光谱过滤器。单色光的使用是深度选择性克尔显微镜的先决条件。水银灯的缺点是不稳定,寿命短。更稳定的是氙弧灯,它提供的白光密度只有汞灯的四分之一。如果用高灵敏度的摄像机来补偿光线不足,这仍然是足够的。宽视场显微镜的激光照明是有问题的:激光的相干性导致衍射图案(散斑),这是由于光学器件表面和污垢颗粒的干扰。这种伪影可能比任何磁光对比度都要强几个数量级,消除这种伪影需要特殊的去斑点方法。然而,令人满意的结果与激光照明显微镜只有在多帧累积图像,其中残余的激光效应得到充分平均。高强度发光二极管(led)是未来应用前景广阔的光源。它们提供高稳定性的单色光,并且已经达到了适合磁光学显微镜的强度。将一组led直 ...
:提供稳定的单色光或准单色光。2.准直系统:将光源发出的光变成平行光束。3.分束器:将光束分为参考光束和测试光束。4.标准平面或球面:作为参考表面,与被测表面形成干涉。5.被测光学元件:待测量的光学表面。6.成像系统:用于观察和记录干涉条纹。菲索干涉仪的应用非常广泛,它可以用于检测透明平行平板的光学厚度均匀性,也可以用于测量球面的面形和曲率半径。此外,菲索干涉仪还可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。菲索干涉仪的测量精度通常可以达到光波长的十分之一到百分之一。在光学元件加工过程中,菲索干涉仪可以用来检查和测量光学元件的光学表面质量,如平面度及其局部缺陷与误差等。菲索干涉仪的一个关键特点是它采 ...
过程:激光是单色光,强度高、相干性和方向性好,通过一系列光学系统,可将激光聚焦成光斑直径到几微米,能量密度高达102-106W/cm2,激光打孔利用高能激光束精准照射到材料表面,通过光能迅速转化为热能,使被照射区域的材料瞬间达到熔化或汽化的温度,能产生上万摄氏度的高温,并能在十分之几秒甚至更短的时间内使任何可熔化、蒸发、汽化而达到加工目的。随着材料的物理状态改变,形成微小的孔洞。这一过程可通过控制激光的功率、脉冲持续时间聚焦精度来调节孔的大小和深度,实现高精度和高效率的打孔效果。激光加工过程大体分为4个阶段:(1)激光束照射工件材料,工件材料吸收光能;(2)光能转变为热能使工件材料无损加热;( ...
曼效应”,当单色光在气体、透明液体和固体中照射时,散射光中的波长略有不同。使用这种现象分析拉曼光谱可以获得有关材料结构的信息。在 CVD 腔室中安装 In-situ 拉曼,就可以在形成薄膜的腔室中实时分析薄膜材料的浓度、晶体结构、结晶性等性能。此外,还可以检验化学沉积过程中所需的化合物气体、反应气体、薄膜生长温度、生长时间等工艺条件,以找到非常佳的工艺方案。已通过相同工艺的薄膜生长和分析实验验证了设备的可靠性,并使用企业所提供的薄膜材料样品,成功启动和演示了设备,确保了企业的适用性和实用性。为了满足如三星电子、SK海力士等国内半导体工艺专家的客户要求,还会主动跟踪回访,解决相关问题。”有丰富的 ...
复色光分解为单色光而形成光谱的现象。不同波长的光通过一些介质后速度不同,所以到达的时间不同,会使得脉冲时间展宽,对设备的能量功率就会降低。具体来说,当复色光(如白光)经过某些介质(如棱镜或光栅)时,由于不同频率(或波长)的光具有不同的折射率,它们会以不同的角度偏折,从而在离开介质时各自分散,形成光谱。应用:一些领域需要将一定范围的带宽中所有的波长都进行分析,那么超连续谱就是一款非常适合的选择方案。这里一个案例主要目的是确定不同材料的色散曲线,研究其不同的折射率。色散曲线是描述材料的折射率随波长变化的数学函数。曲线可以用数学方程近似表示,如柯西色散方程,如图1所示。图1:不同材料色散曲线的实验数 ...
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