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中文：散射板干涉仪；英文：scatter plate interfero-meter

关键词

解释

利用一种弱散射板作分束器的一种共路干涉仪。仪器的准单色点光源经透镜和散射板成像在被检测镜面，并反射返回，再次通过散射板，成像于像平面，形成镜面反射光和散射光的干涉条纹，以检测镜面缺陷。

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