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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
拉曼在利用等离子体修饰改性二维材料中的应用引言：随着三维（3D）硅基互补金属氧化物半导体（CMOS）技术接近通道长度的小型化限制，二维半导体如过渡金属二卤化合物（TMDs，如二硫化钼和WSe2）、金属单硫化合物（MMC，如 InSe和GeSe）、元素半导体（如硅、锗和磷）和金属氧化物（MO，如氧化铜和氧化亚锡）被认为是下一代节能纳米电子的前途性通道材料。与此同时，随着越来越多的二维材料被发现，这些丰富多样的层状材料家族具有与硅相当或优越的电子特性，如晶格常数、带隙、有效质量、载流子迁移率、饱和速度和临界电场。由于这些优点，基于二维半导体的新型场效应晶体管（FETs）概念已经被提出和证明。以zu ...
Moku 集成式量子测控：软件定义仪器赋能量子传感与量子计量随着量子科学的快速发展，原子系统在时间、频率与场强等物理量测量中所展现的优异精度与稳定性越来越受到研究人员的重视。从基础物理的研究，到导航、通信等应用，基于原子系统的量子传感与计量正逐步成为推动科研和工程前沿的“精密引擎”。然而，从理论到实践并非易事：激光频率漂移、系统固有噪声、时序误差以及测试测量设备间的不同步，常常限制着实验性能的上限。本文聚焦于如何利用原子系统实现高精度量子传感与计量，并系统性探讨相关领域所面临的核心技术挑战以及对测试测量设备的需求。我们进一步展示了 Moku这种基于 FPGA 的测控一体化设备如何通过高集成度、 ...
为高功率CO₂激光器应用选择合适的调制器——AOM VS EOM在快速发展的微电子制造领域，对过孔钻孔的更高生产效率和精度的需求从未如此之大。这转化为市场对更复杂制造工具的需求，例如高精度声光调制器（AOM）和电光调制器（EOM）。在这两种类别之间的选择完全取决于应用以及对您系统而言关键的性能参数。Gooch & Housego（下文中简称G&H）是AOM和EOM解决方案的供应商，确保客户能为他们的高功率CO₂激光器应用选择z佳技术，无论是使用EOM进行强力切割和钻孔，还是使用AOM进行高速、精密钻孔。了解过孔钻孔过孔钻孔是印刷电路板（PCB）制造中的一个关键工艺，通过在板上创 ...
案例分享|"鬼光谱"突破高光谱取舍：PPKTP量子成像方案高光谱成像一直有个让人头疼的矛盾：想要光谱分辨率，就得牺牲空间分辨率，或者反之。而在量子成像领域，基于纠缠光子对“鬼成像”已展现出突破传统光学探测边界的潜力。而当量子关联从空间维度延伸至光谱 — 时间维度，高光谱成像也迎来了新的技术路线。近期，来自加拿大guo家研究委员会的研究团队提出一种量子关联高光谱成像技术（QCHSI）。该方案利用PPKTP晶体通过自发参量下转换（SPDC）产生高质量纠缠光子对，将量子鬼成像的关联测量思想与快照式高光谱成像结合，在不显著牺牲空间分辨率的前提下，实现了单光子级、高效率的快照高光谱成 ...
看激光指向稳定系统，是如何大幅提高龙门系统激光加工的精度！激光加工作为一种无接触式加工，以其可控性好、加工效率高、材料损耗低等特点，在与传统加工方式的比较中脱颖而出，成为很多人的选择，常见的有激光切割和激光焊接。目前振镜或焊接头与龙门系统架相结合是常见的激光加工组合方案。在加工过程中，焊接头随龙门架移动或振镜扫描，促使激光在靶面移动，进而实现高精度的激光切割或焊接操作。然而，随着机器规模增大，光束路径延长，在加工过程中会出现机械结构件的膨胀、龙门系统的振动以及导轨平行度以及空气扰动，这使得要实现微米甚至亚微米精度的控制愈发困难。在科学研究应用中，虽可采用封闭或抽真空束线管规避空气波动，但在龙门 ...
AI 智能重构测试测量平台，Moku:Delta集成业内首创“生成式仪器”Moku:Delta是Liquid Instruments新发布的智能测控硬件平台，具备2GHz 瞬时带宽、超低底噪和高分辨率的模拟前端设计，实现强大的混合信号分析能力，加速产品与设计与验证流程。基于“软件定义+硬件可重构”的平台架构，Liquid Instruments 新发布业内首创的“生成式仪器技术（Generative Instrumentation）”集成到Moku硬件测试平台，将人工智能（AI）引入测试测量领域，全面加速自动化测试流程。生成式仪器将彻底改变工程师与仪器之间的交互方式，在Moku平台工程师能够使 ...
Phasics大口径激光测试解决方案-KALAS系统一、大口径激光波前监测的核心技术瓶颈与行业痛点➢环境适应性缺陷·复杂现场（如大科学装置、空间通信）下，系统部署与维护成本高昂1.大科学装置（如guo家点火装置）中，空气湍流与机械振动导致传统干涉仪信噪比骤降50%以上，需额外隔振与温控投入。2.空间通信场景下，大气扰动与热漂移使传统传感器的波前重构误差增加。➢多参数异步的调试困局·多参数同步监测难：波前、强度、M²等关键数据无法一体化输出。1.波前畸变与强度分布的非同步测量，会导致激光远场焦斑能量集中度（环围能量比）计算偏差，影响“进洞能力”量化评估。➢闭环控制不足·动态闭环控制不足：调试效率 ...
原子磁力计的应用及进展引言人类对磁场的认识始于公元前6世纪，希腊哲学家泰勒斯发现摩擦后的琥珀可吸引轻小物体，及天然磁石可吸铁的现象，这一发现标志着人类对电的和磁的初步认识。随着人们对磁场的不断认识和学习，磁场测量设备也不断更新迭代，如从早期基于电磁感应原理的传统磁力计，到如今具有高精度的原子、量子磁力计。弱磁测量设备主要包括磁通门磁力计、超导量子干涉仪（superconducting quantum interference device，SQUID）和原子磁力计等。磁通门磁力计因其几何结构，分辨率一般只能达到纳特斯拉量级。SQUID具有高灵敏度的特点，但需要液氮杜瓦瓶来保持低温，体积较大且成 ...
用角分辨光谱法表征极化子摘要：在本文中，我们描述Iceblink超连续光源在用角分辨光谱法表征极化子技术中的应用。在这种技术中，样品被光击中并射出一个电子。通过测量该电子的发射角度和动能，研究人员可以看到由于能量状态不同而导致的上下极化子数量的差异。用于该技术的装置由光源（根据需要的测量变化的激光器），将光聚焦到样品中的物镜，二向镜（因为样品的发射来自同一物镜）和用于测量电子特性的光谱仪组成[图1]。图1：角度分辨光谱的设置在这种类型的技术中很常见，根据所使用的光源，您可以看到样品的不同方面。在这个特殊的实验中，在不同的样品中使用了许多光源，以确保完全理解改变腔的Q系数的影响；但其中用途zui ...
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