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中文：米劳干涉仪；英文：Mirau interferometer

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解释
中文：米劳干涉仪；英文：Mirau interferometer的原理；中文：米劳干涉仪；英文：Mirau interferometer的定义；中文：米劳干涉仪；英文：Mirau interferometer是什么。
 一种嵌入显微物镜中的紧凑型干涉仪。其测试光路和参考光路共用一个光路，测量时不会引入附加光程差。用于测量物体表面微观轮廓、表面纹理等参数，纵向测量分辨率可达亚纳米量级。
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