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中文：多程干涉术；英文：multipass interferometry

关键词

解释

又称“多通道干涉术”。准直光束多次（n次）从光被测波面来回反射或透射，光程差被放大n倍形成多程干涉条纹的干涉术。可使测量灵敏度提n倍。多程干涉仪可用来测量平板的均匀性、大平面的粗糙度、角锥棱镜的角度误差等。

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