激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
头借助于智能焦距跟随模块，聚焦到样品的表面并产生LIBS 信号。光谱仪经由特殊设计的时序控制电路和软件实现同步触发采集，获得LIBS光谱信息并对数据进行处理，实现针对元素含量的定量测量。工业在线LIBS 激光诱导光谱仪光谱数据采集软件具有以下功能：(1) 可控制各硬件模块协同工作，可设置光谱仪参数（积分时间、平滑像素、触发延迟等）、激光器参数（单脉冲能量、发射频率、单次/ 连续模式、启停状态等）、延时器参数（延时时间）、焦距跟随参数（调节范围、调节频率等）；(2) 可实时显示LIBS 光谱曲线、保存和导出光谱数据、上传zui终分析结果（Fe、CaO、SiO2 含量）；(3) 可对光谱数据进行预 ...
【科研级磁场测绘】从微米级敏感体积到工业级应用：SENIS MMS-2A-ROT 如何重塑磁场表征的“基准线”摘要：本文以“测量即定义”为核心理念，针对电机、无线充电及精密仪器领域，详细阐述了该产品如何通过真三维霍尔传感技术解决传统测量中的矢量失真与空间盲区痛点。内容涵盖了微米级敏感体积、高刚性旋转架构及全频谱捕捉等核心技术优势，并列举了保时捷Formula E赛车与西门子工业应用的案例，展示了其作为科研级与工业级“金标准”的实力，zui后介绍了SENIS的技术背景及其中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在现代电磁学研究与高端制造领域， “测量即定义” 。当我们谈论电机的能效极限、无线充电的耦合效 ...
磁场界的“全息透视眼”！Metrolab HallinSight®磁场相机，重新定义2026测量新标准涡旋光束的传输特性摘要：本文以“磁场界的全息透视眼”为核心隐喻，详细阐述了该产品如何通过真三维阵列传感技术，解决传统单点测量在效率与维度上的痛点。内容涵盖了其在电机研发、电磁兼容及科研领域的具体应用，强调了其“真三维同步感知”、“无插值高速测量”及“微米级几何精度”的技术壁垒，并通过对比传统特斯拉计突出了其在数据可视化与动态捕捉方面的优势，zui后介绍了Metrolab的品牌背景与中国代理商星朗浩宇的服务承诺。告别单点盲测，瑞士黑科技让磁场分布“一览无余”在电机研发的攻坚时刻，您是否还在为气隙 ...
超连续激光测量BODIPY样品的转换效率摘要：在本文中，我们简单介绍了BODIPY衍生物，并重点介绍了一种寿命测量的实验搭建和测试方法。4,4-二氟-4-硼-3a，4 -二氮-s-茚二烯（BODIPY）是在40多年前发现的，在过去的几十年里，由于其在有机半导体材料领域的潜力，其光电特性已经成为多项研究的主题。通过寿命测量和新分子的荧光猝灭来测量转化效率。自制实验装置包括共聚焦显微镜，连接时间相关单光子计数装置和APD检测器（图1）。寿命测量的佳的照明需要宽光谱范围来研究BODIPY衍生物的发射。在这个范围内，选择的选项包括FYLA超连续激光，它确保脉冲照明在MHz重复率，具有平坦的光谱覆盖从4 ...
拉曼技术速通攻略｜5 分钟掌握十二大核心研究手段（下）拉曼光谱技术凭借高灵敏度、无损检测优势，已成为材料科学、生物医药、环境监测等领域的 “核心分析工具”，但 SERS、SRS 等专业术语常让新手望而却步。作为深耕光谱技术多年的行业标杆，昊量讲堂整合自身技术沉淀与实战经验，推出拉曼技术速通攻略 —— 用通俗语言拆解核心术语帮助新手快速掌握实用研究手段。继拉曼技术快通攻略上之后，我们推出了下继续介绍拉曼相关的核心研究手段。一.位移激发拉曼差谱（SERDS）：荧光背景的 “精准减法降噪术”SERDS 技术的核心是用 “光谱减法” 破解荧光干扰难题，完美弥补共振拉曼等技术的荧光背景痛点。其原理通俗来 ...
从“弯曲的桌面”到“亚厘米精度”：一篇带你读懂SPAD阵列激光雷达的误差与补偿2025年4月，中国计量大学的研究团队系统地分析时间门控SPAD阵列激光雷达的两大核心误差源，并提出了可量化的补偿方法。实验结果令人印象深刻：补偿后误差降低超过60%，深度分辨率优于1厘米。下面，我们就来拆解其中的技术细节。一、时间门控SPAD激光雷达的工作原理在深入误差分析之前，先快速理解这个系统是怎么工作的。与传统TCSPC（时间相关单光子计数）技术不同，时间门控SPAD阵列不逐点累积光子直方图，而是通过时间门来“切片”。每个时间门是一个固定宽度的时间窗口，比如5纳秒。相机在连续的门控周期中依次打开这些窗口，每个 ...
二维材料的表征-钙钛矿摘要：在本文中，我们简单介绍了2D材料，并重点研究了二维材料钙铁矿的表征实验光路及应用介绍。（2D）材料因其杰出的化学、电学和物理特性而受到越来越多的关注。二维材料是一种主要具有二维结构特征的物质，其厚度通常在原子或纳米尺度上。这些材料由于其降低的尺寸而表现出独特的性能，例如高表面积体积比，卓越的电子，光学和机械性能。二维材料的例子包括石墨烯、过渡金属二硫化物（TMDs）如二硫化钼、六方氮化硼（h-BN）和黑磷（磷烯）。zui近，许多研究小组已经发现了2D材料和有机-无机杂化钙钛矿材料在太阳能电池应用中的协同效应。有机-无机杂化钙钛矿作为太阳能吸收剂已经引起了大家的兴趣， ...
拉曼光谱专题6 | 拉曼光谱与荧光效应当激光照射到样品上，你期待的是能揭示分子结构的拉曼光谱，得到的却是一片模糊的荧光背景 —— 这大概是每一位从事拉曼分析的科研人头疼的时刻。拉曼光谱作为物质的 “分子身份证”，能精准呈现分子振动的独特信号，但荧光效应这个 “捣蛋鬼” 常常让这张 “身份证” 变得模糊不清。今天我们就来彻底搞懂荧光效应，以及如何让你的拉曼分析告别干扰，精准高效！一、荧光效应：拉曼光谱的 “隐形干扰者”想象一下，当你用激光照射样品时，就像在黑夜里打开手电筒寻找指纹，而荧光效应却像突然亮起的霓虹灯，让真正的指纹变得难以辨认。在拉曼光谱分析中，激光与分子碰撞产生的拉曼散射信号本应是主 ...
拉曼光谱专题7 | 选对激光波长，拉曼检测事半功倍！不同样品的 “专属波长指南”做拉曼检测时，你是否遇到过这些问题：明明按步骤操作，却测不到清晰特征峰？样品被激光照完后变性损坏？荧光背景重得盖过所有信号？其实，这些问题的根源往往只有一个 —— 没选对激光波长。拉曼检测就像给样品 “拍身份证”，激光波长就是 “拍照的光线”：用错光线，再清晰的 “指纹” 也会模糊；选对光线，才能让分子特征一目了然。今天就为你拆解不同样品的 “波长适配逻辑”，更告诉你如何用昊量光电 HyperRam 全自动拉曼，一键搞定所有样品的波长难题！一、生物样品（细胞 / 蛋白质 / 组织）：785nm 近红外，温柔又高效样 ...
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