中文：剪切干涉仪；英文：shearing interferometer

横向剪切干涉仪的原理四波横向剪切干涉仪目前主流的波前传感器有：哈特曼传感器，夏克哈特曼传感器和四波横向剪切干涉仪。1900年，测量激光相位，采用哈特曼传感器，即在相机前加一个遮罩，遮罩上的每个小孔，光通过小孔后得到光束的方向。1970年，夏克哈特曼传感器将小孔替换成微透镜聚焦，提高了光的利用效率。2000年，四波横向剪切干涉仪倍发明出来，它采用一个相位光栅，产生四个衍射光束，他们之间相互干涉产生条纹后，从干涉途中提取相位图。相位光栅一个棋盘型的光栅，光栅的相位分别是0和π，那么这个相位光栅可以简写成或者记作的卷积，依据傅里叶变换和卷积的性质，只要分别求得两项的傅里叶变换式，然后相乘这一项仍旧是 ...

。区域法横向剪切干涉仪相比于哈特曼，他将前面的微透镜整列修改为0和pi的相位板。回复的相位能通常分辨率更高。波前控制器变形镜连续型变形镜Alpao公司提供薄膜型的，连续表面变形镜，每个驱动利用电磁的方式控制运动。变形镜分立式变形镜镜面不在是连续的，有单独的小镜面组，每个单独的镜面可以做上下运动，有些公司单独镜面可以做倾斜。但是相对于连续的镜面，分立式会有衍射光产生，效率偏低。液晶空间光调制器液晶空降光调制器，对于入射光需要线偏振光束。而且由于是像素组成的，同样也存在着衍射的现象。最后液晶相位延迟是与波长有关的器件。反馈控制有模型的反馈使用哈特曼传感器测量得到的波前信息，将相位按照不同模式展开， ...

Kaleo套件-模块化计量解决方案随着光学系统复杂性的增加，计量团队通常需要特定的测量参数（测试波长、精度、分辨率、相关结果……）。 PHASICS⽤Kaleo Kit解决了这⼀挑战，它是⽤于光学鉴定的模块化系统。Kaleo 套件是各种兼容模块的组合，可让您创建经济⾼效、紧凑且易于使⽤的系统，它可以适应⼴泛的测量配置，并确保样品在开发的所有阶段满足质量要求。⼀次采集即可获取样品的所有参数：TWE、RWE、波前像差、MTF、PSF 等等。一、Kaleo Kit的选型只需要3个步骤1.选择您的波前传感器2.选择您的R-cube，波长（nm）36540553062574078081085094010 ...

使用Phasics SID4相位成像相机进行表面测量Phasics SID4相位成像相机，可以集成在商业或者自制的光学显微镜装置上。为了提高样品的整体性能，测量物体表面特性是一种有效的方法。对于此类应用，Phasics的软件可以分析光程差，并且实时转化为物体表面的形貌。硬件方面，Phasics相机体积小、结构紧凑，并且易于使用。事实上，Phasics的波前分析仪能够与实验室常用的相机一样易于集成。整个相机可以轻松集成到生产线或者实验室中。表面测量结构Phasic SID4相位相机利用的是一种四波横向剪切技术，将入射光分成剪切的4束，然后再互相干涉形成干涉图，通过傅立叶逆变换可以得到入射光的相位 ...

示了一种基于剪切干涉仪的方法，该方法能够以相对简单的方式同时测量扭曲液晶显示器的幅度和相位调制。在这里，应该注意的是，除了与干涉仪对准相关的固有缺陷，以及它们对机械振动或空气湍流的高灵敏度外，上述校准设置还需要大量的光学元件。代替干涉测量，可以替代地实施基于衍射的方法来获得校准曲线。 一般来说，这些方法依赖于对衍射场的分析，这是由于光与某些多相 DOE 的相互作用，这些 DOE 以前被编码到 SLM 中。 为了获得校准曲线，他们采用相位检索算法。 其他方法只是量化远场中相应 DOE 的参数之一，例如由两级光栅产生的衍射级强度或菲涅耳图像图案的可见性 。基于衍射 方法原则上对环境干扰不太敏感，但 ...

基于四波横向剪切干涉仪 (QWLSI) 的 WFS 相位成像显微镜的新应用。与 DWFS 不同，该技术只需要一次测量，无需任何移动元素，即可恢复相位和强度。与 Shack-Hartmann WFS 相比，QWLSI 有可能以更高的横向分辨率对强度和相位图像进行采样。此外，它是一种消色差干涉技术，与传统宽视场显微镜的白光照明路径兼容。我们考虑将 QWLSI 与传统的白光透射显微镜结合使用。尽管 Primot 等人已经对使用改进的 Hartmann 掩模 (MHM) 的 QWLSI 的特性进行了严格研究。Phasics公司提出了波动光学和几何光学之间的简单联系，以解释光源的空间相干性对相位测量的影 ...

置的影响四波剪切干涉仪是由一个二维光栅和CCD组成，光束经过二维光栅后，能量主要分布在四个一级光上。一级光相互干涉形成干涉条纹，经过傅里叶变换，在傅里叶平面上，除了零级光外，大部分能量应该集中在一级光上。通过分析一级光，获取相位梯度。这里主要观察的是随着光束的入射角度变换，是否会引起傅里叶平面上一级光的位置发生改变。为了方便起见，假设光栅是正弦形状，其中a表示光栅周期入射光场描述为，当光束经过光栅后，传播一段距离d，传播过程使用菲涅尔光束传播的方程计算根据SID4的参数，将赋给其中一些变量参数，默认单位为um那么在正负25um的范围内可以看到光强图如下所示，在这段距离内，差不多显示的就是光栅形 ...

193nm紫外波前传感器（512x512高相位分辨率）助力半导体/光刻机行业发展！摘要：昊量光电联合法国Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析仪!该波前传感器采用Phasics公司技术-四波横向剪切干涉技术，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位检测灵敏度，能够精确测量紫外光波前的细微变化。SID4-UV-HR 紫外波前分析仪非常适合紫外光学元件表征（DUV光刻、半导体等领域）和表面检测（透镜和晶圆等）。193nm 紫外波前传感器（512x512 高相位分辨率）在半导体/光刻机行业中具有重要作用。该传感器具有高分辨率，消色差，对震 ...

相位四波横向剪切干涉仪，称为SID4波前传感器，QWLSI技术是为了克服Shack-Hartmann (SH)技术的分辨率不足而开发的。它采用了智能衍射光栅设计，具有高灵敏度、高分辨率、高重复性的特点。图1 SID4波前传感器部分测试结果图★什么是波前传感器?波前传感器是一种设计用来测量光波前的装置。术语“波前传感器”;适用于不需要任何参考光束干扰的波前测量仪器。波前传感器的应用范围很广，如光学测试和对准(表面测量)、传输波前误差测量、调制。★QWLSI四波横向剪切干涉测量原理四波横向剪切干涉测量(QWLSI原理) 具有纳米级灵敏度和高分辨率的相位和强度。这项创新技术依靠衍射光栅将入射光束复制 ...

通过四波横向剪切干涉仪（QWLSI）技术，彻底革新传统测量方式。通过单程光路配置即可实现镜头的快速实时表征。该平台的测量方式非常简单并且满足:高效测量：无需在不同视场点之间进行多次对准或复杂配置，快速完成光程差（OPD）和调制传递函数（MTF）的全视场测量。精准校正：借助光线追踪算法，回溯波前至出瞳面，精准计算渐晕效应和孔径传输。广谱兼容：适用于多波长环境，自动切换波长且无需额外校准，覆盖从可见光到近红外的应用需求。通过Kaleo MTF的自动化操作，平台在2.5秒内即可完成一个视场点的数据采集，大幅提升产线检测的效率和一致性。同时，系统的测量误差在整个视场内保持在1%以下，为汽车镜头性能评价 ...