解释
中文：微机电变形镜；英文：micro-electro-mechanical system deformable mirror / MEMS defor-mable mirror的原理；中文：微机电变形镜；英文：micro-electro-mechanical system deformable mirror / MEMS defor-mable mirror的定义；中文：微机电变形镜；英文：micro-electro-mechanical system deformable mirror / MEMS defor-mable mirror是什么。
利用微机电系统技术而制造的一种变形镜。其特点是外形尺寸小，集成度高。
