面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
一张照片,全幅清晰!看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来,超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛,下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜?普通光学显微镜景深小,适合观察“薄而平”的样本,而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”,需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是:通过成像系统在z轴扫描、CCD成像,捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像,再利用3D合成重建算法,获得高分辨率,大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品,可进行图像2D拼接和3D拼接,这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
获取白皮书《现代宽带射频记录回放解决方案》在现代射频(RF)测试测量场景中,工程师们常提出这样的需求:将真实的电磁环境实时完整地记录下来,并在后续实验复现信号,甚至需要对信号进行在线修改和调整。这个需求看似简单,真正实现却面临诸多挑战,例如:传统宽带记录与回放系统通常功能单一、数据格式封闭,难与现代化标准系统集成,且无法在采集过程中进行实时处理;这类系统价格高昂,动辄需要数十万美元投入。因此,当前很多测试流程仍然停留在“先采集,再离线分析”的模式,既不灵活,也难以支持现代复杂测试场景。现代射频测试测量方式需要从“传统单功能硬件”向“宽带采集+动态重构+软件定义“演进。工程师们需要一个可实时处理 ...
应用探究 | 量子计算DOPA 产生压缩态:选 PPLN 还是 PPKTP?背景在量子技术中,压缩态(squeezed state)作为一种关键的连续变量量子态,已成为突破经典物理极限、提升系统性能的重要资源。如在量子精密测量中用于引力波探测,在量子通信中作为连续变量量子密钥分发(CV-QKD)的核心资源,在量子计算中,压缩态则是实现高斯玻色采样(GBS)的关键资源态。光学参量振荡(OPO)和放大(OPA)常用于产生压缩态,这通常是由非线性晶体实现的,如周期极化铌酸锂PPLN和周期极化磷酸氧钛钾PPKTP。周期极化晶体可以利用更长的相互作用长度和更大非线性系数。山西大学张宽收教授课题组分别使用 ...
案例分享|"鬼光谱"突破高光谱取舍:PPKTP量子成像方案高光谱成像一直有个让人头疼的矛盾:想要光谱分辨率,就得牺牲空间分辨率,或者反之。而在量子成像领域,基于纠缠光子对“鬼成像”已展现出突破传统光学探测边界的潜力。而当量子关联从空间维度延伸至光谱 — 时间维度,高光谱成像也迎来了新的技术路线。近期,来自加拿大guo家研究委员会的研究团队提出一种量子关联高光谱成像技术(QCHSI)。该方案利用PPKTP晶体通过自发参量下转换(SPDC)产生高质量纠缠光子对,将量子鬼成像的关联测量思想与快照式高光谱成像结合,在不显著牺牲空间分辨率的前提下,实现了单光子级、高效率的快照高光谱成 ...
宽谱可调谐光源技术全景:原理、选型与前沿应用指南1. 波长可调谐光源:驱动前沿科学与工业创新的核心引擎在光谱学、生物成像、半导体检测、量子技术等诸多前沿领域中,获取特定波长的激发光或探测光是实验成功的关键。传统的固定波长光源(如单一激光器或LED)往往难以满足多参数、多通道、高灵活性的测量需求。可调谐光源的出现,恰好解决了这一核心难题——它赋予研究人员前所未有的自由度,能够根据实际需要,连续或离散地选择输出波长,从而实现更灵活、更精确、更高效率的光学调控。根据波长调谐的实现方式,当前的可调谐光源主要分为三大技术路线:组合式(宽谱光源与滤波器件结合)、自调谐(光源本身具备波长调谐能力)以及波长切 ...
高光谱相机在塑料分选方面的应用每天,从早餐的外带咖啡杯到午后的矿泉水瓶,从快递包装到家居用品,塑料已无处不在。然而,这些被丢弃的塑料若混合处理,不仅浪费资源,更可能造成环境污染。高效、准确的塑料分选,成为资源再生的关键一步。今天,我们要介绍一项前沿技术——高光谱相机,它正以其“透视”般的能力,赋予机器识别不同塑料的“眼睛”,让分选变得又快又准。实验准备:本次实验我们采集的是五种不同材质的塑料,如图1所示,分别为1.PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯):常见于饮料瓶、食品容器,透明轻便,可回收制成纤维、新瓶。2.PP(聚丙烯):多用于餐盒、保鲜盒,耐热性强,是食品包装的常客。3.PS(聚苯乙烯):分为 ...
二维材料的表征-钙钛矿摘要:在本文中,我们简单介绍了2D材料,并重点研究了二维材料钙铁矿的表征实验光路及应用介绍。(2D)材料因其杰出的化学、电学和物理特性而受到越来越多的关注。二维材料是一种主要具有二维结构特征的物质,其厚度通常在原子或纳米尺度上。这些材料由于其降低的尺寸而表现出独特的性能,例如高表面积体积比,卓越的电子,光学和机械性能。二维材料的例子包括石墨烯、过渡金属二硫化物(TMDs)如二硫化钼、六方氮化硼(h-BN)和黑磷(磷烯)。zui近,许多研究小组已经发现了2D材料和有机-无机杂化钙钛矿材料在太阳能电池应用中的协同效应。有机-无机杂化钙钛矿作为太阳能吸收剂已经引起了大家的兴趣, ...
双频共振跟踪(DFRT)-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要,包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法:一种利用锁相环 (PLL),另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好,但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难,提供了更可靠的解决方案。在这里,我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生,在模拟谐振器上进行了测试,并获得了积极的结 ...
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