取》白皮书在上篇客户案例中,我们分享了德国马普高分子研究所团队如何利用 NV 色心构建高灵敏度的磁力计,案例展示了量子比特相干稳定性在实验中的关键作用。要进一步加深理解量子比特的基本与控制方法,我们推荐您阅读新发布的白皮书《量子系统与量子比特控制》,欢迎联系昊量光电索取完整版。文章首先介绍了以二能级系统为基础的量子比特模型,说明了如何用哈密顿量和时间演化来描述其物理特性。在此基础上,白皮书引入 Bloch 球这一几何化工具,使研究者能够更直观地理解量子态的相干演化过程,以及驱动场如何在旋转参考系中对量子比特实现精确控制。白皮书第二步部分重点讨论了几类用于表征和操控量子比特 ...
看“透”工业,还得OCT!——OCT技术在工业领域的创新应用探索光学相干层析技术(Optical Coherence Tomography,OCT)是一种三维成像技术,可以在散射介质中进行高分辨率成像,成像深度达毫米级,分辨率达到微米级,可以像CT一样透视透明/半透明以及高散射产品的表面信息及内部结构,类似“光学切片”的效果。该技术被大众熟知是在眼科领域的应用,近年来也逐步被引入到工业领域。OCT技术演进史OCT发展至今,可大致分为两代:第1代:时域OCT(Time Domain OCT,TD-OCT);第二代:傅里叶域OCT(Fourier Domain OCT,FD-OCT)。TD-OCT ...
Moku+AI:如何在Moku上部署神经网络什么是Moku?Moku是由Liquid Instruments公司推出的一种软件定义的多功能测试和测量平台。Moku集成了多种传统仪器的功能,包括示波器,任意波形发生器,锁相放大器,频谱分析仪,激光稳频器等等。使得用户能够在Moku设备上完成多种测量任务,在节省空间和成本的同时提高实验效率。Moku系列产品包括多个版本,如Moku:Go、Moku:Lab、Moku:Pro、Moku:Delta,适用于不同层次的需求,覆盖从教育到高端科研和工程应用的广泛领域。zui新的Moku:Delta将输入,输出通道扩展至8个,拥有2 GHz 的模拟带宽和 高达 ...
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