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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
拉曼光谱专题5 | 拉曼光谱 vs 红外吸收光谱：本文教你怎么选！当制药实验室需要实时分析药片成分时，当文物修复专家要无损鉴别古画颜料时，当半导体工厂需在线监控芯片质量时，科学家们总会面临一个关键选择：是用红外吸收光谱还是拉曼光谱？这两种被誉为 “分子指纹识别” 的核心技术，同属分子振动光谱范畴，却因原理差异形成截然不同的应用边界 —— 既存在互补性，也在诸多场景中呈现明确的选择区分。深入理解两者的异同，是精准匹配分析需求、提升检测效率的关键。一、原理核心：分子振动的 “两种探测逻辑”拉曼光谱与红外吸收光谱的本质差异，源于对分子振动信号的探测方式不同，这种底层逻辑的区别直接决定了两者的技术特性 ...
2109nm体布拉格光栅（Volume Bragg Grating, VBG）在半导体光刻中的应用引言：本文介绍了 2109nm 体布拉格光栅（VBG）在半导体光刻中的应用。首先介绍了 VBG 的基本原理、功能特点。重点讲述了RBG 光栅在激光波长基准源（Wavelength Reference）和光路热稳定性监测中、光刻系统滤波等方面的应用，深入分析了 2109nm VBG 在半导体光刻过程中所起的关键作用。讨论了其在提高光刻分辨率、改善光刻精度等方面的优势。同时，还列举了目前市场上主要的VBG厂商（品牌），比对了不同品牌VBG产品的优劣势，以及当前应用中面临的挑战和未来发展趋势。体布拉格光 ...
空间光调制器（SLM）在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性，在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等，其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干（秒级）、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列，完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1： 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87（⁸⁷Rb，zui主流）能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级，适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
CCD vs CMOS vs SCMOS传感器对比1.回顾 CCD、CMOS 和 sCMOS 传感器的简单指南XIMEA 产品组合提供广泛的相机，这些相机基于不同类型的传感器，如 CCD、CMOS 和zui近的 sCMOS（科学 CMOS），包括背照式版本。一般来说，传感器有多种分辨率、传感器和像素尺寸、噪声水平、帧速率和许多其他规格。不同的应用需要或强调可能相互排除的特定参数，例如，低噪声很难与快速相结合。如果您不确定哪种类型的传感器可以获得什么性能，也许以下概述可以提供一些启示。KAI系列CCD传感器2.图像传感器广泛使用的图像传感器基于这三种技术：较旧的CCD，其次是CMOS和sCMOS ...
TiePie无线示波器在汽车故障检测中的应用为什么“示波器级”诊断必不可少？在汽车维修和研发中，由于现在汽车电气系统复杂，很多问题难以察觉，急需一种能直观呈现电信号的工具。有些故障只在特定条件下出现，等检测时又没了；仅凭故障代码和经验换零件，成本高且不一定能解决问题；表面看起来是软件问题，实际是硬件干扰；想要复现故障车上出现的问题也很难做到。昊量光电推出TiePie无线示波器，能提供一套完整的汽车故障检测系统，它直接观察线路与总线上的真实电压、电流、差分/共模变化与时序耦合，从而在故障根因定位、一次修复率、误换件率三项关键指标上带来实质提升。无线示波器应用案例1. 使用加示波器和速度计进行发动 ...
超导纳米线光子数分辨探测器：开启量子通信与传感的新纪元近年来，随着量子通信、激光雷达（LiDAR）和单光子成像等技术的飞速发展，对高性能单光子探测器的需求日益迫切。特别是在光子数分辨（Photon-Number-Resolving, PNR）能力方面，传统单光子探测器存在明显短板。文中提出并验证了一种基于并行超导纳米线结构的光子数分辨探测器，为高灵敏度、高速度、低噪声的单光子探测提供了全新解决方案。一、从“有无”到“多少”：光子数分辨的技术挑战与意义传统单光子探测器（如SPAD）仅能判断“是否有光子到达”，无法区分光子数量。这在高动态范围、高背景噪声或量子态重构等应用中成为关键瓶颈。光子数分辨 ...
Moku:Lab应用于基于有机纳米步进光学致动器的可重构集成光子电路中国科学院化学所张继哲等研究团队新发表研究成果，成功研制出一种运动轨迹可编程的光致动器，用于集成光学芯片上的器件重构。该制动器由有机分子晶体组成，尺寸仅为微米量级，可以通过低功率激光远场照射的方式进行供能驱动和轨迹调控，从而在光芯片上实现直行、转弯、跨越波导运动，进一步实现对片上微结构的组装和操控。基于此，研究团队首次在光子芯片上实现了对微环谐振腔共振频率的动态、半永久性的精密调控。该研究成果以“Optically-driven organic nano-step actuator for reconfigurable pho ...
Moku:Delta在半导体测试中的应用一.简介在数字化浪潮席卷全qiu的今天，信息技术的迭代速度日益加快。其中，半导体技术作为信息产业的“基石”，支撑着从智能手机到超级计算机的所有电子设备；半导体测试是保障半导体产业高质量发展的核心环节，我公司推出的Moku:Delta是一款高度集成的测试测量仪器，凭借其模块化设计与软件定义硬件的架构，能够灵活适配半导体测试中的复杂场景。当然，在量子信息科学研究中，它提供了超高精度的信号采集与处理能力，支持从微波到光频段的多领域实验需求。本文重点讲解Moku:Delta通过与AI算法的深度融合，实现了智能化数据分析与实时反馈控制，大幅提升测试效率与准确性。二 ...
高精度特斯拉计，配有薄型高分辨率三轴霍尔探头摘要新型数字特斯拉计系统（又称高斯计）集成了三轴霍尔探头、基于旋转电流技术的模拟电子元件、24位模数转换器、计算机及7位数触摸屏显示器。该霍尔探头采用单片硅芯片设计，集成有水平/垂直方向的霍尔磁传感器和温度传感器。霍尔传感芯片封装在坚固的陶瓷外壳中，其厚度仅为250μ微米。旋转电流技术有效消除了霍尔探头偏移、低频噪声及平面霍尔电压干扰。通过基于三变量二次多项式的校准程序，消除了霍尔元件非线性误差与探头电子元件温度变化带来的影响。针对霍尔探头角度误差问题，采用探头灵敏度张量校准方案彻底消除误差。这些创新设计使新特斯拉计具备了测量1μ特斯拉至30特斯拉磁 ...
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