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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
二维金属卤化物钙钛矿光学表征摘要:在本文中,我们描述Iceblink超连续光源在二位金属卤化物钙钛矿光学表征中的应用。在研究 2D-MHP 的光学特性时,使用超连续激光器进行了中红外(MIR)探测测量,该激光器提供 2.2 至 4.8 μm 的宽带输出。这些具有高重复率的激光器因其快速的热响应时间而被视为连续波源。各种带通滤波器为样品选择了近红外光波长。光学斩波器控制着近红外光束的频率。在测量 10.6 μm 时,使用了连续波 CO2 气体激光器。此外,为了研究膜基结构对灵敏度的增强作用,全光学检测系统包括 Iceblink 超连续激光器和 Boreal Tunable Accessory,用 ...
案例分享|基于Sagnac-PPLN的宽光谱偏振纠缠光子源在之前的文章《案例分享|聚焦PPLN:1.48GHz通信波段纠缠光子源的技术创新与商业价值》,我们分享了英国Covesion公司展示的基于MgO:PPLN波导的纠缠光子演示装置(如下图)。在Stage 1中通过PPLN波导高效倍频产生780nm激光。在Stage 2中,将Type-0型PPLN波导置于一个萨格纳克(Sagnac)干涉仪配置中,通过自发参量下转换(SPDC)产生纠缠光子对,并转换为偏振纠缠自由度。对于PPLN来说,Type-0准相位匹配(QPM)可以利用铌酸锂晶体的Max非线性系数(d33),能够实现高效的波长转换。SPD ...
重构测试 智变升级|全新一代智能测控平台Moku:Delta发布!Liquid Instruments 推出第四代智能测控平台#Moku:Delta,延续并升级了 Moku 系列一贯的“软件定义 + 硬件可重构”设计理念,结合2GHz 瞬时带宽、超低噪声和高分辨率前端设计,实现强大的混合信号分析能力,助力用户加速产品设计与验证流程。为科研与工业领域应用提供更加高效、精准、智能的一体化测试测量解决方案。测试精度全面提升Moku:Delta搭载Xilinx® UltraScale+RFSoC FPGA,配备 14 位与 20 位 8 通道 2 GHz模拟输入、14 位 8 通道 2 GHz 模拟输 ...
Phasics大口径激光测试解决方案-KALAS系统一、大口径激光波前监测的核心技术瓶颈与行业痛点➢环境适应性缺陷·复杂现场(如大科学装置、空间通信)下,系统部署与维护成本高昂1.大科学装置(如guo家点火装置)中,空气湍流与机械振动导致传统干涉仪信噪比骤降50%以上,需额外隔振与温控投入。2.空间通信场景下,大气扰动与热漂移使传统传感器的波前重构误差增加。➢多参数异步的调试困局·多参数同步监测难:波前、强度、M²等关键数据无法一体化输出。1.波前畸变与强度分布的非同步测量,会导致激光远场焦斑能量集中度(环围能量比)计算偏差,影响“进洞能力”量化评估。➢闭环控制不足·动态闭环控制不足:调试效率 ...
用角分辨光谱法表征极化子摘要:在本文中,我们描述Iceblink超连续光源在用角分辨光谱法表征极化子技术中的应用。在这种技术中,样品被光击中并射出一个电子。通过测量该电子的发射角度和动能,研究人员可以看到由于能量状态不同而导致的上下极化子数量的差异。用于该技术的装置由光源(根据需要的测量变化的激光器),将光聚焦到样品中的物镜,二向镜(因为样品的发射来自同一物镜)和用于测量电子特性的光谱仪组成[图1]。图1:角度分辨光谱的设置在这种类型的技术中很常见,根据所使用的光源,您可以看到样品的不同方面。在这个特殊的实验中,在不同的样品中使用了许多光源,以确保完全理解改变腔的Q系数的影响;但其中用途zui ...
时域近红外光谱仪在固体模型与临床的应用固体模型(solid phantoms)是一种用于模拟生物组织光学特性的人造材料,广泛应用于扩散光子学实验领域。它们通过精确控制吸收和散射系数,能够模拟真实组织的光学行为,为仪器校准、实验室间比较研究、工业标准制定以及多中心临床试验提供重要支持。通过分析组织样固体模型的吸收系数和约化散射系数来衡量固体模型的光学特性,进而研究不同固体模型的复现性,是一种可行的技术手段。在人脑临床实验中,血氧相关的脑功能检测非常重要。通过实验的方法对大脑在传输特定波长光时的吸收系数和约化散射系数进行获取后,可以通过数据处理算法来获得HHb和O2Hb的含量进而算出大脑的血氧含量 ...
拉曼在固体氧化物燃料电池性能提升中的应用引言:固体氧化物燃料电池(SOFCs)作为一种友好的发电系统,可以直接将化学能转化为电能,具有高效且低排放的优点。传统的SOFCs在600-1000℃之间运行,总是遇到很多问题,比如成本高、电池组分之间的化学反应严重、低温下界面电阻大等。 因此,目前的研究重点是将工作温度降低到600℃。然而,经过调查表明,运行温度较低(特别是在600℃)可以延缓阴极氧还原反应(ORR)动力学,降低SOFCs 的整体效率。此外,在正常情况下,含氢碳燃料的SOFCs 不可避免地会产生大量的二氧化碳,并被释放到周围的大气中。很可能是二氧化碳扩散到阴极,与呈强碱性碱土金属阳离子 ...
案例分享| PPLN驱动的宽带量子合成器:实现超快压缩光脉冲源的关键突破量子技术是英国和加拿大工业战略的重要组成部分,有望彻底改变数字shi界,扩展当前成像设备的能力,并利用量子计算解决复杂计算难题以促进新药研发。宽带量子合成器(Broadband Quantum Synthesizer, BQS) 便是其中之一,旨在推进超快量子光学的前沿,其目的是开发第1个超宽带压缩光脉冲封装源,这是对下一代传感、通信和成像量子技术至关重要的工具。核心目标BQS 计划的核心是开发持续时间低于100fs的压缩光脉冲,理想情况下低于40fs,实现 >3dB 的量子噪声降低。这些“压缩”光态是纠缠的光场,其 ...
德国马普高分子研究所使用Moku:Pro实现基于NV色心的磁场测量量子信息科学研究面临的zui大困难之一是量子比特系统固有的不稳定性。量子叠加态本质上是脆弱的,因为来自局部环境的任何干扰,包括热激发、机械振动或杂散电磁场,都可能对量子态的相干性产生有害影响。这些噪声环境下的量子比特往往会产生更高的错误率,而主动纠错对于任何可能实现的大规模量子计算机来说都是一个严格的要求。相比之下,量子信息科学的另一个分支领域,量子传感,旨在将这一障碍转化为优势。由于量子比特对环境参数极为敏感,这也使其具备实现高灵敏度传感器的潜力。尽管像离子阱和中性原子这样的原子系统在电磁场测量、重力测量和加速度传感等领域展现 ...
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