中文:锁相干涉仪;英文:phase-locked interfero-meter

解释
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一种运用锁相技术的光学干涉仪。其原理是使用探测器将干涉图样转换为电信号,然后去控制干涉臂或者参考臂,从而实现干涉条纹的稳定。为了测量一个区域,探测器需要扫描整个波前,由于扫描速度会发生改变,含有大量条纹的干涉图可以通过锁相干涉仪测量出来,重复精度可以达到百分之一波长。