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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
利用波长可调量子级联激光器对痕量化学物质表面进行高速和大面积扫描如图1所示，波长可调的MIR激光器照亮感兴趣的目标，反射光被相机捕获。随着激光波长的调整，相机同步捕捉反射光的图像。对原始超立方体进行处理以校正背景热辐射和照明激光束的强度模式，以生成代表目标表面反射率的超立方体。然后对反射超立方体进行分析，并与光谱特征参考库进行比较，以生成检测图，该检测图可以识别目标表面上的任何化学污染并绘制空间图。如图所示，也可以检测到可能存在于光束路径中的气体的存在。图1图2外腔量子级联激光器(ec - qcl)用于对目标的照明。这些都是基于Block Engineering的Mini-QCL™，如图2所示 ...
OCT在无损检测中的应用举例光学断层扫描成像（OCT）利用红外光提供表面轮廓和次表面结构及均匀性的信息，提供比超声波检测更高的分辨率和更快的图像速度。该新型无损检测（NDT）技术无需接触或耦合介质，能够实时提供精确的信息，用于现场过程反馈和成品的高通量质量控制。光学断层扫描成像（OCT）在无损检测中的主要优势为：高分辨率：2.6-10.0 µm视频速率采集：每秒30张图像成像深度：高达5.8 mm非接触和非侵入性无需耦合介质3D成像和尺寸分析光学断层扫描成像（OCT）可检测的典型 材料所有介电材料涂料、玻璃、薄膜、涂层聚合物、硅胶、橡胶塑料（较浅深度，约2 mm）金属（仅表面特征）OCT在无损 ...
搭建光学相干断层扫描（OCT）系统您需要知道光学相干断层扫描（OCT）系统的搭建需要光学和机械、信号和图像处理等背景知识、一定的编程能力、以及大量的时间投入。使用现成的OCT光谱仪作为起始组件可以大大加快和简化这一过程，并提高收集到的图像的质量，在这篇技术说明中，我们将向您介绍搭建光学相干断层扫描系统的一些关键原理和光路，并分享我们技术专家的一些建议，希望对您的DIY OCT系统能起到一些有益的帮助。一、光学相干断层扫描（OCT）简介光学相干断层扫描（Optical Coherence Tomography, OCT）是一种非破坏性的3D成像技术，已广泛应用于眼科、心脏病学、动物实验和研究等医 ...
使用800nm OCT光谱仪实现超深OCT成像传统上，OCT成像需要使用更长的波长来探测单次扫描中超过几毫米的深度，但波长超过1100nm之后，就需要使用InGaAs探测器相机作为探测元件了，这是的整个OCT光谱仪的成本大幅增加。为此，美国Wasatch公司开发了一种拥有独特光谱仪设计，使其能够使用800 nm OCT光谱仪实现高达12毫米的成像深度，为长距离成像在眼科、医学和无损检测中的经济高效应用开辟了新可能。在眼科中，长距离成像有利于对整个前房（从角膜到晶状体）的检查，因为它允许在更短的时间内获得更完整的眼睛图像。如果配置得当，它甚至可以用于对整个眼睛进行成像。它还促进了视网膜的广域成像 ...
通过高光谱解密 (CIGS) 模块中引发的功率损耗的起源（一）高光谱成像仪（IMA；Photon Etc. Inc.）由一个光学显微镜与连续波（CW）激光器、宽带照明光源和基于体布拉格光栅（VBG）的高光谱滤光器组成。该系统的波长范围可以在400至1000nm之间连续调谐。IMA提供光谱和空间分辨的发光、反射和透射图像，光谱分辨率小于2nm，空间分辨率约为1μm（衍射极限）。CIGS模块使用532nm激光器均匀激发，光学和光致发光（PL）图像使用基于硅的电荷耦合器件（Si CCD）相机获取。布拉格光栅技术设用于全局成像，允许在显微镜下逐波长获取整个视野内的信号。传统的荧光（PL）成像设置基于逐 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建（三十一）- 单波长实时监测同样选择-0.4mA作为沉积电流，然后进行椭偏仪的单波长实时在位测量，测量角度65°，测量波长380nm。图4-24是沉积1080s后进行SEM测试得到的薄膜表面形貌图，在1μm标尺下看到沉积的薄膜颗粒大小不等，小到几纳米大到几百纳米，形态上为不规则棱柱状。和前面准在位监测沉积1080s的对比发现此处得到的薄膜小颗粒更少，岛状更加明显。图4-24-0.4mA连续沉积1080s后的SEM图把上节层状生长得到的平均生长速率和岛状生长得到的厚度时间关系计算得到相应厚度和时间的变化如图4-24(a)所示。利用两个不同厚度随时间的变化和沉积1 ...
气体检测实验装置概述实验装置的示意图概述如图1所示。它的主要组成部分是:一个激光源、一个增强吸收的多通腔和两个监测激光强度和测量多通腔后吸收信号的探测器。用与激光共对准的可见光激光测距仪(徕卡DISTO D2)作为导光束，测量多通腔内的相互作用距离。图1激光源是Block Engineering的LaserScope单元的一部分。它由两个协同排列的可调qcl组成。一个QCL覆盖21250px−1~ 25250px−1区域，第二个QCL辐射25250px−1~ 31250px−1区域。qcl使用Littrow配置中的衍射光栅与反向提取来调整波数。光栅的角度位置由压电元件控制。因此，发射波数是用施 ...
薄膜铌酸锂电场传感器（本文译自Thin film lithium niobate electric fieldsensors（Seyfollah Toroghi ,Payam Rabieia)）1介绍电光电场(E-field)传感器在许多应用中都需要，例如天线近场表征，太赫兹信号检测，加速器中的带电粒子束表征，电网监测，和射频消融手术。电光方法是测量电场的zui佳方法之一，电场会导致电光晶体的折射率变化。然后可以用精确的测量设备检测到这种变化。由于电光材料是一种介电材料，它不会干扰或散射电磁场。此外，由于光纤电缆用于传输信号，任何附加的布线都不会吸收噪音，因此，探头可以在非常嘈杂的环境中使用， ...
薄膜铌酸锂电光太赫兹传感器本文译自Thin‑film lithium niobate electro‑optic terahertz wave detector（Ingrid Wilke, Jackson Monahan, Seyfollah Toroghi, Payam Rabiei & George Hine )）亚皮秒太赫兹频率电磁辐射脉冲的自由空间电光采样对于时域太赫兹波谱学、时域太赫兹成像、光子时间拉伸测量、近场太赫兹波显微镜和时域太赫兹量子光学具有重要意义。测量方式需要0.1-10THz带宽的电光检测方案，太赫兹波谱和成像的检测阈值为~ 1V/cm，加速器和非线性太赫兹波谱 ...
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