激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱(LIBS)方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面,当激光辐照度超过样品的击穿阈值时,少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时,等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等,整体呈电中性。当激光脉冲结束后,等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁,并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度,可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
Metrolab MFC系列 —— 磁场计量的“原子钟摘要:本文以“精准是医学物理的第1道防线”为核心,详细阐述了该产品基于脉冲波核磁共振(Pulsed Wave NMR)技术的“绝对测量”原理,强调其作为磁场计量“原子钟”的权威性。内容涵盖了±5 ppm的绝对精度、0.01 ppm的超高分辨率及对高梯度场的容忍度等核心优势,并介绍了其在MRI质控、高场NMR波谱仪及计量院等领域的应用场景与硬核参数,zui后展示了Metrolab的技术实力及中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在医学成像的微观shi界里,0.1 ppm(百万分之一)的偏差,可能意味着宏观诊断的失之毫厘。当我们谈论核磁共振成像(MR ...
钛宝石飞秒激光器波长不够用?ORIA扩展器一键覆盖340-4090nm,可按需灵活组合!一、钛宝石飞秒激光器:超快光学研究的基石钛宝石(Ti:Sapphire)飞秒激光器自上世纪80年代末问世以来,一直是超快光学领域核心的光源之一。其核心增益介质为掺钛的蓝宝石晶体(Ti³⁺:Al2O3),凭借近红外波段极宽的发射谱带(约650 nm至1100 nm),钛宝石激光器能够支持极窄的飞秒级脉冲输出,同时保持优异的光束质量。例如, Spectra-Physics公司的MAI TAI系列钛宝石飞秒激光器,可在680 nm至1080 nm的波长范围内实现调谐,输出脉冲宽度可压缩至100fs以内,重复频率通 ...
“自带AI”的超高效液相色谱仪(UHPLC)——方法开发轻松搞定!AI4S是什么?AI4S是AI for Science(人工智能驱动的科学研究)的简称。它是一种利用人工智能技术,尤其是深度学习、机器学习和大模型,来解决基础科学研究和工程领域难题的新方法。AI4S的核心目标是让AI成为高效的生产力工具,从而加速整个科学发现的过程。如今,AI4S已经被学术界广泛视为继实验、理论、计算、数据之后的第五大科研范式。超高效液相色谱仪(UHPLC)的AI4S能做什么?AI4S超高效液相色谱仪(UHPLC),通过化学领域大模型,海量分析化学领域知识、理解分析推理对话能力,对色谱条件预测、pH洗脱能力预估、 ...
拉曼在一种层控连续MoS2生长方法中的应用过渡金属二硫属化物(TMCs)具有独特的光电特性和可调谐性 ,这些特性对于场效应晶体管 、自旋电子学和光催化等应用至关重要。实现大面积、高质量的TMC结构需要对生长过程进行精确且可重复的控制。在广泛使用的技术中,采用金属和硫属元素前驱体的化学气相沉积(CVD)在促进可控且可扩展的TMC生长方面发挥着关键作用。碱卤化物熔盐已被确认为通过 CVD 生长将金属前驱体转化为各种TMCs的快速且可重复的催化剂。例如,有研究已经证明氯化钠通过气-液-固(VLS)机制促进MoS2纳米带的生长。他们还强调碱金属,而非与卤化物相比,在MoS2形成中起着更为关键的作用。z ...
锁模激光器:从原理到产品,一篇搞懂什么是锁模?想象一下这样的场景:一个音乐厅里有一百位歌手,每个人都在自顾自地唱着自己喜欢的歌,节拍、音调完全不同。这时候你听到的,只会是一片嘈杂的嗡嗡声,强度大致恒定——这就是普通连续激光器的工作状态。现在,如果给这群歌手来一位指挥,让他们全部按照同一个节拍、同一个音高、同一时刻开口唱歌,会发生什么?当一百个声音完美同步时,会在那一瞬间爆发出震耳欲聋的声浪,然后在下一个瞬间又全部安静下来。锁模激光器干的就是这件事:把激光器里原本“各唱各的”的多个频率模式,强行“指挥”到同一个步调上,让它们团结起来,周期性地产生一个巨大的能量峰值,从而输出超短激光脉冲。这个“指 ...
光伏清洁新革命!DLIP直接激光干涉图形加工器,让光伏面板告别积尘烦恼在 “双碳” 目标驱动下,光伏发电迎来规模化爆发,却也面临着一个行业痛点:光伏面板积尘带来的发电效率折损。数据显示,全qiu光伏面板因积尘每年造成 4-7% 的功率损失,仅污损成本就高达 55 亿欧元,而传统水洗方式每兆瓦光伏每年需消耗 150 万升水,在西北荒漠、中东干旱等光伏核心布局区,水资源匮乏让清洁运维难以为继。当水洗、人工擦拭、涂层自清洁等传统方案纷纷遇阻,昊量光电推出的DLIP直接激光干涉图形加工器,为光伏清洁带来颠覆性解决方案,重新定义光伏面板的长效清洁与高效发电。1.告别传统清洁痛点,激光仿生开启无涂层自清洁 ...
拉曼光谱专题6 | 拉曼光谱与荧光效应当激光照射到样品上,你期待的是能揭示分子结构的拉曼光谱,得到的却是一片模糊的荧光背景 —— 这大概是每一位从事拉曼分析的科研人头疼的时刻。拉曼光谱作为物质的 “分子身份证”,能精准呈现分子振动的独特信号,但荧光效应这个 “捣蛋鬼” 常常让这张 “身份证” 变得模糊不清。今天我们就来彻底搞懂荧光效应,以及如何让你的拉曼分析告别干扰,精准高效!一、荧光效应:拉曼光谱的 “隐形干扰者”想象一下,当你用激光照射样品时,就像在黑夜里打开手电筒寻找指纹,而荧光效应却像突然亮起的霓虹灯,让真正的指纹变得难以辨认。在拉曼光谱分析中,激光与分子碰撞产生的拉曼散射信号本应是主 ...
拉曼光谱专题7 | 选对激光波长,拉曼检测事半功倍!不同样品的 “专属波长指南”做拉曼检测时,你是否遇到过这些问题:明明按步骤操作,却测不到清晰特征峰?样品被激光照完后变性损坏?荧光背景重得盖过所有信号?其实,这些问题的根源往往只有一个 —— 没选对激光波长。拉曼检测就像给样品 “拍身份证”,激光波长就是 “拍照的光线”:用错光线,再清晰的 “指纹” 也会模糊;选对光线,才能让分子特征一目了然。今天就为你拆解不同样品的 “波长适配逻辑”,更告诉你如何用昊量光电 HyperRam 全自动拉曼,一键搞定所有样品的波长难题!一、生物样品(细胞 / 蛋白质 / 组织):785nm 近红外,温柔又高效样 ...
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