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的反射，通过菲涅耳公式得到光学参数和偏振态之间的关系来确定光学薄膜折射率和厚度。因其准确度高且为非破坏性测量，是测量光学薄膜折射率和厚度zui常用的一种测量仪器。椭圆偏振术的数学模型为式中:— 偏振角；Δ— 两个偏振分量的相位差经薄膜后所发生的变化；d — 薄膜厚度；n0— 空气折射率；n1— 薄膜折射率；n2— 衬底折射率；— 入射角度；— 入射光波长。和Δ分别反映了偏振光经过薄膜反射前后强度和相位的变化，统称为椭偏角。目前，基于椭偏角的椭偏仪校准方法主要采用的是空气测量法。空气测量法验证椭偏角准确度的过程是调整光谱型椭偏仪入射角，使入射光直接入射到其接收器。由于偏振光直接经过空气进入接收器 ...
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