SDTR一种薄膜面内各向异性热导率的测量方法近年来,随着半导体行业的迅猛发展,半导体元件的体积急剧减小,对芯片或薄膜材料的热物性探究至关重要,这样给予针对超小尺寸的热物性探测技术提供了发展需求,而其中基于光学的热反射法的发展使得小尺寸(亚微米)样品的热导率测量变得容易。在频域热反射法FDTR测量中:锁相放大器的参考相位需要被精确计算以减小对相位滞后信号的影响。SDTR-(SpecialDomain ThermalReflection)空间热反射同样是基于激光泵浦-热反射的探测技术,可以针对小尺寸薄膜样品的面内热物性的测量方法。相比于其他激光泵浦探测方法(如:TDTR,FDTR)它的优势是可以测 ...
高光谱成像在CIGS光谱和空间分析的应用一、CIGS模块图案凹槽损耗的表征实现如此高效率的一个关键特性是激光图案互连,它将CIGS尺寸的模块分成串联的更小单元。然而,即使这个过程有助于提高整体效率,也会产生损失。这就是为什么研究人员试图找到不同的图案几何形状。在Nice Solar的这项工作[2]中,他们重点关注了两个标准图案凹槽的激光烧蚀造成的损坏,图1中P1(图案化背面接触)和P2(用于串联互连)。通过高光谱光致发光成像分析损伤。Photon公司的高光谱平台(IMA)由光学显微镜与CW532 nm 激光器和基于体积布拉格光栅的高光谱滤光片组成。该套系统在400nm至1000nm范围内具有灵 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三)-应用案例1.3应用案例椭偏仪在位监测已经广泛应用于薄膜生长、颗粒和生物大分子的吸附等领域。下面介绍一下椭偏仪在位监测在薄膜生长和颗粒方面的案例。1.3.1薄膜生长椭偏仪对厚度的无损测量使其可实现薄膜生长的实时监控。而不同时间生长时间其薄膜的性质及厚度不同,这样需要构建不同厚度的多层膜结构,从而实现在位监控,得到薄膜生长厚度随时间的变化信息。比如F.N.Dultsev等采用椭偏仪研究了沉积在硅表面的钛基体氮化机理、Yuki Ishikawa等采用原位椭偏仪研究了离子液体薄膜的玻璃化转变行为,Meng Yuan等提出了一种简便、无损伤的在位椭圆偏振法来监测 ...
体布拉格光栅(VBG)在中红外激光器方面的应用--高功率、波长稳、窄线宽中红外激光器(2.5-10um波段)由于其波长具有的特殊性质,比如处在大气窗口、分子“指纹”区。这些特性使得中红外激光器的应用领域非常广泛,如国防、军事、医疗、科研、通信、工业等。在国防和军事领域,中红外激光器可用于目标侦测、跟踪、识别和导引等方面,如导弹反制、激光通信等;在医疗领域,中红外激光器主要是利用光热效应达到治疗或消融病变组织的目的,如烧蚀和切割泌尿组织,汽化或切割衰竭的器官等;在科研领域,中红外激光器可用于光谱学、化学和生物学等领域的研究,如检测化学物质、研究分子的结构和生物分子的振动光谱;在通信领域,中红外激 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(六)- 在位监测电化学沉积2.3在位监测电化学沉积目前报道过的在位监测手段主要有电化学在位拉曼光谱法、在位傅里叶红外光谱仪法、石英晶振仪法、质谱仪法、在位椭偏仪法。电化学在位拉曼光谱法,其原理是通过介质分子对入射光发出频率的有明显变化的散射现象,用单色入射光(圆偏振光与线偏振光)来激发由电极电位控制的电极表面,然后测定出散射得到的光谱信号,如频率、强度及偏振性能变化与电极的电位或者电流强度的变化关系。在位傅里叶红外光谱仪法(FTIRS)是由Bewick等人在20世纪80年代早期首创的。在位傅里叶变换红外光谱仪可以获取电极上中性和离子吸附物的分子信息,以及参与 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(七)- 当前在位监测装置设计3当前在位监测装置设计3.1真空镀膜系统集成在位椭偏仪测试装置可分为两类,一类是把设计的装置直接和椭偏仪的两个臂连接,另外就是把设计好的装置放置在两臂之间,不改变椭偏仪原始的任何设计。后者设计使用更方便简洁,有利于装置的更换。如图1-12所示,是报道过的椭偏仪在位测试的装置图。图1-12(a)是M.Magnozzi等设计一个实时在位光谱椭偏测量的高真装置。该装置是基于一个圆柱型管,在其两端有两个KF100法兰(见图1-12(a),左)。底部为KF100法兰(a)作为支撑样品的支架,安装有加热器和两个双动电偶;主体(b)容纳几个焊接 ...
长度与尺寸测量1.干涉法长度测量的基本定律干涉法长度测量的基本规律是用一个机械长度与一个已知的光的波长对比。一般来说,这种光学方法设计光束两次通过所需的长度。因此,测量单位是半波长,被测长度表示为:式中,λ为波长;i为干涉整数级;f是干涉分数级。利用半波长的倍数表示长度的方法取决于两种或者多种光波的干涉强度,在双光束干涉时表示为:此时,γ为干涉率,z1-z2为两个光束通路之间的几何距离差。因此,一个通路长度的改变会以单位λ/2来改变周期性干涉强度。在上式中位相的不同 2Π/λ/2(z1-z2)可以用真空波长表示为2Π/λ0/2(z1-z2)。此时的n是通路中空气的折射率,n(z1-z2)表示两 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(十三)- 形貌及成分2.5形貌及成分2.5.1形貌分析表征样品的形貌常用的仪器是扫描电子显微镜(SEM),其原理是通过高能的电子束扫描样品表面激发出背散射电子、二次电子和X射线等信号,然后对接受到的信号进行放大并显示成像,实现对样品形貌等的监测。扫描电子微镜显具有操作简单方便,得到的图像清晰,zui大程度还原真实样品形貌等优点。通过扫描电子显微镜观察Cu2O薄膜,得到其表面形貌与颗粒尺寸等信息,从而对Cu2O薄膜有更加直观了解。2.5.2成分分析得到的样品薄膜通过X射线衍射谱仪扫描确定其成分。X射线是一种波长约为20到0.06Å的电磁波,利用原子内层的电子被 ...
MOGLabs超稳定外腔半导体激光器,空间&光纤双输出!强势回归!!!外腔半导体激光器(ECDL)具有高度可控的发射特性,是相干光通信、光学和原子物理等领域的理想激光源。ECDL使用频率选择性反馈来实现窄线宽和可调谐性,通常使用Littrow或Littman–Metcalf配置的衍射光栅。有很多文献对ECDL的设计做出评论,提到了它许多的优点,包括线宽、被动稳定性、可调性、结构简单、紧凑等。在原子钟中的应用,原子相干过程,如电磁感应透明,和超快光纤通信的相干检测的新发展,需要远低于1MHz的被动激光线宽。一些研究已经介绍了重要的参数和贡献,注意到固有线宽取决于从外部腔的反馈。实验研究了 ...
使用349NX激光器进行SiC的拉曼光谱和光致发光实验介绍来自Linköping University的Ivan Ivanov教授团队利用Skylark的349NX激光器成功替代了实验室中的陈旧氩离子气体激光器,在4H-SiC和6H-SiC材料的光致发光以及拉曼光谱实验中获得了清晰的结果。349NX具有无干扰信号、线宽窄、能效高、尺寸小、维护成本低、使用寿命长等特点,为实验提供了准确性与灵活性。正文近日,来自Linköping University的Ivan Ivanov教授团队利用Skylark的349NX激光器成功替代了实验室中的陈旧氩离子气体激光器,在4H-SiC和6H-SiC材料的光致 ...
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