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中文：曝光实时监测；英文：in-situ monitoring of exposure

关键词
解释
中文：曝光实时监测；英文：in-situ monitoring of exposure的原理；中文：曝光实时监测；英文：in-situ monitoring of exposure的定义；中文：曝光实时监测；英文：in-situ monitoring of exposure是什么。
 通过探测曝光过程中光刻胶折射率空间分布发生的微小变化而形成的潜像光栅，记录光束某一非零衍射级实现对曝光过程的实时监测的方法。可根据所要制作的光栅刻槽形状确定在监测曲线适当位置处停止曝光。
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