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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
突破光影极限:SPAD相机如何重塑低光与高速成像的未来一.简介单光子雪崩二极管(SPAD)与电子倍增电荷耦合器件(EMCCD)相机是成像领域的两项重要技术,各自具备适合特定应用场景的独特优势。EMCCD相机因其低暗电流特性及弱信号放大能力而备受关注,而SPAD则具有极高的读出速度并能探测单个光子,使其成为弱光与高速应用场景的理想选择。理解二者的差异与优势对选择合适工具至关重要。除卓越的弱光成像能力外,SPAD还具备EMCCD技术无法实现的高动态范围与高速成像特性。特别值得一提的是,SPAD 512配备的时间门控功能可用于研究荧光寿命成像(FLIM)等时变信号,通过时间特征实现分子识别。这些应用 ...
拉曼在利用等离子体修饰改性二维材料中的应用引言:随着三维(3D)硅基互补金属氧化物半导体(CMOS)技术接近通道长度的小型化限制,二维半导体如过渡金属二卤化合物(TMDs,如二硫化钼和WSe2)、金属单硫化合物(MMC,如 InSe和GeSe)、元素半导体(如硅、锗和磷)和金属氧化物(MO,如氧化铜和氧化亚锡)被认为是下一代节能纳米电子的前途性通道材料。与此同时,随着越来越多的二维材料被发现,这些丰富多样的层状材料家族具有与硅相当或优越的电子特性,如晶格常数、带隙、有效质量、载流子迁移率、饱和速度和临界电场。由于这些优点,基于二维半导体的新型场效应晶体管(FETs)概念已经被提出和证明。以zu ...
Cinogy光束分析仪-为激光束做一次全面的“体检”1、什么是光束分析仪?光束分析仪(光斑分析仪、光束轮廓仪)可以用于对激光束的特性进行诊断分析,其不仅可以测量光斑的能量分布,也可以测量激光束的具体形状。在实际的激光应用中,设计再好的谐振腔也无法准确预测周围环境(比如温度、振动等)对光束特性的影响,因此在使用过程中,使用光束分析仪对光斑进行检测显得尤为必要。常见的测量方式有两种,即相机式的光束分析仪和扫描式的光束分析仪。相机式光束分析仪通过二维光学传感器一次性测量整个光束,可以高效地测量光斑,同时也可以测量连续光和脉冲光。而扫描式光束分析仪则是通过单个光电探测器一次测量激光的强度,再通过拟合计 ...
案例分享| PPLN驱动的宽带量子合成器:实现超快压缩光脉冲源的关键突破量子技术是英国和加拿大工业战略的重要组成部分,有望彻底改变数字shi界,扩展当前成像设备的能力,并利用量子计算解决复杂计算难题以促进新药研发。宽带量子合成器(Broadband Quantum Synthesizer, BQS) 便是其中之一,旨在推进超快量子光学的前沿,其目的是开发第1个超宽带压缩光脉冲封装源,这是对下一代传感、通信和成像量子技术至关重要的工具。核心目标BQS 计划的核心是开发持续时间低于100fs的压缩光脉冲,理想情况下低于40fs,实现 >3dB 的量子噪声降低。这些“压缩”光态是纠缠的光场,其 ...
瑞士光学黑马 Optotune,液态镜头颠覆工业成像在传统光学系统中,聚焦通常依赖于机械结构推动透镜移动来实现,这种方式不仅响应速度慢,还存在诸多限制:对焦依赖于物体距离、电机系统导致整体结构庞大复杂、维护和校准成本高昂,以及机械磨损带来的寿命问题。而 Optotune凭借自主研发的可调焦液体透镜技术,彻底打破了这些瓶颈。无需机械移动,即可实现快速、精准的焦点调节,为各种需要高速对焦的应用场景带来了颠覆性解决方案。与传统光学方案相比,Optotune的液体透镜不仅彻底省去了机械移动结构,更在性能上实现了跨越式提升:• 聚焦速度可达毫秒级,满足高速动态场景需求;• 结构紧凑坚固,适应各种复杂环境 ...
案例分享|"鬼光谱"突破高光谱取舍:PPKTP量子成像方案高光谱成像一直有个让人头疼的矛盾:想要光谱分辨率,就得牺牲空间分辨率,或者反之。而在量子成像领域,基于纠缠光子对“鬼成像”已展现出突破传统光学探测边界的潜力。而当量子关联从空间维度延伸至光谱 — 时间维度,高光谱成像也迎来了新的技术路线。近期,来自加拿大guo家研究委员会的研究团队提出一种量子关联高光谱成像技术(QCHSI)。该方案利用PPKTP晶体通过自发参量下转换(SPDC)产生高质量纠缠光子对,将量子鬼成像的关联测量思想与快照式高光谱成像结合,在不显著牺牲空间分辨率的前提下,实现了单光子级、高效率的快照高光谱成 ...
《精准量子比特控制和读取》白皮书在上篇客户案例中,我们分享了德国马普高分子研究所团队如何利用 NV 色心构建高灵敏度的磁力计,案例展示了量子比特相干稳定性在实验中的关键作用。要进一步加深理解量子比特的基本与控制方法,我们推荐您阅读新发布的白皮书《量子系统与量子比特控制》,欢迎联系昊量光电索取完整版。文章首先介绍了以二能级系统为基础的量子比特模型,说明了如何用哈密顿量和时间演化来描述其物理特性。在此基础上,白皮书引入 Bloch 球这一几何化工具,使研究者能够更直观地理解量子态的相干演化过程,以及驱动场如何在旋转参考系中对量子比特实现精确控制。白皮书第二步部分重点讨论了几类用于表征和操控量子比特 ...
看“透”工业,还得OCT!——OCT技术在工业领域的创新应用探索光学相干层析技术(Optical Coherence Tomography,OCT)是一种三维成像技术,可以在散射介质中进行高分辨率成像,成像深度达毫米级,分辨率达到微米级,可以像CT一样透视透明/半透明以及高散射产品的表面信息及内部结构,类似“光学切片”的效果。该技术被大众熟知是在眼科领域的应用,近年来也逐步被引入到工业领域。OCT技术演进史OCT发展至今,可大致分为两代:第1代:时域OCT(Time Domain OCT,TD-OCT);第二代:傅里叶域OCT(Fourier Domain OCT,FD-OCT)。TD-OCT ...
Lumencor RETRA:专业高功率钙离子比率成像光源细胞内的钙离子成像是细胞生物学、神经学和相关领域的重要技术之一。Ca²⁺作为细胞内重要的第二信使,本身在各种细胞内生理过程中就起到着关键作用,例如细胞分裂与增值、信号传导以及凋亡与坏死等等。而荧光染料的使用是研究单个神经元和胶质细胞内钙动力学的有效和流行的工具。通过使用化学荧光指示剂或荧光蛋白指示剂,来检测细胞内Ca2+浓度的变化。当这些指示剂与Ca2+结合后,会改变其荧光特性(荧光增强、光谱位移),进而通过显微镜被观察到,从而间接反映细胞的活动状态,提示神经元活动。而为钙离子成像选择光源时,除了根据Ca2+指示剂所需的激发波长,例如F ...
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