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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
单模光纤在通信领域中的重要地位摘要:单模光纤之所以在现今信息传输系统中处于主导地位,是由于单模光纤避免了多模光纤严重的本征模间色散、模噪声以及传输中的其他效应,从而使单模光纤中信号传输的速度与容量远远高于多模光纤。一、单模光纤的应用单模光纤通信技术是光纤应用技术的一个重要应用方向,它是以单模光纤技术、激光技术和光电集成技术为基础而发展起来的。单模光纤通信是以光纤作为传输媒介、光波为载频的一种通信手段。即利用近红外区域波长1000nm左右的光波作为信息的载波信号,把电话、电视、数据等电信号调制到光载波上,再通过光纤传输的一种通信方式。单模光纤做光纤通信的重要传输媒介,其重要地位不言而喻,因此了解 ...
拉曼在PEGDA-SN用于LiO2电池的固态电解质和固-固界面材料的应用引言:锂氧(Li-O2)电池因其超高的理论能量密度(3500 Wh K−1g−1)而成为未来电池系统,受到shi界范围内的广泛关注。然而,与成熟的锂离子电池系统相比,Li-O2电池仍存在电流密度低、循环稳定性差、环境适应性差等缺点,限制了其商业应用。为了解决这些问题,已经有一系列的理论和建模研究来探索Li-O2电池的反应机理,从而找到适合的电池设计方案。在具体实验方面,研究人员还通过多种方式优化了结构设计和材料工艺,以提高电池性能。典型的锂氧电池包含多孔阴极、锂金属阳极和锂离子导电电解质。电解液作为锂离子在正极之间的传递通 ...
拉曼在电化学剥离二硫化钼薄膜的喷墨印刷大面积柔性光电探测器件阵列中的应用摘要:尽管在过去的几年中已经报道了各种基于MoS2的光电探测器,但由于MoS2薄膜的低产量和低质量,用于光电成像的大面积光电探测器阵列的控制制造仍然是一个主要挑战,本文首次展示了一种基于叠层二硫化钼纳米片的高性能喷墨打印柔性光电探测器阵列。将季铵离子插入MoS2体中,得到2H相MoS2纳米片。在室温下,喷墨打印光电探测器的响应率为552.5AW-1, 探测率为1.19×10 12 Jones,快速响应时间为23ms,恢复时间为26ms,具有优异的性能。 此外,成功构建了85像素/英寸的光电探测器阵列,并清晰地识别了字母“T ...
拉曼在二维材料Bi2O2Te光电探测器的应用引言:自从2D Bi2O2Se材料合成报道以来,研究发现该材料不同于传统的范德华2D层状结构,因为其层通过相对较弱的静电力保持在一起。重要的是,通过化学气相沉积(CVD)方法制备2D Bi2O2Se纳米片显示出>20000 cm2V−1s−1的超高霍尔迁移率值和约0.8 ev的带隙能量,由于量子限制效应,其强烈依赖于膜厚度。这导致了相关研究工作者对二维氧氯铋(Bi2O2X:X=S,Se,Te)族的研究兴趣的增加。然而,迄今为止,很少研究2D Bi2O2Te,它是Bi2O2Se的表亲材料,由具有I4/mmm空间群(a=3.98Å,c=12.70Å ...
拉曼在聚(3,4-乙烯二氧噻吩)和氧化石墨烯复合薄膜作为钙钛矿太阳能电池的空穴传输层中的应用摘要:降低有机-无机杂化钙钛矿太阳能电池(PSCs)的成本和稳定性对于工业应用具有重要意义。常用的空穴传输材料(HTMs)如Spiro-OMeTAD、聚双(4-苯基)(2,4,6-三甲基苯基)胺(PTAA)和聚(3-己基噻吩2,5-二基)(P3HT)是非常昂贵的。在这里,3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT)单体被原位聚合在氧化石墨烯(GO)表面作为PEDOT-GO薄膜。与常用的聚苯乙烯磺酸(PSS)相比,氧化石墨烯避免了钙钛矿的腐蚀和H2O溶剂的使用。复合PEDOT-GO薄膜位于碳对电极和钙钛矿层之间,为空 ...
拉曼在利用在纯水中环保大规模生产MoS2薄片来改善摩擦纳米发电机的性能中的应用引言:自2012年有研究人员开发出摩擦电纳米发电机(TENG)以来,TENG通过两种不同材料之间的静电充电和静电感应耦合过程发电,TENGs一直被认为是在自然界中很有前途的收集机械能的技术。静电充电,特别是摩擦电充电,由于电子在两个接触表面之间转移,两种材料在接触时表现出不同的极性。由于接触材料趋于平衡其费米能级,电子从具有较低功函数的材料(电子供体)流向具有较高功函数的材料(电子受体)。当接触表面达到平衡状态时,电子供体带正电,而电子受体带负电。在这个阶段,这两种材料的分离导致电子受体中残留电子。在TENGs中,残 ...
拉曼在添加二氧化硅气凝胶对暴露于不同环境的CNT嵌入式水泥基传感器的电学和压阻式传感稳定性的影响中的应用引言:水泥基材料通常用于建筑,但当暴露于不同的环境因素时,它们会产生裂缝。因此,人们采用了各种监测这些材料结构健康状况的方法,并统称为SHM 。近年来,研究人员通过在水泥基材料中添加导电材料,利用导电水泥复合材料的开发了水泥基传感器。这些传感器已被建议用于 SHM。这些水泥基传感器与土木结构的兼容性及其经济性使其在建筑领域具有广阔的应用前景。有人通过添加1.0 wt%的石墨烯来制造石墨烯/水泥基传感器,当给其施加5 MPa的压缩应力时,电阻(FCR)的分数变化约为8%。有人通过加入0.5%的 ...
拉曼在通过促进氧功能化石墨烯夹层的空穴迁移来改善有机光电器件性能的应用引言:聚(3,4-乙烯二氧噻吩聚苯乙烯磺酸酯)(PEDOT:PSS)因其具有有利偶极子形成、可调能态和高效空穴迁移的出色性能,被广泛用作各种具有多层结构的有机光电器件中的空穴传输层(HTL)。然而,PSS的酸性会导致重金属成分从透明导电氧化物衬底(即氧化铟锡)中溶解,从而降低有机活性层的光伏性能。因此,从PEDOT: PSS与有机活性层之间的界面中分离出酸性PSS,可以有效地解决器件的不稳定性问题。由于PEDOT 和 PSS 之间存在静电相互作用,因此通常会在 PEDOT:PSS HTL 中添加掺杂剂或溶剂,以操纵它们的键合 ...
拉曼在一种高效析氢反应和超级电容器电极材料中的应用引言:多孔金属在催化、传感、储能和转化中具有至关重要的作用,因为它们具有高比表面积、尺寸效应增强的催化活性和优异的导电性。多孔金属的制备有着悠久的历史。在过去的很长一段时间里,人们提出了各种制备方法来制造直径为毫米的较大孔径的多孔金属,包括气相沉积、在液态金属中用气体直接发泡、压力铸造等。相反,对于按微米/纳米尺度缩放的多孔金属,由于难以控制具有良好空间分布的多孔均匀性,因此制备方法受到限制。通常,有两种主要方法可以制备孔径较小的金属:模板法,将金属沉积到已备好的具有预期多孔结构的模板上,然后移除该模板;去合金化,即设计合金前驱体,然后从合金中 ...
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